JPS6269529A - ホトマスク保持用具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウェーハに回路パターンを転写する
のに用いられるホトマスクを保持し、検査装置などに移
すのに使用するホトマスク保持用具に関する。

〔従来の技術〕

従来のホトマスク保持用具は、第５図に平面図で示すよ
うになっていた。この保持用具はやっとこからなり、１
対の腕部１が中間部で結合ねじ２により回動可能にＸ状
に結合されている。各腕部の対向する先端部には内方へ
の爪部１ａが設けられ、中間には止めねじ２の位置を変
えるための結合用穴１ｂ　、　ｌｃが複数箇所あけられ
である。腕部１の材質は、ポリプロピレンやテフゼル（
米国デュポン社商品名）からなり、適度の弾力性をもっ
ており、ホトマスクを傷付けないようにしている。

上記従来の保持用具は、平面に置かれたホトマスク３を
上方から両辺端を両腕部１間に挾み、両爪部１ａヲ下面
に当てて持上げる。ホトマスク３の大きさに応じ結合ね
じ２０位Ｗｔを結合用穴］、ｂ、ｌ。

の適当な箇所に移し変え、両腕部１の先端部間の開きを
変えるようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来のホトマスク保持用具では、やっとこ
の構成になっており、ホトマスク３を両辺端から挾付は
保持するため、ある程度の握力を加えねばならず、かつ
、２点支持であるので保持が不安定となり、ホトマスク
３の落下、破損のおそれがあるという問題点があった。

さらに、保持して運んだホトマスク３を素子寸法検査機
や欠陥検介装置のホトマスクホルダに取付けるが、検査
機のｔ−ｔとんどけホトマスク３を水平に載せるように
なっていて、かつ、装置の光学系がその上下に近接して
おり、上面及び下面のどちら側とも従来の保持用具の入
る余裕がない。このため、保持用具からホトマスク３を
外して手で持ち、検査機に水平に取付けなければならな
かった０ ホトマスクが１０２ｍｍ角や１２７ｍｍ角の場合は片手
で保持することもできるが、１５２ｍｍ角や１’７８ｍ
ｍ角となると取扱える者は熟練者に限られていた。

このように、手によるホトマスクの保持は安定を欠き、
ホトマスクを装置側に当て損傷するおそれも多くなると
いう問題点もあった。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、ホトマスクを片面の複数箇所で真空吸着し、
安定して保持し検査機などに取イ・］けられ、保保持化
が容易で、ホトマスクの損傷をなくしたホトマスク保持
用具を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかるホトマスクの保持用ｉ４：は、取っ手
から出された腕部の下部に複数の吸着パッドを取付け、
この双方の吸着パッドの間隔を可変できるようにし、ホ
トマスクの片面を各吸着パッドにより真空吸着するよう
にしたものである。

〔作用〕

この発明においては、保持用具の腕部の複数の吸着パッ
ドによりホトマスクの片面を真空吸着し、保持用具はホ
トマスクの両面からの占有空間が小さく、ホトマスクを
水平状態で検査装置に取付けられる。また、双方の吸着
パッドの間隔を加減することにより、外形の異なる各種
のホトマスクに対応し吸着保持される。

〔実施例〕

第１図及び第２図はこの発明の一実施例によるホトマス
ク保持用具の平面図及び斜視図である。

１０は取っ手で、中心に真空引きの連通穴１０ａがあけ
られている。１１は取っ手ｌＯに結合された一方の腕部
で、連通穴１０ａに連通ずる真空引きの連通穴１１ａが
通されている。１２は腕部１１の根元側に結合ねじ１３
により回動自在に連結された他方の腕部で、連通穴１０
５Ｌに連通する真空引きの連通穴１２ａが通されている
。１４は両腕部１１．１２に両端側がねじ込まれ、開き
角度を可変する調整ねじ、１５は腕部１１の根元下部及
び先端下部と、腕部１２の先端下部とにそれぞれ取付け
られた吸着パッドで、連通穴１１ａ　、　１２ａにそれ
ぞれ連通している。１６は取っ手１０に連結され連通穴
１０ａに連通する真空引き管で、他端が真空ポンプなど
真空吸引源（図示は略す）に接続されている。１フは弁
で、真空引きと解除との切替えをする。

上記−実施例の保持用具によるホトマスクの保持取扱い
は、次のようにする。

保持用具の取っ手１０ヲ手に持ち、ホトマスク３の上面
に各真空パッド１５を当て、弁１″／を真空引きにし、
各真空パッド１５によりホトマスク３を真空吸着する。

吸着保持したホトマスク３を所定位置に移動し、弁ｌツ
により真空引きを解除し、ホトマスク３を保持用具から
離す。こうして、ホトマスク３を水平状態で取付ける検
査装置の場合にも、容易に移される。

ホトマスク３の外形大きさが異なっても、それに応じ腕
部１１，１２の開度を調整し、各先端の双方の吸着パッ
ド１５の間隔を適当にすることにより、安定して吸着保
持することができる。

第３図及び第４図はこの発明の他の実施例によるホトマ
スク保持用具の平面図及び正面図である。

取っ手ｌＯに１本の腕部１８が結合されており、連通穴
１０ａに連通ずる連通穴１８＆が通されている。

腕部１８には下部に、先端と中間部とに吸着パッド１５
がねじ込み固着され、連通穴１８ａに連通している。腕
部１８下部の中間部には複数箇所に取付けねじ穴１８ｂ
が設けられ、その］箇所に吸着パッド１５がねじ込み固
着され、他のねじ穴１日ｂＦｉ閉じ栓１９がねじ込まれ
連通穴１８ａから封鎖している。

こうして、１本の腕部１８であっても、ホトマスクが比
較的小形で軽量の場合、ホトマスク面の一辺側に各吸着
パッド１５を当て、十分に安定して保持することもでき
る。ホトマスクの大きさに応じ、中間部の吸着パッド１
５の取付は位置を変え、双方の吸着パッド１５の間隔を
調整して対処する。

なお、上記第１図の実施例では腕部１１，１２に３箇所
に吸着パッド１５を取付けたが、吸着パッドが大きく十
分吸着できる場合は、根元の吸着パッド１５を省くこと
もできる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、取っ手から出された
腕部の下部に複数の吸着パッドを取付け、相互の吸着パ
ッドの間隔を可変できるようにしたので、ホトマスクが
安定して保持され検査機などに移され、保持操作が容易
でホトマスクの損傷がなくされ、ホトマスクの大きさが
異っても、これに応じ吸着パッド間隔を調整して対処さ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明によるホトマスク保持用具
の一実施例を示す平面図及び斜視図、第３図及び第４図
はこの発明によるホトマスク保持用具の他の実施例を示
す平面図及び正面図、第５図は従来のホトマスク保持用
具の平面図である。 ３・・・ホトマスク、１０・・・取っ手、１０ａ・・・
連通穴、１１ｊ１２・・・腕部、１１．ａ、　、　１２
ａ・・・連通穴、１４・・・調整ねじ１．１５・・・吸
着パッド、１６・・・真空引き管、１８・・・腕部、ｌ
ｅａ・・・連通穴、１８ｂ・・・取付けねじ穴なお、図
中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）取つ手、この取つ手に結合して出された腕部、こ
   の腕部の下面に可変に相互の間隔をあけて取付けられた
   複数の吸着パッド、及び外部の真空吸引源から上記取つ
   手と腕部を経て上記各吸着パッドに通じており、吸着パ
   ッドに真空吸着と解除とをさせる真空引き手段を備えた
   ことを特徴とするホトマスク保持用具。
2. （２）腕部は根元で回動可能に結合され先端側が開いた
   ふたまたの腕部からなり、開き角度が可変にされてあり
   、各腕部の先端下面と上記根元下面とに吸着パッドを取
   付けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のホ
   トマスク保持用具。
3. （３）取つ手から１本の腕部が出されており、この腕部
   の下面の先端及び中間部にそれぞれ吸着パッドが取付け
   られ、上記双方の吸着パッドは相互の間隔が可変に取付
   けられたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   ホトマスク保持用具。