JPH0536836U - ウエハー搬送治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この考案は、ウエハー裏面へのパーテイクルの付
着量を著しく減少させ、しかも搬送時にウエハーがずれ
たり落下する等のトラブルを起こさせないウエハー搬送
治具を提供することを目的とする。 【構成】この考案に於いては、内部に真空吸着するため
の空洞を形成し、表面に該空洞に達する孔を穿設したウ
エハー搬送治具に於いて、前記孔を前記ウエハー搬送治具
表面より突出させ、該孔をウエハーを支持し得るように
複数個離して設けてなることを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、主としてウエハープロセスによる半導体製造装置、例えば拡散炉 ＣＶＤ、エッチング装置、イオン注入装置、露光装置、回転塗布機等に於いて、 ウエハーを真空吸着によりこれら装置内に出し入れする際、ウエハー裏面に微小な ゴミが付着しないようにしたウエハー搬送治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、半導体製造過程に使用するウエハー搬送治具は、図５及び図６に示す ように、内部に形成した空洞１と、表面先端に同心状に形成した前記空洞１に連 通する多数の貫通孔２と、裏面後端に形成した減圧装置連結口３とから構成され ていた。しかしながら、この搬送治具は、搬送上の信頼性はあったが、ウエハー を真空吸着させる際、ウエハー裏面と搬送治具とが面接触するため、パーテイクル が搬送治具の形で転写するように極めて多数ウエハーに付着する問題があった。 また図７に示すように、搬送治具の中央にウエハーを載せることのできる開口 ４を形成し、該開口４の周縁に形成した突起５でウエハー６を支持するようにし た搬送治具も知られていた。この搬送治具は、ウエハー６を突起５で支持するだ けなので、ウエハー裏面に付着するパーテイクルは非常に少なかったが、ウエハー はただ載っているだけであるから、搬送時にウエハーがずれたり落下する等のト ラブルが多発していた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

この考案は、このような問題点を解消しようとするものであり、ウエハー裏面 へのパーテイクルの付着量を著しく減少させ、しかも搬送時にウエハーがずれたり 落下する等のトラブルを起こさせないウエハー搬送治具を提供することを目的と する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】 上記目的に沿う本考案の構成は、内部に真空吸着するための空洞を形成し、表 面に該空洞に達する孔を穿設したウエハー搬送治具に於いて、前記孔を前記ウエハ ー搬送治具表面より突出させ、該孔をウエハーを支持し得るように複数個離して 設けてなることを特徴とする。 要するにこの考案は、ウエハーを吸着する孔とウエハーだけが接触するように孔 を治具表面より若干突出させると共に、孔の間隔を離してウエハーを支持する孔 の数をできるだけ少なくし、ウエハー裏面と搬送治具との接触面積を最少とした ことを要旨とするものである。

【０００５】

【実施例】

次に、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 第１図は、本考案の実施例を示す上面図であり、ウエハー搬送治具１１の内部に は空洞１２が形成され、該空洞１２に達する貫通孔１３が治具先端部に２個、中 央後方に１個形成され、該貫通孔１３は治具表面より若干突出させた例を示す。 尚、図中１４は、空洞１２内を減圧にするための減圧装置に連結する連結口であ り、１５はこの治具を固定する台（図示せず）に固定するためのボルトの穴であ る。連結口１４は、図３に示すように、搬送治具裏面に形成されている。 貫通孔１３は、図２に示すように、搬送治具の表面より若干突出しており、そ の高さは上記実施例に於いては0.1mm■0.2mmとしているが、ウエハーが搬送治具に 接触しない程度であればその高さは特に限定されない。 また上記実施例に於いては、ウエハーは、間隔付けて形成した３点の孔１３で支 持し得るようにしている。これは、２点以下であっては、ウエハーを強固に支持 できないし、あまり多くなるとパーテイクルの付着量が多くなるからである。

【０００６】

【作用】

次に、上記のように構成された本考案の作用を説明する。 図１に示す本考案の搬送治具１１を、ウエハー１６裏面に当て、搬送治具内の空 洞１２を、減圧にして、ウエハー１６裏面を貫通孔１３に吸着させる。この状態 では、図４に示すように、ウエハー１６裏面は、搬送治具１１の表面に接してい ないので、搬送治具１１表面のパーテイクルがウエハー裏面に付着するのが回避さ れる。またウエハーは、間隔づけて配設された３箇所の貫通孔１３で支持されて いるので、強固に支持され、搬送中ウエハーがずれたり落下する等のトラブルが 回避される。

【０００７】

【効果】

以上述べたごとく、本考案によれば、ウエハー裏面は、搬送治具の貫通孔にしか 接していないので、ウエハー裏面へのパーテイクルの付着を極めて少なくすること ができると共に、貫通孔は間隔付けて配設されているので、最少の個数でウエハ ーを強固に支持することができるからパーテイクルの付着量を最少とすることが できる。

【０００８】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す上面図である。

【図２】図１のII−II断面図である。

【図３】図１のIII−III断面図である。

【図４】本考案の実施例を示す側面図である。

【図５】従来の搬送治具の上面図である。

【図６】従来の搬送治具の底面図である。

【図７】従来の搬送治具の他の例を示す上面図である。

【符号の説明】

１１ ウエハー搬送治具 １２ 空洞 １３ 貫通孔

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内部に真空吸着するための空洞を形成し、
   表面に該空洞に達する孔を穿設したウエハー搬送治具に
   於いて、前記孔を前記ウエハー搬送治具表面より突出さ
   せ、該孔をウエハーを支持し得るように複数個離して設
   けてなることを特徴とするウエハー搬送治具。
2. 【請求項２】前記空洞に達する孔を、間隔付けて３個以
   上設けてなる請求項１に記載のウエハー搬送治具。