JPS6273540U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6273540U JPS6273540U JP16280985U JP16280985U JPS6273540U JP S6273540 U JPS6273540 U JP S6273540U JP 16280985 U JP16280985 U JP 16280985U JP 16280985 U JP16280985 U JP 16280985U JP S6273540 U JPS6273540 U JP S6273540U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- key
- rod
- concave groove
- detachable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は試料交換装置を示す図、第２図は本考
案の一実施例を示す図である。 ３……カセツト、６……着脱ロツド、１１……
（カセツトの）凹形みぞ、１２……（着脱ロツド
の）鍵形先端。
案の一実施例を示す図である。 ３……カセツト、６……着脱ロツド、１１……
（カセツトの）凹形みぞ、１２……（着脱ロツド
の）鍵形先端。
Claims (1)
- マスクプレート、ウエハ等の試料を保持し、端
部凹形みぞを有する試料保持具（カセツト）、本
カセツトを搭載する試料台、前記試料台に上記カ
セツトを着脱し、先端が鍵形に成形して有る着脱
ロツド、この着脱カセツトを複数枚収納可能なカ
セツト交換室より成る、前記カセツト着脱の際、
上記カセツト凹形みぞと着脱ロツド鍵形先端を、
前記鍵形先端ロツドを半回転させることにより、
ロツクレ上記着脱ロツドとカセツトが分離不可と
するものにおいて、上記カセツト凹形みぞと、着
脱ロツド鍵形先端に、ロツク時ガタを特たせ、前
記カセツト着脱後、前記着脱ロツド鍵形先端を、
凹形みぞの中央に移動し、ロツクを外すことを特
徴とする試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16280985U JPS6273540U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16280985U JPS6273540U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273540U true JPS6273540U (ja) | 1987-05-11 |
Family
ID=31090423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16280985U Pending JPS6273540U (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273540U (ja) |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP16280985U patent/JPS6273540U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0349845U (ja) | ||
| JPS6265207U (ja) | ||
| JPS6425193U (ja) | ||
| JPS63122736U (ja) | ||
| JPS58131648U (ja) | ミラ−保持装置 | |
| JPS62110263U (ja) | ||
| JPS63139497U (ja) | ||
| JPS6113618U (ja) | 懐中電燈つきかさ | |
| JPS63153667U (ja) | ||
| JPH0166753U (ja) | ||
| JPS58146242U (ja) | レチクルマガジン | |
| JPS61164040U (ja) | ||
| JPS62198494U (ja) | ||
| JPS5924229U (ja) | フロ−テイングチヤツク | |
| JPS58181454U (ja) | 両口バイス | |
| JPS614433U (ja) | 試料交換装置 | |
| JPS6318767U (ja) | ||
| JPS6131119U (ja) | 装身具類吊下げ容器 | |
| JPS6320122U (ja) | ||
| JPS6349231U (ja) | ||
| JPS59123966U (ja) | 蓄電池装置 | |
| JPS62167650U (ja) | ||
| JPS625014U (ja) | ||
| JPS6363797U (ja) | ||
| JPS6393632U (ja) |