JPS6349231U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6349231U JPS6349231U JP14370286U JP14370286U JPS6349231U JP S6349231 U JPS6349231 U JP S6349231U JP 14370286 U JP14370286 U JP 14370286U JP 14370286 U JP14370286 U JP 14370286U JP S6349231 U JPS6349231 U JP S6349231U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- partition plate
- reaction
- gas
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 10
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の第１の実施例の仕切板の平面
図、第２図は本考案の第１の実施例の気相成長装
置の構造を示す斜視図、第３図は本考案の第２の
実施例の仕切板の平面図、第４図は本考案の第２
の実施例の気相成長装置の構造を示す斜視図、第
５図は従来の気相成長装置の斜視図である。 図に於いて、２１，３１は仕切板、２２は切り
欠き部、２３は保持具、２４は反応管、２５は第
１の反応室、２６は第２の反応室、３２Ａ，３２
Ｂ，３３は切り欠き部、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｆは保持具
の移動方向を示す矢印、Ｅ，Ｇは仕切板の端部、
Ｈは切り欠き部の交点を示す。
図、第２図は本考案の第１の実施例の気相成長装
置の構造を示す斜視図、第３図は本考案の第２の
実施例の仕切板の平面図、第４図は本考案の第２
の実施例の気相成長装置の構造を示す斜視図、第
５図は従来の気相成長装置の斜視図である。 図に於いて、２１，３１は仕切板、２２は切り
欠き部、２３は保持具、２４は反応管、２５は第
１の反応室、２６は第２の反応室、３２Ａ，３２
Ｂ，３３は切り欠き部、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｆは保持具
の移動方向を示す矢印、Ｅ，Ｇは仕切板の端部、
Ｈは切り欠き部の交点を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 結晶成長用反応ガスが導入される反応管２４と
、 該反応管２４内に挿入され、該反応管２４内を
仕切る仕切板２１と、 該反応管２４内に挿入され、かつ仕切板２１で
仕切られている反応室２５，２６間を回動する基
板保持具２３とよりなり、 前記仕切板２１の前記反応管２４内に導入され
るガスの下流側に、前記回動する基板保持具２３
が通過する切り欠き部２２を設けたことを特徴と
する気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14370286U JPS6349231U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14370286U JPS6349231U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349231U true JPS6349231U (ja) | 1988-04-04 |
Family
ID=31053625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14370286U Pending JPS6349231U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349231U (ja) |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP14370286U patent/JPS6349231U/ja active Pending
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