JPS6273644A - ウエハプロ−バ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウェハのチップを測定するウェハプロ、−
バに関するもので、特に、ウェハブローバのウェハ搬送
装置に関するものである。

（従来の技術） ウェハ形状でのチップの最終段階の測定工程において、
ウエハプローバのウニバカセント（２）からウェハ（３
）を取出し、チャック（５）に載せ、該ウェハ（３）の
チップをプローブカードの触針を介してテスタと導通し
、測定するのである。これを詳しく第４図を用いて説明
すると、？！！数枚（例えば２５枚）のウェハ（３）を
収納するウェハカセット（２）がウェハカセット′Ｒ五
台（１）に配備され、順次１枚ずつ、送り側搬送装！（
４）　　（ローダともいう）により搬送される。その搬
送されたウェハ（３）は載置部（６）でチャック（５）
に載置され、Ｘ−Ｙステージに立設しているチャック（
５）はＸ−Ｙステージのパルスモータの駆動により測定
位置（７）に移動され、ウェハ形状でのチップを順次測
定れさる。

つぎに、測定後のウェハは載置部（８）までＸ−Ｙステ
ージの移動と共に移動し、咳降置部（８）で受は側搬送
装！（１０）　（アンローダともいう）のベルトに載せ
られ搬送し、空ウェハカセット（１２）に収納される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

然るに、このように、以下に示す欠点がある。

（１）ウェハをウェハカセットからチャックに搬送する
送り個搬送装置（ローダともいう）で険送しウェハをチ
ャックから受け側搬送装置（アンローダともいう）によ
り空つエハカセソ＋−（１２）まで搬送するのであるが
、送り個搬送装置（ローダともいう）（４）及び測定ウ
ェハ用のウェハカセット載置台（１）　　と、受け側搬
送装置（アンローダともいう）　（１０）及び空つェハ
カセットｗ１置台（１３）が専用に設けられているので
、各装置及び２個のウェハカセット（２，１２）が必要
となる。また、これに伴って、ウェハを順次、１枚づつ
取出すエレベータ−機構（図示なし）が必要となってく
る。

これにより、ウエハプローバ内の各搬送装置及びウェハ
カセットｉｔ台の使用面積が必要であるため、ウエハプ
ローバを小型化することができない欠点がある。

（２）上記（１）により、同−形状内でのウエハプロー
バにおける測定枚数の処理能力を大幅に増大させること
ができない欠点がある。

（３）測定用ウェハ収納法のウェハカセットを送り個搬
送装置のウェハカセット載置台に配備し、測定済みのウ
ェハは受け側搬送装置のウェハカセットｆｉ！置台に配
備されている空ウェハカセットに収納されるようになっ
ているので、該送り側の８２部（６）と受は側の載置台
（８）との間に距離が存在し、チャックをＹ軸方向に移
動させる必要がありＹ軸方向に移動する面積がウエハプ
ローバの測定部分で必要である３よって測定部の大幅な
Ｙ軸方向における面積が必要であり、このままではＹ軸
方向に小型化ができない欠点がある。

本発明は上述した問題に鑑み、これらの欠点を−ｔｉす
る目的でなされたものである。ウニハフ゛ローバの搬送
装置を節易化することにより、ウエハプローバを小型化
、または、測定枚数処理能力を増大させることのできる
ウエハプローバを提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明において開示される発明のうち代表的なものとし
て概要を面単に説明すれば下記の通りである。

本発明のウエハプローバにおいて送り側搬送装置及び受
け側搬送装置における各々の搬送機能を有し、且つ単体
の装置で構成された搬送装置（以下、送受搬送装置とい
う）を案出したものでありウェハカセットから取出され
たウェハをチャックに搬送する送り個搬送手段と、チャ
ックからウェハカセットに搬送し受は個搬送手段との機
能を有する送受搬送装置を測定部とウェハカセット載置
台の中間に設けた構成である。そして送受搬送装置にお
ける送り側機能と受は側機能の切替はスイッチ等で行う
、そ、のスイッチは公知のもので、限定はしない。

〔作用〕

上記の構成を用いたウエハプローバは、ウニノ１のウェ
ハカセットにもどる工程の順に説明すると初メニエレベ
ータ機構付のウェハカセット載置台に被測定ウェハ収納
法ウェハカセットを載置し、取出しベルトで一枚づつ取
出されたウェハは送り個搬送手段に切替でいる送受搬送
装置でチャックまで搬送される。

チャック上のウェハは測定された後、載置部（被測定ウ
ェハがチャック上に載せたチャックの位置と同じ位置）
までもどり、受は個搬送手段に切替ている送受搬送装置
によりウエハカセ−／　トまで送られ、もとのウェハが
収納していた位置にもどる。これらくり返し、ウニバカ
セント内のウェハを順次くり返しすべてのウェハを測定
する。

〔実施例〕

以下、本発明の送受搬送装置を用いたウエハプローバの
一実施例を図面に従って説明する。

第１図は本発明の概略平面図及び側断面図である。

この実施例はウエハプローハの全体（３０）を示しエレ
ベータ機構（６１）のあるウェハカセットＲａ台及び、
測定後のウェハを該チャックから該ウェハカセットまで
搬送する搬送手段を有する送受搬送装置部（３２）と、
チャック（５）に載せられた被測定ウェハ（３）をプロ
ーブカード（２０）部まで移動し、該ウェハがプローブ
カード（２０）を介して外部のテスタ（９０）と導通し
、チップを測定する測定部（３１ｂ）とにより構成され
ている。

上記送受搬送装置（３２）は測定部（３１ｂ）　　と隣
接して配設されている。該送受搬送装置（３２）はΦ＋
ｈ芯にプーリ（５４ａ）を嵌入した駆動パルスモータ（
５４）と併設された２点のプーリ（５０，５１）が軸着
し、該プーリ間にベルトを張着した移動部（５２）と、
咳軸芯のプーリ（５４ａ）及び咳軸着したプーリ（５０
）間に駆動ヘルド（５３）を張着する。該ベルト（５３
）を張着した移動部（５２）が駆動パルスモータ（５４
）の回転方向を逆方向に変えることにより、送り個搬送
機能及び受は個搬送機能を有する手段で構成されている
。

該送受搬送装置部（３２）の動作は、エレベータ（６１
）に固定されたウェハカセット載置台（１）にウニ（３
）は送受搬送装置ｆ　（３２）によりチャック（５）ま
で搬送される。そして搬送された該ウェハ（３）はチャ
ック（５）に載りプローブカード（２０）部の測定位置
までＸ−Ｙステージの移動装置で移動し、ウェハのチッ
プが測定される。再び、チャック（５）に酸ウェハ（３
）を載せた位置（、ニチャソク（５）が載置部にもどる
。もどった該ウェハ（３）はチャック（５）から離れて
送受搬送装置を介して、酸ウェハ（３）はもとの該ウェ
ハヵセッ１〜に収納される。このときはウェハ取出しベ
ルト（６０）はウェハ取入れベルトに替っている。２該
取出し、該取入れベルトはパルスモータの正逆回転によ
って行われる。

上記のウェハブローバによるブロー１カードの触針を電
極に接触し、該チップの良否を測定する測定部について
は、１般送装置により搬送されたウェハは載置部（２７
）でチャックに載せられる。そして載せられた該ウェハ
はチャックの吸着機構で吸着されて、該チャックはＸ−
Ｙステージ（２９）に立設している。該Ｘ−Ｙステージ
がＸ方向Ｙ方向をツブ内の電極とプローブカードのプロ
ーブ触針との位置合わせを行う。その位置合わせはプロ
ーブカードに到達する前にウェハのスクライブラインを
レーザ等を使用して行う、その後プローブカードの真下
に配置される。すなわち、該チップの配列のＸ軸とプロ
ーブカードのプローブ触針の配列のＸ軸方向をプローブ
カード側の微調整のアームを回転することにより、すで
にアライメントされた電極に触針が触れるように顕微鏡
等の確認装置で確認する。

他のチップの＠、極に対する触針の位置合わせが行われ
ているものとして行う。

また、チャック（５）はパルスモータを用いて、上下方
向に移動させる。

触針（２０ｂ）　とウェハ表面の接触位置合わせは、下
げた状態で行われ、チップの電極に触針（２０ｂ）が触
れるのはチャックを上げた状態で圧接される。

そして、チップの電極とプローブカードの触針が触れる
ことにより外部テスタと導通し、該チップは測定される
。その測定が終了した後、チャック（５）はウェハ（３
）をチャック（５）上に載置した位置（２６）にＸ−Ｙ
ステージ（２９）を介してもどり、チャック（５）から
空気噴出し、ウェハは送受側搬送装置（３２）の左から
右に移動しているベルト上に載り、ウェハ取入れ９置（
６０）を介して、ウェハカセットに収納される。

第２図は本発明の他の概略平面図である。

この他の実施例はウエハプローバ全体を示し、送受搬送
装置部と測定部とにより構成されている。

上記測定部は第１図の発明の概略平面図と同じットで行
うことを目的としている。この構成は、送受搬送装置の
ベルトを張着した移動部（５２）の先端に変換ビン（８
１゜、、、８６）及びブランチベルｌ−（７１゜、、、
７６）設ける。そのブランチベルトの先端にウェハカセ
ットｉ！５！Ｘ台を独立して設ける。各ウェハカセ７）
は予め順番にそれぞれ一枚づつ取出すように設定してお
く。よってウェハカセット（１ａ）から一枚づつ取出し
、ブランチベルＩ−（７１，、、，８４）が送り側ベル
トに吸収されるように各ブランチベルトが移動するやそ
のときは、移動するベルトのみが少し上昇して移動させ
る。受は個搬送手段においては、この逆に移動させるこ
とにより、ウェハカセット（１ａ）に収納される。

第３図は本発明の他の応用概略平面図である。

この他の応用実施例は、ウエハプローバの全体を示し、
送受搬送装置を含む搬送部と測定部（３１ｂとにより構
成されているが、この場合は、ウェハカセットのウェハ
を他のウェハカセットに移し替える作業をウエハプロー
バの送受搬送装置内で行う。

のウニバカセントのウェハを取出し、ウェハカセットｔ
ａＺ台（１ｄ）上のウェハカセットに移し替えることが
できる。

〔発明の効果〕

（１）ウェハカセット部と測定側のチャック部との間に
、ウェハが送り側に移動する手段と、ウェハが受は側に
移動する手段が単体構成で自在に送り側にベルトが移動
し、また、受は側にベルトが移動可能な往復搬送装置を
設けることによって、ウェハを測定せしめる際に、従来
の方式であっては測定用ウェハ収納済ろのウェハカセッ
トを送り側のウェハカセット載置台に配備し、測定済み
のウェハは受は側のウェハカセット載置台に配備されて
いるウェハカセットに収納され、すなわち、１個のウェ
ハカセットのウェハを測定しようとするときは、送り側
のウェハカセットと受は側のウェハカセット合計２個が
必要である。

したがって、このような従来の送り側における搬送装置
及び、ウェハカセット載置台と、受は側の搬送装置及び
、ウエハカセノｔ−ｉ３！ｉ台とを用いする面積が不要
となり、不要となった面積だけ、ウエハプローバの大幅
な小型化を達成することができる効果が得られる。

（２）上記（１）により、本説明によれば、従来より処
理能力を向上させる場合は、空ウェハカセットを配備す
る面積部分に測定用ウェハ収納済みウニバカセントを！
！置することにより、ウエハプローバの測定処理能力が
２倍の効果が得られる。

（３）ウェハカセット部と測定側のチャック部との間に
、ウェハが送り側に移動する手段と、ウェハが受は側に
移動する手段が単体構成で、自在に送り側にベルトが移
執し、また、受は側にベルトが移動可能な往復搬送装置
を設けることによって、ウェハを測定せしめる際に、従
来の方式にあっては、測定用ウェハ収納済みのウェハカ
セットを送り個搬送装置のウェハカセット載置台に配備
し、測定済みのウェハは受け側搬送装置のウェハカセッ
ト載置台に配備されている空ウニバカセントに収納され
るので、測定用ウェハが送り側（ローダ）でチャックに
載せられ、測定済みのウェハが受方向に移動させなけれ
ばならず、Ｙ軸方向に移動する面積が必要である。

したがって、このような従来の送り側部と受は側部の両
方を配備しなければならない方法に比べ本発明によれば
、送り側部と受器ノ側部が同一位置で両方の動作を行う
ため、Ｙ軸方向に移動しないので、その分だけ面積が不
要であり、ウエハプローバの測定部における大幅な小型
化を達成することができる効果が得られる。

（４）その他の効果（ま多数ウェハカセットを設けた送
受搬送装置はウェハカセットから取出したウェハは、他
のウェハカセットに収納ができるのでつ振り分けること
もできる。ひいては、製造工程の時間の短縮によるコス
トの低下を実現できる効果が得られる。

（５）従来のように空つエハカセ／トを載せる必要がな
くなり、その空ウニバカセントに測定ウェハ収納済みウ
ェハカセットを載せているため、−ロフトで流す製品中
に下記に示ずウェハがでてきた場合にも適用される。ま
た、下記の効果イ）奏する。

■再検査を必要とされろウェハ ■自動針台わせが不充分とオペレータが判断したウェハ ■連続フェイルチップが発生して異常なウェハが発生し
た場合には、別に配設しであるウェハカセットに収納し
、現在測定しているウェハ全部終了後、前記ウェハを連
続して測定することができる本発明の応用における実施
例は上記のような状態においても被ウェハ測定枚数が多
くなっているためにウェハカセットに、例えば再検査が
必要と判断した場合は、ただちに再検査用カセットに挿
に基づき、具体的に説明したが、この発明は上記実施例
に限定されるものではない。

第３図の応用例は空ウェハカセットの替りに、ウェハカ
セットＲ置台を多数増大し、被測定ウェハ収納済みのウ
ェハカセットを載置する個数に関しては３個以上のウェ
ハカセット！５！置台を設ければよい。ただし、ウェハ
カセットｉＩ！１台と、それを上下するエレベータも必
要なことは言うまでもない。

上記ウェハを送り側に搬送１〜、また、受Ｌ−１側に搬
送する送受搬送装置は、エアベアリングを用いもいいし
、ベルトは丸ベルトを使用してもいいし平幅ベルトを使
用してもよい。ようするに、送受搬送手段をチャックと
ウェハカセット載置台の中間に位置させ、か２、単数の
搬送手段で移動部のみがチャック方向に移動するか、ウ
ェハカセット方向に移動するかの機能を持たせている。

上記ウエハプローバの動作制御、ウェハ搬送の動作制御
はコンビヱーク等の；ｌｌ＋Ｊ　？’ＪｒＪで行うこと
が望ましい、これに限らず、ハードロジック回路によ装
置等に広く利用できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はこの発明の一実施例を示す概略平面図 第１図（ｂ）はこの発明の一実施例を示す概略側断面図 第２図はこの発明の一実施例を示す応用概略平面第３図
はこの発明の一実施例の搬送部の応用概略平面図 第４図は従来の一実施例を示す概略平面図１：ウェハカ
セットＲ置台 １　ａ　−ｄ　：ウエハカセット ２：ウエハカセソト ３：ウェハ ２９二Ｘ−Ｙステージ ３０：テスタ ５０：プーリ ５１：プーリ ５４：駆動パルスモータ ６０：ウエハ取出しベルト（ウェハ取入れベルト）６１
：エレベータ ７０：Ｚ機構 ７１〜７６：ブランチベルト ８１〜８６：ウェハ方向変換ビン（伸縮自在）第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウエハプローバにおいて、送り側搬送装置及び受け側搬
   送装置における各々の搬送機能を有し、且つ一体物で構
   成された搬送装置を有することを特徴とするウエハプロ
   ーバ。