JPS627986A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS627986A JPS627986A JP14464985A JP14464985A JPS627986A JP S627986 A JPS627986 A JP S627986A JP 14464985 A JP14464985 A JP 14464985A JP 14464985 A JP14464985 A JP 14464985A JP S627986 A JPS627986 A JP S627986A
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- hydrogen
- pump
- vacuum
- cryopump
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空排気装置に係り、特に水素（重水素、トリ
チウムを含む）の安全な処理および再利用を図ることを
可能どした真空排気装置に関する。
チウムを含む）の安全な処理および再利用を図ることを
可能どした真空排気装置に関する。
従来、真空槽の排気を行なうために種々の真空ポンプが
使用されているが、真空ポンプを単独で使用１−ると、
完全に油清浄な真空を得ることができなかったり、また
、油清浄な真空を得ることができても極低温下で蒸気圧
の高い気体に対して排気能力が小さかつ１＝すしてすべ
ての真空領域にわたってすべての気体を排気するには不
十分であった。
使用されているが、真空ポンプを単独で使用１−ると、
完全に油清浄な真空を得ることができなかったり、また
、油清浄な真空を得ることができても極低温下で蒸気圧
の高い気体に対して排気能力が小さかつ１＝すしてすべ
ての真空領域にわたってすべての気体を排気するには不
十分であった。
そのため従来から、複数の真空ポンプを組み合わせて低
真空から高真空領域にわたって】べての気体を排気する
ことを可能とした真空１１Ｆ気装置がある。
真空から高真空領域にわたって】べての気体を排気する
ことを可能とした真空１１Ｆ気装置がある。
しかし、上記のような装置の場合、極低温下で蒸気圧の
島い水素、ネオン、ヘリウム等の気体を溜め込んで排気
するため、溜め込み量が限界になるとこの溜め込ｌυだ
気体を放出して再生するものであるが、特に水素の溜め
込み吊が少ないため再生を頻繁に行なう必要があり、特
にトリチウムを大気に放出すると布置であり問題となっ
ていた。
島い水素、ネオン、ヘリウム等の気体を溜め込んで排気
するため、溜め込み量が限界になるとこの溜め込ｌυだ
気体を放出して再生するものであるが、特に水素の溜め
込み吊が少ないため再生を頻繁に行なう必要があり、特
にトリチウムを大気に放出すると布置であり問題となっ
ていた。
本発明は」−記した点に鑑みてイ【されたもので、水素
の排気能力を高めることができ、かつ、水素の安全な処
理を行なうことのできる真空ｒＪＩ気装置を提供するこ
とを目的とするＩ〕のである。
の排気能力を高めることができ、かつ、水素の安全な処
理を行なうことのできる真空ｒＪＩ気装置を提供するこ
とを目的とするＩ〕のである。
上記目的を達成覆るため本発明に係る貞空ＩＩ気装置は
、真空槽に、少なくとも水素以外の気体を排気するクラ
イオポンプと、水素を選択的に初見する非蒸発型ポンプ
とを順次直列に接続したことをその特徴とするものであ
り、水素を甲種で補集することによりそのＩＩＦ気能力
を高めるとともに、処理を容易にかつ安全に行なうこと
ができるようになされている。
、真空槽に、少なくとも水素以外の気体を排気するクラ
イオポンプと、水素を選択的に初見する非蒸発型ポンプ
とを順次直列に接続したことをその特徴とするものであ
り、水素を甲種で補集することによりそのＩＩＦ気能力
を高めるとともに、処理を容易にかつ安全に行なうこと
ができるようになされている。
以下、本発明の実施例を第１図乃至第４図を参照して説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例を示したもので、真空槽１に
は、溜め込み式ボン／どしてのクライオポンプ２および
非蒸発型ポンプ３が順次直列に接続されている。
は、溜め込み式ボン／どしてのクライオポンプ２および
非蒸発型ポンプ３が順次直列に接続されている。
上記クライオポンプ２は、内部に約８０°におＪ、び１
０〜２０°にの冷ｕ１面を有（）でおり、この各冷却面
において１０ ”１２Ｔｏｒｒ以下の蒸気圧を打する水
素及びネオン、ヘリウム以外の気体を凝結補集するよう
になされている。また、−ｌｘ記非蒸発型ポンプ３は、
例えば水素吸蔵合金等の金属水素化物を有しており、水
素をこの金属水素化物に吸蔵さけることに」：す、水素
を溜め込みυ１気するにうになされている。
０〜２０°にの冷ｕ１面を有（）でおり、この各冷却面
において１０ ”１２Ｔｏｒｒ以下の蒸気圧を打する水
素及びネオン、ヘリウム以外の気体を凝結補集するよう
になされている。また、−ｌｘ記非蒸発型ポンプ３は、
例えば水素吸蔵合金等の金属水素化物を有しており、水
素をこの金属水素化物に吸蔵さけることに」：す、水素
を溜め込みυ１気するにうになされている。
本実施例においては、クライオポンプ２で水素以外の気
体を凝結補集し、非蒸発型ポンプ３で水素のみを排気す
るものであるため、水素の排気能力を大幅に高めること
ができ、また、非蒸気発型ポンプ３の水素溜め込み出が
限弄に達したら、所定の場所で非蒸発型ポンプ３の水素
を処理あるいは再利用するものである。したがって、特
にトリチウムの有害物質により大気を汚染することがな
く、有効に再利用することができる。
体を凝結補集し、非蒸発型ポンプ３で水素のみを排気す
るものであるため、水素の排気能力を大幅に高めること
ができ、また、非蒸気発型ポンプ３の水素溜め込み出が
限弄に達したら、所定の場所で非蒸発型ポンプ３の水素
を処理あるいは再利用するものである。したがって、特
にトリチウムの有害物質により大気を汚染することがな
く、有効に再利用することができる。
また、第２図は本発明の他の実施例を示したもので、非
蒸発型ポンプ３の後段側には、［−１−タリボンブ、透
過型ポンプやターボ分子ポンプ等のネオン、ヘリウムを
選択的に排気する真空ポンプ４が接続されており、クラ
イオポンプ２は、水素、ネオンおよびヘリウム以外の気
体を選択排気するように４賞されている。
蒸発型ポンプ３の後段側には、［−１−タリボンブ、透
過型ポンプやターボ分子ポンプ等のネオン、ヘリウムを
選択的に排気する真空ポンプ４が接続されており、クラ
イオポンプ２は、水素、ネオンおよびヘリウム以外の気
体を選択排気するように４賞されている。
本実施例においては、真空ポンプ４によりクライオポン
プ２および非蒸発型ポンプ３で１７１気されないネオン
およびヘリウムを１月見るすものであり、その他の部分
は上記実施例と同様である。したがって、本実施例にお
いても、水素の排気能力を＾めることができ、）［蒸発
型ポンプ３に溜め込まれた水素を安全に処即あるいは再
利用することができる。
プ２および非蒸発型ポンプ３で１７１気されないネオン
およびヘリウムを１月見るすものであり、その他の部分
は上記実施例と同様である。したがって、本実施例にお
いても、水素の排気能力を＾めることができ、）［蒸発
型ポンプ３に溜め込まれた水素を安全に処即あるいは再
利用することができる。
さらに、第３図は本発明の他の実施例を示１）たちので
、第３図（ａ）は第１図に示した装置のクライオポンプ
２の前段側に圧縮ポンプ５を直列に挿入接続したもので
あり、第３図（ｂ ） １．．１−１＝記圧縮ポンプ５
をクライオポンプ２の後段側に挿入接続したものである
。その他の部分は第１図に示す−４一 実施例と同様である。
、第３図（ａ）は第１図に示した装置のクライオポンプ
２の前段側に圧縮ポンプ５を直列に挿入接続したもので
あり、第３図（ｂ ） １．．１−１＝記圧縮ポンプ５
をクライオポンプ２の後段側に挿入接続したものである
。その他の部分は第１図に示す−４一 実施例と同様である。
本実施例においても、水素を安全に処即し、あるいは、
有効に再利用することができ、さらに、圧縮ポンプ５に
より排気気体を圧縮して濃度を高めるにうになされるの
で、排気効率を高めることが可能となる。
有効に再利用することができ、さらに、圧縮ポンプ５に
より排気気体を圧縮して濃度を高めるにうになされるの
で、排気効率を高めることが可能となる。
また、第４図は本発明のざらに他の実施例を示したもの
で、第２図に示した装置に第３図と同様に圧縮ポンプ５
が挿入接続されており、この圧縮ポンプ５は第４図（ａ
）においてはクライオポンプ２の前段側に、第４図（ｂ
）においては後段側にそれぞれ接続されている。
で、第２図に示した装置に第３図と同様に圧縮ポンプ５
が挿入接続されており、この圧縮ポンプ５は第４図（ａ
）においてはクライオポンプ２の前段側に、第４図（ｂ
）においては後段側にそれぞれ接続されている。
本実施例においても水素の安全な処理または再利用を図
ることができ、かつ、圧縮ポンプ５により排気効率を高
めることかできる。
ることができ、かつ、圧縮ポンプ５により排気効率を高
めることかできる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明に係る真空処理装置は、少なく
とｂ水素及びネオン、ヘリウム以外の気体をｔｅｌ気覆
るクライオポンプと、水素を選択的に排気する非蒸発型
ポンプとを順次直列に接続して構成され、上記非蒸発７
１１１ポンプにＪ、り水素のみを溜め込んで拮気−りる
Ｊ：うにしたので、水素の溜め込み間が増し１．ＩＦ気
能力を大幅に高めることか′Ｔ：さ、しかも、水素の安
全（２処理あるいは有効＜７７ｊ！利川を図ることがＣ
きる等の効果を奏する。
とｂ水素及びネオン、ヘリウム以外の気体をｔｅｌ気覆
るクライオポンプと、水素を選択的に排気する非蒸発型
ポンプとを順次直列に接続して構成され、上記非蒸発７
１１１ポンプにＪ、り水素のみを溜め込んで拮気−りる
Ｊ：うにしたので、水素の溜め込み間が増し１．ＩＦ気
能力を大幅に高めることか′Ｔ：さ、しかも、水素の安
全（２処理あるいは有効＜７７ｊ！利川を図ることがＣ
きる等の効果を奏する。
第１図、第２図、第３図（ａ）、（ｂ）および第４図（
ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明の一実施例を示づ”系
統構成図である。 １・・・真空槽、２・・・クライオポンプ、３・・・非
蒸発型ポンプ、４・・・真空ポンプ、５・・・圧縮ポン
プ。 出願人代即人 ν１ 膝 −Ｍ］第１図 （ａ） 、 （ｂ） （ｂ） 第４図
ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明の一実施例を示づ”系
統構成図である。 １・・・真空槽、２・・・クライオポンプ、３・・・非
蒸発型ポンプ、４・・・真空ポンプ、５・・・圧縮ポン
プ。 出願人代即人 ν１ 膝 −Ｍ］第１図 （ａ） 、 （ｂ） （ｂ） 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空槽に、少なくとも水素（重水素、トリチウムを
含む）及びネオン、ヘリウム以外の気体を排気するクラ
イオポンプと、水素を選択的に排気する非蒸発型ポンプ
とを順次直列に接続したことを特徴とする真空排気装置
。 ２、上記非蒸発型ポンプは、金属水素化物等の水素吸蔵
合金を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14464985A JPS627986A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14464985A JPS627986A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627986A true JPS627986A (ja) | 1987-01-14 |
Family
ID=15366989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14464985A Pending JPS627986A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627986A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0560066A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-09 | Japan Steel Works Ltd:The | 真空排気方法及び装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58117372A (ja) * | 1981-12-30 | 1983-07-12 | Ulvac Corp | クライオポンプとバルグゲッタポンプを組合わせた超高真空ポンプ |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14464985A patent/JPS627986A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58117372A (ja) * | 1981-12-30 | 1983-07-12 | Ulvac Corp | クライオポンプとバルグゲッタポンプを組合わせた超高真空ポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0560066A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-09 | Japan Steel Works Ltd:The | 真空排気方法及び装置 |
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