JPS6280503A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JPS6280503A JPS6280503A JP60220174A JP22017485A JPS6280503A JP S6280503 A JPS6280503 A JP S6280503A JP 60220174 A JP60220174 A JP 60220174A JP 22017485 A JP22017485 A JP 22017485A JP S6280503 A JPS6280503 A JP S6280503A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- semiconductor device
- detection element
- device detection
- objective lens
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、半導体装置検出素子を用いて被測定対象の位
置を検出する位置検出装置に関する。
置を検出する位置検出装置に関する。
[従来技術]
一般に、カメラの自動焦点機構や移動する物体に取り付
けた光点の軌跡を測定する測定装置等、光学的な手段に
よって物体の距離あるいは位置を測定する位置検出装置
では、発光素子から投射された光の反射光あるいは透過
光をスポット状に絞り、この光スポットを半導体装置検
出素子に結像し、この半導体装置検出素子の出力信号に
基づいて、被測定対象の位置を検出している。
けた光点の軌跡を測定する測定装置等、光学的な手段に
よって物体の距離あるいは位置を測定する位置検出装置
では、発光素子から投射された光の反射光あるいは透過
光をスポット状に絞り、この光スポットを半導体装置検
出素子に結像し、この半導体装置検出素子の出力信号に
基づいて、被測定対象の位置を検出している。
この半導体装置検出素子PSDは、第6図に示したよう
に、平板状シリコンの表面に形成した均一な抵抗層であ
るP層PL、裏面に形成したNWNLおよびこのP層P
LとN層NLの中間に位置する絶縁体からなるI層IL
によって構成されており、PWPLの両端部には電極G
l、G2が、NMNLの中間部にはバイアス電極GBが
それぞれ形成されている。
に、平板状シリコンの表面に形成した均一な抵抗層であ
るP層PL、裏面に形成したNWNLおよびこのP層P
LとN層NLの中間に位置する絶縁体からなるI層IL
によって構成されており、PWPLの両端部には電極G
l、G2が、NMNLの中間部にはバイアス電極GBが
それぞれ形成されている。
いま、半導体装置検出素子PSDに光スポットLSが入
射されると、その入射位置には光スポットLSによる光
エネルギーに対応した電荷が発生する。
射されると、その入射位置には光スポットLSによる光
エネルギーに対応した電荷が発生する。
この発生した電荷は、光電流I0として抵抗層であるP
Ji5PLを介し、電極Gl、G2から出力される。な
お、このとき、両電極Gl、G2には等しいバイアス電
圧をかけておく。
Ji5PLを介し、電極Gl、G2から出力される。な
お、このとき、両電極Gl、G2には等しいバイアス電
圧をかけておく。
P層PLは、上述のように均一な抵抗層に形成されてい
るので、光電流■。は電極Gl、G2までの距離に逆比
例して分割され、それぞれの電極Gl、G2がら取り出
される。
るので、光電流■。は電極Gl、G2までの距離に逆比
例して分割され、それぞれの電極Gl、G2がら取り出
される。
ここで、電極間の距離を2L、電極Gl 、G2がら取
り出される電流をI、、I2とし、中心から光スポット
LSの入射位置までの距離をXとすると、それぞれ電流
11.I2の大きさは次のようになる。
り出される電流をI、、I2とし、中心から光スポット
LSの入射位置までの距離をXとすると、それぞれ電流
11.I2の大きさは次のようになる。
11=Io(L−x)/2L、 1.=1.(Lax
)/2しただし、 ■。二rよ+■2 である。
)/2しただし、 ■。二rよ+■2 である。
したがって、電流1.、I、の差は、次のようになる。
L−L=I。(x/L)
そこで、電流11.I、の差を光電流I0で除算すると
、中心から光スポットLSまでの距離Xに対応した信号
を得ることができる。そして、その信号に基づいて光ス
ポットLSの入射位置を検出し、その入射位置から測定
対象の位置を検出している。
、中心から光スポットLSまでの距離Xに対応した信号
を得ることができる。そして、その信号に基づいて光ス
ポットLSの入射位置を検出し、その入射位置から測定
対象の位置を検出している。
ところで、半導体装置検出素子PSDが経年劣化したり
環境温度が変化すると、同一光量を受光したときの光電
流■。が低下あるいは変化する。また、発光素子が経年
劣化したり環境温度が変化すると、その発光量が低下あ
るいは変化する。さらに5発光素子の出力光をスポット
状に絞って半導体装置検出素子PSDに導く光学系の汚
れ等によって、半導体装置検出素子PSDに照射される
光量が減少する。
環境温度が変化すると、同一光量を受光したときの光電
流■。が低下あるいは変化する。また、発光素子が経年
劣化したり環境温度が変化すると、その発光量が低下あ
るいは変化する。さらに5発光素子の出力光をスポット
状に絞って半導体装置検出素子PSDに導く光学系の汚
れ等によって、半導体装置検出素子PSDに照射される
光量が減少する。
このような各要素の特性の変化によって、半導体装置検
出素子PSDの光電流工。が変動すると、これに伴って
半導体装置検出素子PSDから出力される電流I、、I
2の差の値が変動する(第7図参照)。
出素子PSDの光電流工。が変動すると、これに伴って
半導体装置検出素子PSDから出力される電流I、、I
2の差の値が変動する(第7図参照)。
しかしながら、光電流I0の値が小さくなっている場合
には、上述のように、光スポットLSの入射位置を検出
するため電流I工lI2の差を光電流I。で除算したと
きに、その演算誤差が非常に大きくなるという問題を生
じていた。また、このような除算によって光スポットの
入射位置を算出する装置は、その構成が複雑になるとい
う不都合も生じていた。
には、上述のように、光スポットLSの入射位置を検出
するため電流I工lI2の差を光電流I。で除算したと
きに、その演算誤差が非常に大きくなるという問題を生
じていた。また、このような除算によって光スポットの
入射位置を算出する装置は、その構成が複雑になるとい
う不都合も生じていた。
[目的コ
本発明は、上述した従来技術の問題を解決するためにな
されたものであり、検出誤差を小さく押えることができ
、かつ、構成が簡単になる位置検出装置を提供すること
を目的としている。
されたものであり、検出誤差を小さく押えることができ
、かつ、構成が簡単になる位置検出装置を提供すること
を目的としている。
[構成コ
本発明は、この目的を達成するために、半導体装置検出
素子の受光量が一定になるように、発光素子の発光量を
制御している。また、光スポットの入射位置を算出する
ときには、半導体装置検出素子の両端から出力される電
流の差に基づいて算出している。
素子の受光量が一定になるように、発光素子の発光量を
制御している。また、光スポットの入射位置を算出する
ときには、半導体装置検出素子の両端から出力される電
流の差に基づいて算出している。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は1本発明の一実施例を適用する光デイスク駆動
装置の光ピツクアップの構造例を示している。なお、こ
の光ピツクアップは、光ピツクアップを光ディスクの半
径方向(すなわちトラッキング方向)に移動するキャリ
ッジ(図示811i)に取り付けられている。
装置の光ピツクアップの構造例を示している。なお、こ
の光ピツクアップは、光ピツクアップを光ディスクの半
径方向(すなわちトラッキング方向)に移動するキャリ
ッジ(図示811i)に取り付けられている。
まず、光ピツクアップについてその概要を説明する。
近年、光記憶媒体をディスク状に構成した光ディスクを
記憶媒体として用いる光デイスク記憶装置が提案されて
いる。この光ディスクには、そのデータ記憶面に、例え
ばトラック幅が1μm程度でトラックピッチが2μm程
度の微細な構造の記録トラックが形成されており、この
記録トラックにスポット径がltLm程度のレーザビー
ムを照射する。
記憶媒体として用いる光デイスク記憶装置が提案されて
いる。この光ディスクには、そのデータ記憶面に、例え
ばトラック幅が1μm程度でトラックピッチが2μm程
度の微細な構造の記録トラックが形成されており、この
記録トラックにスポット径がltLm程度のレーザビー
ムを照射する。
そして、光ディスクを回転駆動しながら、レーザビーム
の強度を記録するデータに対応して変調することでデー
タを記憶し、また、レーザビームのデータ記憶面からの
反射光のレベルの変動を検出することで記憶したデータ
を再生している。
の強度を記録するデータに対応して変調することでデー
タを記憶し、また、レーザビームのデータ記憶面からの
反射光のレベルの変動を検出することで記憶したデータ
を再生している。
このように、レーザビームを記録トラックに追従すると
ともに、そのスポット径を所定の大きさに絞る部分が、
光ピツクアップである。
ともに、そのスポット径を所定の大きさに絞る部分が、
光ピツクアップである。
第1図において、半導体レーザ素子1がら出力されたレ
ーザ光は、カップリングレンズ2によって平行光に変換
され、偏光ビームスプリッタ3を透過し、174波長板
4によって偏光されたのちに、対物レンズ5によって絞
られ、光ディスク6の記録トラックに結像される。
ーザ光は、カップリングレンズ2によって平行光に変換
され、偏光ビームスプリッタ3を透過し、174波長板
4によって偏光されたのちに、対物レンズ5によって絞
られ、光ディスク6の記録トラックに結像される。
この光ディスク6からの反射光は、再度対物レンズ5を
介して平行光に変換されたのちに、174波長板4によ
ってさらに偏光され、これによって、偏光ビームスプリ
ッタ3によって反射され、レンズ7によってトラッキン
グ誤差検出用の2分割受光素子8に結像される。
介して平行光に変換されたのちに、174波長板4によ
ってさらに偏光され、これによって、偏光ビームスプリ
ッタ3によって反射され、レンズ7によってトラッキン
グ誤差検出用の2分割受光素子8に結像される。
また、対物レンズ5には、この対物レンズ5を光ディス
ク6の半径方向に移動するためのトラッキングアクチュ
エータ付設されており、2分割受光素子8の出力差信号
に基づいて、記録トラック上におけるレーザビームの位
置すれか1図示しないトラッキング制御部によって検出
される。
ク6の半径方向に移動するためのトラッキングアクチュ
エータ付設されており、2分割受光素子8の出力差信号
に基づいて、記録トラック上におけるレーザビームの位
置すれか1図示しないトラッキング制御部によって検出
される。
そして、このトラッキング制御部によりトラッキングア
クチュエータが制御されて、記録トラック上におけるレ
ーザビームの位置ずれを小さくする方向に対物レンズ5
が移動される。
クチュエータが制御されて、記録トラック上におけるレ
ーザビームの位置ずれを小さくする方向に対物レンズ5
が移動される。
さて、目的とする記録トラックにレーザビームを移動す
るには、通常1次のような2段階の制御がなされる。
るには、通常1次のような2段階の制御がなされる。
すなわち、光ピツクアップを待機位置から目的記録トラ
ックに移動するとき、まず、その記録トラックまでの距
離をキャリッジによって移動する粗位置決め制御を実行
する。
ックに移動するとき、まず、その記録トラックまでの距
離をキャリッジによって移動する粗位置決め制御を実行
する。
この粗位置決め制御では、待機位置から移動したときの
キャリッジの位置決め精度内に光ピツクアップが位置決
めされるので、そのときの記録トラックの位置情報を読
み取り、目的の記録トラックとの誤差を判別する。
キャリッジの位置決め精度内に光ピツクアップが位置決
めされるので、そのときの記録トラックの位置情報を読
み取り、目的の記録トラックとの誤差を判別する。
その誤差が1例えば30トラツク以内と極く僅かの場合
には、対物レンズ5のみをトラッキングアクチュエータ
によって隣接する記録トラックに。
には、対物レンズ5のみをトラッキングアクチュエータ
によって隣接する記録トラックに。
その誤差分だけ逐次移動する(トラッキングジャンプ制
御)。
御)。
粗位置決め制御による誤差が30トラツクよりも大きい
場合には、キャリッジによる光ピツクアップの移動を実
行し、そのときに位置決めされた記録トラックの位置情
報を読み取り、目的の記録トラックとの誤差を判別して
、トラッキングジャンプ制御を実行する。
場合には、キャリッジによる光ピツクアップの移動を実
行し、そのときに位置決めされた記録トラックの位置情
報を読み取り、目的の記録トラックとの誤差を判別して
、トラッキングジャンプ制御を実行する。
また、ある記録トラックから別の記録トラックへ移動す
るときは、上述した粗位置決め制御の後と同じ制御によ
って、光ピツクアップを目的の記録トラックに位置決め
する。
るときは、上述した粗位置決め制御の後と同じ制御によ
って、光ピツクアップを目的の記録トラックに位置決め
する。
このようにして、目的の記録トラックに光ピツクアップ
を位置決めする。
を位置決めする。
ところで、トラッキングジャンプ制御によって対物レン
ズ5のみを移動した場合を考えると、このときは、対物
レンズ5を移動した距離に対応して光ピツクアップの光
軸がずれる。
ズ5のみを移動した場合を考えると、このときは、対物
レンズ5を移動した距離に対応して光ピツクアップの光
軸がずれる。
このずれは、レーザビームが光ディスク6で反射される
ために、2分割受光素子8では約2倍になり、したがっ
て、2分割受光素子8のおのおの受光面での受光量が、
トラックジャンプ制御をしないときと較べると大きく偏
る。
ために、2分割受光素子8では約2倍になり、したがっ
て、2分割受光素子8のおのおの受光面での受光量が、
トラックジャンプ制御をしないときと較べると大きく偏
る。
その結果、トラッキング誤差のオフセット量が大きくな
るので、適切なトラッキング制御ができなくなるおそれ
がある。
るので、適切なトラッキング制御ができなくなるおそれ
がある。
そこで1本実施例では対物レンズ5の移動量を検出し、
その検出結果をトラッキング制御部にフィードバックす
ることで、対物レンズ5の光軸がが光ピツクアップの光
軸に常に一致するようにしており、半導体装置検出素子
を用いた位置検出装置は、対物レンズ5の移動量を検出
する手段として用いられている。
その検出結果をトラッキング制御部にフィードバックす
ることで、対物レンズ5の光軸がが光ピツクアップの光
軸に常に一致するようにしており、半導体装置検出素子
を用いた位置検出装置は、対物レンズ5の移動量を検出
する手段として用いられている。
第2図および第3図は、対物レンズ5の取り付は部の、
構成例を示している。なお、対物レンズ5は矢印Aで示
したトラッキング方向に移動される。
構成例を示している。なお、対物レンズ5は矢印Aで示
したトラッキング方向に移動される。
図において、対物レンズ5は中空な支持部材10の中央
部に取り付けられており、この支持部材10のトラッキ
ング方向と直角な面には、それぞれ可動コイル11.1
2が巻回されているボビン13.14が固設されて、こ
のボビン13.14により、それぞれ略コの字状に形成
された磁石15.16の一方の腕が取り囲まれている。
部に取り付けられており、この支持部材10のトラッキ
ング方向と直角な面には、それぞれ可動コイル11.1
2が巻回されているボビン13.14が固設されて、こ
のボビン13.14により、それぞれ略コの字状に形成
された磁石15.16の一方の腕が取り囲まれている。
支持部材10のトラッキング方向の一面には、アパーチ
ャ17が穿設されている遮光板18が、トラッキング方
向に延長するように取り付けられており、遮光板18を
隔てて発光ダイオード19および半導体位置検出素子2
0が対向配設されている。これにより、発光ダイオード
19から出力された拡散光がアパーチャ17で絞られて
ピンポイントの光束に形成され、この光束が半導体装置
検出素子20に照射される。また、対物レンズ5が移動
されていない状態で、半導体装置検出素子20における
光束の受光位置が、中央基準位置になるように、発光ダ
イオード19と半導体装置検出素子20の位置が設定さ
れている。
ャ17が穿設されている遮光板18が、トラッキング方
向に延長するように取り付けられており、遮光板18を
隔てて発光ダイオード19および半導体位置検出素子2
0が対向配設されている。これにより、発光ダイオード
19から出力された拡散光がアパーチャ17で絞られて
ピンポイントの光束に形成され、この光束が半導体装置
検出素子20に照射される。また、対物レンズ5が移動
されていない状態で、半導体装置検出素子20における
光束の受光位置が、中央基準位置になるように、発光ダ
イオード19と半導体装置検出素子20の位置が設定さ
れている。
これらの各要素は、略円筒状に形成された取付部材21
の底面に配設されている。取付部材21の開放端側に形
成されている取付座22は、この取付部材21を光ピツ
クアップの本体に接続するためのものであり、その開放
端は、第1図の1/4波長板4以下の光ピツクアップの
光学系に接続している。また、支持部材10は、仮バネ
等によって、取付部材21にトラッキング方向に移動可
能に取り付けられている。
の底面に配設されている。取付部材21の開放端側に形
成されている取付座22は、この取付部材21を光ピツ
クアップの本体に接続するためのものであり、その開放
端は、第1図の1/4波長板4以下の光ピツクアップの
光学系に接続している。また、支持部材10は、仮バネ
等によって、取付部材21にトラッキング方向に移動可
能に取り付けられている。
したがって、可動コイル11.12に電流を流すと、こ
の可動コイル11.12と磁石15.16の間に生じる
磁気的な力により、支持部材10がトラッキング方向に
移動する。この移動方向および移動量は、可動コイル1
1.12に流す電流の方向および大きさによって定まる
。
の可動コイル11.12と磁石15.16の間に生じる
磁気的な力により、支持部材10がトラッキング方向に
移動する。この移動方向および移動量は、可動コイル1
1.12に流す電流の方向および大きさによって定まる
。
この支持部材10の移動に伴って遮光板18が移動しす
ると、アパーチャー17の位置が変化するので、このア
パーチャー17を通過する発光ダイオード19の光束の
方向が変化し、それによって、半導体装置検出素子20
における光スポットの位置が変化するので、この半導体
装置検出素子20の出力によって、対物レンズ5の移動
方向および移動量を検出することができる。
ると、アパーチャー17の位置が変化するので、このア
パーチャー17を通過する発光ダイオード19の光束の
方向が変化し、それによって、半導体装置検出素子20
における光スポットの位置が変化するので、この半導体
装置検出素子20の出力によって、対物レンズ5の移動
方向および移動量を検出することができる。
第4図は、本発明の一実施例にかかるブロック図を示す
。
。
図において、半導体装置検出素子20の出力電流信号1
.は、加算器31の一入力端および減算器32のマイナ
ス入力端に加えられ、出力電流信号工2は、加算器の3
1の他の入力端および減算器32のプラス入力端に加え
られている。加算器31から出力される和信号SAは和
信号−主回路33の一入力端に、減算器32から出力さ
れる差信号SSは光ピツクアップのトラッキング制御部
34に加えられている。
.は、加算器31の一入力端および減算器32のマイナ
ス入力端に加えられ、出力電流信号工2は、加算器の3
1の他の入力端および減算器32のプラス入力端に加え
られている。加算器31から出力される和信号SAは和
信号−主回路33の一入力端に、減算器32から出力さ
れる差信号SSは光ピツクアップのトラッキング制御部
34に加えられている。
和信号−主回路33の他入力端には、基準値設定器35
により基準光量に対応して設定されている基準信号RP
が加えられている。和信号−主回路33は、和信号SS
が基準信号RPに等しくなるように、和信号SSと基準
信号RPの差に対応して駆動信号SDを形成し、この駆
動信号SDを、発光ダイオード19を駆動する発光ダイ
オード駆動回路36に出力する。これによって、発光ダ
イオード19に供給される駆動電流DLが制御され、そ
の結果、発光ダイオード19が基準の光量で点灯する。
により基準光量に対応して設定されている基準信号RP
が加えられている。和信号−主回路33は、和信号SS
が基準信号RPに等しくなるように、和信号SSと基準
信号RPの差に対応して駆動信号SDを形成し、この駆
動信号SDを、発光ダイオード19を駆動する発光ダイ
オード駆動回路36に出力する。これによって、発光ダ
イオード19に供給される駆動電流DLが制御され、そ
の結果、発光ダイオード19が基準の光量で点灯する。
さて、前述のように、半導体装置検出素子20の出力電
流1.、I2の差は、そのときに半導体装置検出素子2
0に入射されている光スポットの基準位置く中央位置)
からの位置ずれ量と、受光量の積に比例しているが、こ
の実施例では受光量を一定に制御しているので、差信号
SSの値が直接光スポットの基準位置からの位置ずれ量
に対応している。
流1.、I2の差は、そのときに半導体装置検出素子2
0に入射されている光スポットの基準位置く中央位置)
からの位置ずれ量と、受光量の積に比例しているが、こ
の実施例では受光量を一定に制御しているので、差信号
SSの値が直接光スポットの基準位置からの位置ずれ量
に対応している。
光ピンクアップのトラッキング制御部34は、この差信
号SSに対応して、光ピツクアップを搭載しているキャ
リッジを移動する。また、対物レンズ5を移動するトラ
ッキングアクチュエータの制御系においては、このキャ
リッジの移動に伴って変化する2分割受光素子8の出力
信号に基づき、レーザビームが目的の記録トラックから
外れないように、対物レンズ5を位置決めする。
号SSに対応して、光ピツクアップを搭載しているキャ
リッジを移動する。また、対物レンズ5を移動するトラ
ッキングアクチュエータの制御系においては、このキャ
リッジの移動に伴って変化する2分割受光素子8の出力
信号に基づき、レーザビームが目的の記録トラックから
外れないように、対物レンズ5を位置決めする。
その結果、対物レンズ5の光軸が常に光ピツクアップの
光軸に一致するようになり、2分割受光素子8でのレー
ザビームの受光位置が、記録トランクへの位置決め誤差
分のみに対応したものになるので、オフセット量を含ま
ないトラッキング誤差信号を得ることができ、トラッキ
ング制御が確実に行なわれる。
光軸に一致するようになり、2分割受光素子8でのレー
ザビームの受光位置が、記録トランクへの位置決め誤差
分のみに対応したものになるので、オフセット量を含ま
ないトラッキング誤差信号を得ることができ、トラッキ
ング制御が確実に行なわれる。
ところで、上述した実施例では、発光ダイオード19か
ら出力された光をアパーチャ17で絞って半導体装置検
出素子20に照射しているが、この位置検出の構成はこ
れに限ることはなく、その他の例を第5図に示す。
ら出力された光をアパーチャ17で絞って半導体装置検
出素子20に照射しているが、この位置検出の構成はこ
れに限ることはなく、その他の例を第5図に示す。
この実施例では、対物レンズ5の支持部材10に。
反射率の小さい材質からなる支持板23を取り付け。
この支持板23に、極く細いストライプ状の反射部材2
4を取り付け、発光ダイオード19から出力された拡散
光の一部をその反射部材24で反射して、半導体装置検
出素子20に照射しているにの場合、対物レンズ5を移
動していない状態で、反射部材24から反射された光が
半導体装置検出素子20の中央基準位置で受光されるよ
うに1発光ダイオード19、半導体装置検出素子20お
よび反射部材24の位置を設定する。
4を取り付け、発光ダイオード19から出力された拡散
光の一部をその反射部材24で反射して、半導体装置検
出素子20に照射しているにの場合、対物レンズ5を移
動していない状態で、反射部材24から反射された光が
半導体装置検出素子20の中央基準位置で受光されるよ
うに1発光ダイオード19、半導体装置検出素子20お
よび反射部材24の位置を設定する。
なお、同図において第3図と同一部分は同一符号を付し
てあり、また、前述した実施例と異なる部分以外の図示
を省略する。
てあり、また、前述した実施例と異なる部分以外の図示
を省略する。
ところで1以上説明した実施例では、1次元の半導体装
置検出素子について本発明を適用しているが、本発明は
、2次元の半導体装置検出素子にも同様に適用すること
ができる。また1本発明は、光ピツクアップにおける対
物レンズ移動量の検出以外にも、当然のことながら適用
することができる。
置検出素子について本発明を適用しているが、本発明は
、2次元の半導体装置検出素子にも同様に適用すること
ができる。また1本発明は、光ピツクアップにおける対
物レンズ移動量の検出以外にも、当然のことながら適用
することができる。
[効果コ
以上説明したように、本発明によれば、半導体装置検出
素子の受光量が一定になるように、発光素子の発光量を
制御しており、また、光スポットの入射位置を算出する
ときには、半導体装置検出素子の両端から出力される電
流の差に基づいて算出しているので、位置検出誤差を小
さく押えることができ、かつ、装置構成が簡単になると
いう利点を得る。
素子の受光量が一定になるように、発光素子の発光量を
制御しており、また、光スポットの入射位置を算出する
ときには、半導体装置検出素子の両端から出力される電
流の差に基づいて算出しているので、位置検出誤差を小
さく押えることができ、かつ、装置構成が簡単になると
いう利点を得る。
第1図は本発明の一実施例を適用する光ピツクアップの
光学系の概略構成図、第2図は対物レンズの駆動部を例
示した斜視図、第3図は第2図の平面図、第4図は本発
明の一実施例を示したブロック図、第5図は位置検出部
の他の例を示した概略構成図、第6図は半導体装置検出
素子の原理を説明するための説明図、第7図は電流I、
、I、の差と光電流■。の関係を示したグラフ図である
。 17・・・アパーチャ、18・・・遮光板、19・・・
発光ダイオード、20・・・半導体装置検出素子、23
・・・支持板、24・・・反射部材、31・・・加算器
、32・・・減算器、33・・・和信号一定回路、35
・・・基準値設定器、36・・・発光ダイオード駆動回
路。 代理人 弁理士 紋 日 誠 ゛′$1図 第4図 第 6 図 第7図 −h
光学系の概略構成図、第2図は対物レンズの駆動部を例
示した斜視図、第3図は第2図の平面図、第4図は本発
明の一実施例を示したブロック図、第5図は位置検出部
の他の例を示した概略構成図、第6図は半導体装置検出
素子の原理を説明するための説明図、第7図は電流I、
、I、の差と光電流■。の関係を示したグラフ図である
。 17・・・アパーチャ、18・・・遮光板、19・・・
発光ダイオード、20・・・半導体装置検出素子、23
・・・支持板、24・・・反射部材、31・・・加算器
、32・・・減算器、33・・・和信号一定回路、35
・・・基準値設定器、36・・・発光ダイオード駆動回
路。 代理人 弁理士 紋 日 誠 ゛′$1図 第4図 第 6 図 第7図 −h
Claims (1)
- 被測定対象に連動する光スポットを半導体装置検出素子
に投射し、この半導体装置検出素子の両端から出力され
る電流値の差に基づいて、上記被測定対象の位置を検出
する位置検出装置において、上記半導体装置検出素子の
受光量が所定値になるように、上記光スポットの光量を
制御する光量制御手段を備えたことを特徴とする位置検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60220174A JPS6280503A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60220174A JPS6280503A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280503A true JPS6280503A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=16747044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60220174A Pending JPS6280503A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280503A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6410102A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Koyo Electronics Ind Co | Input/output control circuit for position detecting device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228103A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-21 | Sony Corp | 変位量検出装置 |
| JPS60121535A (ja) * | 1984-07-31 | 1985-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ビ−ムのトラツク横切り方向または移動量検出装置 |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP60220174A patent/JPS6280503A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228103A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-21 | Sony Corp | 変位量検出装置 |
| JPS60121535A (ja) * | 1984-07-31 | 1985-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ビ−ムのトラツク横切り方向または移動量検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6410102A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Koyo Electronics Ind Co | Input/output control circuit for position detecting device |
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