JPS6282514A - ディスク部材の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
録層が形成されるディスク部材を洗浄するディスク部材
の洗浄装置に関するものである。

従来の技術 ディスク部材として１例えば・磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラッピン
グ加工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る
後に該ディスク部材の表面に磁性体を塗布することによ
って、磁気記録層が形成されるようになっている。ここ
で、前述の記録層の膜圧を均一なものにするために、予
じめディスク部材の表面に塵埃等の異物が付着していな
い状態となして、磁性体の塗布を行う必要がある。この
ために、記録層の形成前、また必要に応じて記録層形成
後にもディスク部材の洗浄が行なわれる。

従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスク部材
をラックに装着した状態で洗浄液に浸漬させ、この洗浄
液を高周波振動させたり、または洗浄液中でスポンジ等
の洗浄具を用いて表面を拭うようにしていた。

発明が解決しようとする問題点 前述のように、高周波振動により洗浄を行うようにする
と、洗浄装置の全体構造が複雑となり、装置構成が大型
になる等の不都合があるだけでなく、ディスク部材の汚
れのうち油汚れのようなものを完全に除去できない等の
欠点があった。一方、手作業による洗浄は手間がかかる
と共に、製品としての磁気ディスク、光ディスク等にお
ける製造コストも高くなる等の欠点があった。

本発明は前述した従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、簡単で、コンパクトな構成によりディスク
部材の洗浄を自動的に行うことができるようにしたディ
スク部材の洗浄装置を提供することを目的とするもので
ある。

問題点を解決するための手段 前述の目的を達成するたてに本発明に係る洗浄装置は、
所定角度ずつ回動するロータリテーブルと、該ロータリ
テーブルとに立設され、該ロータリテーブルを複数の作
業区画部に区画形成する仕切壁と、該各作業区画部に設
置され、ディスク部材の外周縁または内周縁をチャック
するチャック部材と、前記各作業区画部に対応する位置
に設けられ、当該各位置に移送されたディスク部材に対
してそれぞれ所定の洗浄作業を行う洗浄部材とから構成
したことを特徴とするものである。

作用 前述のように構成される洗浄装置を使用してディスク部
材の洗浄を行うには、例えば、多数のディスク部材を立
設状態にしたラックを搬送させ、ディスク部材をこの搬
入用ラックから１枚ずつ取出して、複数の作業区画部に
区画形成されたロータリテーブル上の−の作業区画部に
設置する。そして、このロータリテーブルを所定角度ず
つ回動させる間に、洗浄部材を作動させて、ディスク部
材の表面に付着した塵埃、摩耗粉等の異物を除去すると
共に、表面に付着した油膜の拭き取りを行う、この洗浄
部材は洗浄水を供給しながら行う擦具、刷毛のほか、洗
浄水の噴射、シャワー等適宜の手段により行うことがで
き、また洗浄は洗剤を使用した洗浄、水洗い、すすぎ等
の工程で行うことができる。この洗浄完了後、ロータリ
テーブルの作業区画部またはロータリテーブルから取出
した後に、ディスク部材を乾燥させて、清浄となったデ
ィスク部材を搬出手段より外部に取出す。

前述の如く、ディスク部材をロータリテーブルにチャッ
クさせた状態で所定角度ずつ回動させる間に複数の作業
からなる洗浄を行うようにすることによって簡単でコン
パクトな構成の洗浄装置によりディスク部材の洗浄を自
動的に行うことができる。そして、ロータリテーブル上
に仕切壁を設けているから、−の洗浄作業を行う作業区
画部における洗浄液がそれに先行する作業区画部に設置
したディスク部材を汚損する等の不都合は生じない。

実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、この実施例ではディスク部材をラッピング加工した
後における洗浄を行うものとして構成した場合について
説明する。

まず、第１図において、１は洗浄装置本体を構成するハ
ウジングで、該ハウジング１内には搬入用ラック２を搬
送する搬入部３．搬出用ラック４を搬送する搬出部５が
形成されると共に、作業室６が形成されている。

作業室６内は洗浄部７と乾燥部８とに分れ、かつ該作業
室６には搬入用ラック２においてラッピング処理された
ディスク部材９が立設状態で搬送され、この搬送途中で
シャワー１０により予備洗浄されたディスク部材を１枚
ずつ取出す搬入ハンドラ１２が設けられると共に、洗浄
、乾燥後のデイスり部材１０を搬出用ラック２に移送す
る搬出／＼ンドラ１３が設けられ、該各ハンドラ１２．
１３はそれぞれ回動アーム＋２ａ、＋３ａの先端にディ
スク部材９をチャックするチャック部材１２ｂ、１３ｂ
を装着することにより構成され、さらに搬入ハンドラ１
１から洗浄部７、該洗浄部７から乾燥部８、該乾燥部８
から搬出ハンドラ１２ヘディスク部材９を移載する移載
ハンドラ１３が配設され、該移載ハンドラ１３は所定角
度往復回動じ得ると共にその回動軸線に沿って前後に往
復動じ得るようになっている。そして、移載ハンドラ１
３は３つの腕部１３ａ　、　１３ｂ　。

１３ｃを有し、該各腕部１３ａ　、　１３ｂ　、　１３
ｃには先端にチャック部材１３ｄ　、　＋３ｅ　、　１
：Ｈが設けられ、これらチャック部材１３ｄ　、　１３
ｅ　、　１：Ｈはカム機構等の駆動手段によりチャック
位置とチャック解除位置との間に変位できるようになっ
ている洗浄部７は第２図乃至第４図にしたように。

ロータリテーブル１４を有し、該ロータリテーブル１４
上は十字状の仕切壁１５によって４つの作業部に区画形
成されている。第２図において、図中上方の作業区画部
Ａは、移載ハンドラ１３との間でディスク部材９の着脱
を行う着脱部となり、図中右方の作業区画部Ｂは洗浄部
材１６によりディスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄
部、下方の作業区画部Ｃはすすぎ部材１７によって洗浄
後のすすぎを行うすすぎ部、さらに図中右方の作業区画
部りはエツジ洗い部材１８によりディスク部材９の内外
の各周縁部の洗浄を行うエツジ洗い部となっている。そ
して、前述の各作業区画部Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄにはディスク
部材９の外周縁部を挟持する３つのチャック部片１９ａ
　、　１９ｂ　、　１９ｃからなるチャック部材１８が
設置されている。このチャック部材１９は第２図におけ
る作業区画部Ａに実線で示したチャック位置と鎖線で示
したチャック解除位置との間に変位させることができる
ようになっており、このために、同図に作業区画部りに
おいて示した如く、各チ’ｒｅ−／り部片１９ｄ　、　
１９ｅ　　、　１９Ｆを作動させる歯車駆動部２０が設
けられている。この歯車駆動部２０の駆動歯車２０ａは
第３図及び第４図に示した如くロータリテーブル１４の
裏面においてレバー２１と連結されており、該レバー２
１は常時には鎖線で示したようにばね２２よりスットパ
２３に出接した位置にあり、このときチャック部材１９
はチャック位置となり、作業区画部Ａに対応する位置に
設けた回動駆動部２４に連結した作動片２５を鎖線位置
から実線位置に回動させることによりレバー２１を実線
位置に移行させて、チャック部材１９のチャックを解除
するチャック解除位置に変位させることができるように
なっている。

次に、洗浄部材１６は第５図に示したように、上下１対
のアーム２８ａ　、　２ｆｌｂを有し、該各アーム２８
ａ、２Ｅｌｂには回転軸２７ａ、２７ｂが挿嵌されてお
り、該各回転軸２７ａ、２７ｂの一端部にはスポンジ等
の部材からなる洗い具２８ａ　、　２８ｂが取付けられ
、他端部にはプーリ２９ａ、２９ｂが取付けられて、該
各プーリ２９ａ　、　２９ｂと回転軸３０に設けたプー
リ３１ａ、３１ｂとの間にベルト３２ａ、３２ｂを巻回
して設け、この回転軸３ｏを回転させることにより洗い
具２８ａ、２８ｂを回転させることができるようになっ
ている。そして、この洗い具２８ａ、２８ｂの回転によ
ってディスク部材９はチャック部材１９に保持された状
態で回転せしめられるようになっている。また、洗い具
２８ａ、２８ｂは円環状となっており、この洗い具２８
ａ、２８ｂの内部に中性洗剤等からなる洗浄液が供給す
るために、アーム２８ａ　、　２８ｂに取付けた回転軸
支持ブロック３３ａ。

３３ｂにホース３４ａ、３４ｂが接続されており、該各
ホース３４ａ　、　３４ｂからの洗浄液を洗い具２８ａ
。

２８ｂに供給するために回転軸２７ａ　、　２７ｂに通
路３５ａ、３５ｂが穿設されている。

また、すすぎ部材１７は洗浄部材１６と同様の構造を有
し、すすぎ具３８ａ、３８ｂにホース３７ａ、３７ｂを
介してすすぎ水を供給することによって、洗浄後のディ
スク部材９のすすぎを行なうことができるようになって
いる。

さらに、エツジ洗い部材１Ｂは、第６図に示した如く、
スポンジ等からなる外縁、内縁の各洗い具３８．３９を
宥し、外縁洗い具３８は支持アーム４０に支持された回
転軸４１に取付けられ、該回転軸４１の他端にはプーリ
４２が取付けられて、該プーリ４２と駆動軸４３との間
に巻回して設けたベルト４４によって該洗い具３８は回
転駆動されるようになっている。

また１回転軸４１には歯車４５が取付けられ、該歯車４
５は歯車４６と歯合しており、これにより該歯車４８は
回転軸４１とは逆方向に回転駆動されることになる。そ
して、この歯車４８と洗い具３８に取付けた回転軸４５
のプーリ４８との間にベルト４９が巻回して設けられ、
これによって洗い具３８は洗い具３８とは逆方向に回転
せしめられるようになっている。さらに、支持アーム４
Ｇには洗い具３８．に向けて洗浄水を供給するノズル５
０（洗い具３８側のノズルは図示省略）が支持アーム４
０に取付けられている。また、支持アーム４０はクラン
ク機構等によって揺動可能となっており、これによって
洗浄作業中に洗い具３８　、３８を回転させながら揺動
させることができるようになっている。

これら洗浄具１５．すすぎ具１８及びエツジ洗い具１３
は１回動機構５１によってそれぞれの回転軸を中心とし
て回動させることにより、それぞれ第２図において実線
で示した非作動位置と鎖線で示した作動位置との間に変
位させることができるようになっている。

本実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
動にって説明する。

ディスク部材９はラッピング装置によって表面が極めて
平滑となるように仕上られて、立設状態に搬入ラック２
に設置され、この状態で搬入ラック２を搬入部３に装着
させる。そして、該搬入ラック２が搬入部３を搬送させ
る途中でシャワー９で洗浄することによって大部分の研
摩粉を洗い流す・さらに、搬入ラック２が搬入部３の所
定の位置に到達したときに、搬入ハンドラ１１を搬入ラ
ック２側に回動させて、チャック部材ｔｔｂによりディ
スク部材９をチャックする。然る後、搬入ハンドラ１１
を回動させて、該ディスク部材９を移載ハンドラ１３の
腕部１３ａのチャック部材１３ｄに移載させる。

ディスク部材９が移載ハンドラ１３に移載された後、該
移載ハンドラ１３をロータリテーブル１４から離間する
方向に突出変位させると共に９０度回動させて、ロータ
リテーブル１４の作業区画部Ａと対面させて、該ロータ
リテーブル１４に近接する方向に縮小変位させ、ディス
ク部材９をチャック部材１８に移載する。そして、ロー
タリテーブル１４に移載されたディスク部材９はロータ
リテーブル１４を９０度回動させることにより洗浄を行
う作業区画部Ｂに移行させる。このディスク部材９の作
業区画部Ｂへの移行が完了した後、洗浄部材１Ｂを回動
　　　・機構５１により第２図の鎖線の位置にまで回動
させて、その洗い具２８ａ、２Ｂ　ｂ間にディスク部材
９を挟み込ませ、ホース３４ａ、３４　ｂから中性洗剤
等からなる洗浄液を洗い具２８ａ、２８　ｂの内部に供
給すると共に、該洗い具２８ａ、２８ｂを回転させる。

これによって、洗い具２８ａ、２８ｂによりディスク部
材９の表面が擦られることによって該ディスク部材９の
洗浄が行なわれ、しかも、この洗い具２８ａ、２８　ｂ
の回転によってディスク部材９に回転力が与えられるこ
とによって、ディスク部材９の表裏各面全体に対する洗
浄が行なわれる。

このディスク部材９の洗浄が完了すると、ロータリテー
ブル１４を９０度回動させ、すすぎを行う作業区画部Ｃ
に移行させる。そして、この作業区画部Ｃにおいては、
前述の作業区画部Ｂにおけると同様の手法ですすぎ部材
１７を使用して、洗浄液を洗い流すすすぎを行う。

然る後、ロータリテーブル１４を９０度回動させて、エ
ツジ洗いを行う作業区画部りに移送し、エツジ洗い部材
１８を作動させることによってこのディスク部材９の内
外の各周縁部の洗浄が行なわれる。該作業区画部りにお
いては、揺動可能なアーム４０を傾けることにより内縁
側の洗い具３８をディスク部材９の内周部に挿入させる
。そして、アーム４０を揺動させると共に、洗い具３８
．３９を回転させることによって該ディスク部材９を回
転させながら、ノズル５０から洗浄液としての純水を供
給することによりその内外各局縁部の洗浄を行い、ディ
スク部材９から異物、油汚れ等を完全に除去する。この
ようにして、洗浄が完了したディスク部材９はさらにロ
ータリテーブル１４を９０度回動させることによって、
再び作業区画部Ａに帰還せしめられる。

ここで、ロータリテーブル１４の回動により前述の洗浄
作業が行なわれる間に、搬入ハンドラ１１及び移載ハン
ドラ１３が作動して順次搬入ラック２のディスク部材９
がロータリテーブル１４に移載され逐次前述した段階を
追って洗浄作業が行なわれ、また洗浄部材１Ｂ、すすぎ
部材１７及びエツジ洗い部材１８は回動機構５１により
同時に作動位置、非作動位置に変位される。

而して、各作業区画部Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄは仕切壁１５によ
って区画形成されているので、−の作業区画部における
洗浄液、すすぎ液等が他の作業区画部に侵入することが
なく、洗浄部７において先行する位置にあるディスク部
材９が後続のディスク部材９における洗浄、すすぎ等の
影響で汚損されることはない、従って、複数の洗浄工程
を小径のロータリテーブル上に形成することができ、洗
浄装置の小型化が可能となる。

前述のようにして、洗浄が完了したディスク部材９が作
業区画ＢＢＡにＭ＃遺し、移載ハンドラ１３がロータリ
テーブル１４側に変位したときに、腕部１３ｂ（７）＋
セフ２部材１３ｅによってこのディスク部材９をチャッ
クする。これと同時に、腕部１３ａのチャック部材１３
ｄは搬入／＼ンドラ１１からのディスク部材９の移載を
受ける。然る後、移載ノーンドラ１３を９０度回動させ
ることによって洗浄後のディスク部材９は乾燥部８に移
行して該乾燥部９において高速スピン乾燥等により乾燥
せしめられることになる。

このように乾燥したディスク部材９は移載ハンドラ１３
の作動により、該移載ハンドラ１３の腕部１３ｃのチャ
ック部材１３ｆによってチャックされて、該移載ハンド
ラ１３の回動によって搬出ハンドラ３に移載され、該搬
出ハンドラ３の回動により搬出ラック４内に載置される
。この動作を順次繰返すことによってディスク部材９の
洗浄が行なわれ、搬出ラック４を搬出部５から外部に搬
送することによって洗浄の完了したディスク部材９が取
出される。

次に、第７図は本発明の第２の実施例を示すもので、本
実施例ではロータリテーブル６１上において、仕切壁６
２によって区画形成される４つの作業区画部のうち作業
区画部Ａはディスク部材９が装着される装着部であると
共に、予備洗浄シャワー６３によって予備洗浄されるよ
うになっており、洗浄部を構成する作業区画Ｂ部の洗浄
部材６４における洗浄液の供給は洗い具８５の側方に設
けたノズル６Ｂから行なうようになっている。また、第
３の作業区画部Ｃではすすぎ部材８７によるすすぎとエ
ツジ洗い部材６８による内外周縁部の洗浄が同時に行な
われるようになっており、さらに第４の作業区画部りは
開閉可能なカバー６９を備えた乾燥部を構成し、該乾燥
部では清浄となったディスク部材９の乾燥が行なわれる
ようになっている。また、この作業区画部りにおいて清
浄となったディスク部材９の取出しが行なわれるように
なっている。

このように構成することによっても前述と同様自動的に
ディスク部材９の洗浄を行うこことができる。

なお、前述の各実施例では、ラッピング処理された後の
ディスク部材の洗浄を行うものとして説明したが、磁性
体の塗布の前後のいずれかにおいて行う洗浄にも適用で
きることは言うまでもない、そして、本発明の洗浄装置
は複数の洗浄工程を形成する各部材をバジング内にコン
パクトに収納したから、例えば磁性体の塗布直前におけ
るクリーンルーム内のように狭小な装置に設置する場合
にも好適に使用できる。また、仕切壁によって区画形成
される作業区画部は前述のように４つに限らず、洗浄工
程の種類に応じた数に形成すればよく、さらに洗浄手段
は洗剤洗い、すすぎ、エツジ洗いだけでなく、適宜噴射
洗浄、シャワー洗浄等を行うようにしてもよく、洗浄液
も中性洗剤だけでなく、純水、市水、アルコール、フロ
ン等を用いることができる。

発明の効果 以上詳述した如く本発明はディスク部材をロータリテー
ブルにチャックさせた状態で所定角度ずつ回動させる間
に複数の作業からなる洗浄を行うようにすることにより
、簡単でコンパクトな構成の洗浄装置によってディスク
部材の洗浄を自動的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明の第１の実施例を示すもので
、第１図は洗浄装置の全体構成図、第２図は洗浄部の拡
大正面図、第３図は第２図のｘ−ｘ矢示図、第４図はロ
ータリテーブルのチャック部材の作動機構を示す構成説
明図、第５図は洗浄部材の部分断面正面図、第６図はエ
ツジ洗い部材の部分断面正面図、第７図は本発明の第２
の実施例を示す構成説明図である。 ｌ：ハウジング、７：洗浄部、９：ディスク部材、１４
，８１：ロータリテーブル、　１５，１３２：区画壁、
１８．８４　：洗浄部材、１７．８７：すすぎ部材、　
１８．８８：エッジ洗い部材、１９：チャ−／り部材、
２８ａ、２８ｂ、３８．３９，８５：洗い具、　３４ａ
、３４ｂ　：ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定角度ずつ回動するロータリテーブルと、該ロータリ
   テーブル上に立設され、該ロータリテーブルを複数の作
   業区画部に区画形成する仕切壁と、該各作業区画部に設
   置され、ディスク部材の外周縁または内周縁をチャック
   するチャック部材と、前記各作業区画部に対応する位置
   に設けられ、当該各位置に移送されたディスク部材に対
   してそれぞれ所定の洗浄作業を行なう洗浄部材とから構
   成したことを特徴するディスク部材の洗浄装置。