JPS6284970A - ディスク部材の洗浄装置 - Google Patents
ディスク部材の洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6284970A JPS6284970A JP60223726A JP22372685A JPS6284970A JP S6284970 A JPS6284970 A JP S6284970A JP 60223726 A JP60223726 A JP 60223726A JP 22372685 A JP22372685 A JP 22372685A JP S6284970 A JPS6284970 A JP S6284970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- disc member
- disk
- disk member
- section
- Prior art date
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- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分!′?]
本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
録層が形成されるディスク部材を洗浄するディスク部材
の洗浄装置に関するものである。
録層が形成されるディスク部材を洗浄するディスク部材
の洗浄装置に関するものである。
[従来の技イ1ドt1
ディスク部材として、例えば、磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラッピン
グ加工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る
後に該ディスク部材の表面に磁性体を塗IIjすること
によって、磁気記録層が形成されるようになっている。
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラッピン
グ加工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る
後に該ディスク部材の表面に磁性体を塗IIjすること
によって、磁気記録層が形成されるようになっている。
ここで、前述の記録層の膜圧を均一なものとしてピンホ
ールが発生しないようにするために、予じめディスク部
材の表面に塵埃等の異物が付着していない状態となして
、磁性体の塗、/ITを行う必要がある。このために、
記録層の形成前、また心安に応じて記録層形成後にもデ
ィスク部材の洗浄が行なわれる。
ールが発生しないようにするために、予じめディスク部
材の表面に塵埃等の異物が付着していない状態となして
、磁性体の塗、/ITを行う必要がある。このために、
記録層の形成前、また心安に応じて記録層形成後にもデ
ィスク部材の洗浄が行なわれる。
従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスク部材
をう・2りに装γ都−シた状態で洗浄液に浸漬させ、こ
の洗浄液を高周波振動させたり、または洗浄液中でスポ
ンジ等の洗浄具を用いて手作業で表面を拭うようにして
いた。
をう・2りに装γ都−シた状態で洗浄液に浸漬させ、こ
の洗浄液を高周波振動させたり、または洗浄液中でスポ
ンジ等の洗浄具を用いて手作業で表面を拭うようにして
いた。
[発明が解決しようとする問題点コ
前述のように、高周波振動により洗浄を行うようにする
と、洗浄装置の全体構造が複雑となり、装置構成が大型
になる竿の不都合があるだけでなく、ディスク部材の汚
れのうち油汚れのようなものを完全に除去できない等の
欠点があった。一方1手作業による洗浄は手間がかかる
と共に、洗浄が完全に行なわれない場合が生じる欠点も
あった。
と、洗浄装置の全体構造が複雑となり、装置構成が大型
になる竿の不都合があるだけでなく、ディスク部材の汚
れのうち油汚れのようなものを完全に除去できない等の
欠点があった。一方1手作業による洗浄は手間がかかる
と共に、洗浄が完全に行なわれない場合が生じる欠点も
あった。
本発明は前述した従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、簡単で、コンパクトな構成によりディスク
部材の表面全体を円滑かつ確実に自動洗浄することがで
きるようにしたディスク部材の洗浄装置を提供すること
を目的とするものである。
れたもので、簡単で、コンパクトな構成によりディスク
部材の表面全体を円滑かつ確実に自動洗浄することがで
きるようにしたディスク部材の洗浄装置を提供すること
を目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
前述の目的を達成するために本発明に係る洗浄部;ξは
、円環状に形成したディスク部材の外周縁または内周縁
を回転可能にチャンクするチャック部材と、該チャック
部材によってチャックしたディスク部材の表面に洗浄液
を供給しながらその表面を擦ることによって該ディスク
部材を洗浄する洗浄部材と、前記ディスク部材を回転さ
せる回転駆動手段とから構成したことをその特徴とする
ものである。
、円環状に形成したディスク部材の外周縁または内周縁
を回転可能にチャンクするチャック部材と、該チャック
部材によってチャックしたディスク部材の表面に洗浄液
を供給しながらその表面を擦ることによって該ディスク
部材を洗浄する洗浄部材と、前記ディスク部材を回転さ
せる回転駆動手段とから構成したことをその特徴とする
ものである。
し作用]
前述のように構成される洗浄装置を使用してディスク部
材の洗浄を行うには、洗浄すべきディスク部材を適宜の
ハンドリング手段により1枚ずつチャック部材に装着し
、洗浄部材を該ディスク部材の表面に押し当てた状態で
洗浄液を供給しながらディスク部材の表面を擦ることに
よって、該ディスク部材の表面に付着した異物や油汚れ
等を除去する。そして、回転駆動手段によって、このデ
ィスク部材が回転せしめられて、該ディスク部材の表面
全体がむらなく1円滑かつ確実に自動洗?争される。
材の洗浄を行うには、洗浄すべきディスク部材を適宜の
ハンドリング手段により1枚ずつチャック部材に装着し
、洗浄部材を該ディスク部材の表面に押し当てた状態で
洗浄液を供給しながらディスク部材の表面を擦ることに
よって、該ディスク部材の表面に付着した異物や油汚れ
等を除去する。そして、回転駆動手段によって、このデ
ィスク部材が回転せしめられて、該ディスク部材の表面
全体がむらなく1円滑かつ確実に自動洗?争される。
また、洗浄部材をディスク部材の表裏各表面に当接する
ように構成し、この洗浄部材によりディスク部材を挟持
するようにして洗浄作業を行なうようにすれば、該ディ
スク部材の両面を同時に洗浄することができる。
ように構成し、この洗浄部材によりディスク部材を挟持
するようにして洗浄作業を行なうようにすれば、該ディ
スク部材の両面を同時に洗浄することができる。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面にノ&づいて詳細に説明す
る。
る。
まず、第1図乃至第7図は本発明の第1の実施例を示し
、0′!1図中1は洗浄装置本体を構成するハウジング
で、該ハウジングI内には搬入用ラック2を搬送する搬
入部3.搬出用ラック4を搬送する搬出部5が形成され
ると共に、作業室6が形成されている。
、0′!1図中1は洗浄装置本体を構成するハウジング
で、該ハウジングI内には搬入用ラック2を搬送する搬
入部3.搬出用ラック4を搬送する搬出部5が形成され
ると共に、作業室6が形成されている。
作業室6内は洗浄部7と乾燥部8とに分かれ、かつ該作
業室6には搬入用ラック2においてラッピング処理され
たディスク部材9が立設状態で搬送され、またこの搬送
途中でシャワー10により予備洗浄されたディスク部材
を1枚ずつ取出す搬入ハンドラ11が設けられると共に
、洗浄、乾燥後のディスク部材9を搬出用ラック2に移
送する搬出ハンドラ12が設けられ、該各ハンドラ11
.12はそれぞれ回動アームIla、+2aの先端にデ
ィスク部材9をチャックするチャック部材11a、12
bを装着することにより構成され、さらに搬入ハンドラ
11から洗ft1部7、該洗浄部7から乾嶽部8、該乾
燥部8から搬出ハンドラ12ヘディスク部材9を移載す
る移・成ハンドラ13が配設され、該移載ハンドラ13
は所定角度往復回動し得ると共にその回動軸線に沿って
前後に往復動し得るようになっている。
業室6には搬入用ラック2においてラッピング処理され
たディスク部材9が立設状態で搬送され、またこの搬送
途中でシャワー10により予備洗浄されたディスク部材
を1枚ずつ取出す搬入ハンドラ11が設けられると共に
、洗浄、乾燥後のディスク部材9を搬出用ラック2に移
送する搬出ハンドラ12が設けられ、該各ハンドラ11
.12はそれぞれ回動アームIla、+2aの先端にデ
ィスク部材9をチャックするチャック部材11a、12
bを装着することにより構成され、さらに搬入ハンドラ
11から洗ft1部7、該洗浄部7から乾嶽部8、該乾
燥部8から搬出ハンドラ12ヘディスク部材9を移載す
る移・成ハンドラ13が配設され、該移載ハンドラ13
は所定角度往復回動し得ると共にその回動軸線に沿って
前後に往復動し得るようになっている。
洗浄部7は第2図乃至第4図にしたように、回動軸14
aによって所定角度ずつ回動せしめられるロータリテー
ブル14を有し、該ロータリテーブル14上は十字状の
仕切壁15によって4つの作業部に区画形成されている
。第2図において、図中−に方の作業区画部Aは、移載
ハンドラ13との間でディスク部材9の着脱を行う着脱
部と4暑j、図中右方の作業区画部Bは洗浄部材16に
よりディスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方
の作業区画部Cはすすぎ部材17によって洗浄後のすす
ぎを行うすすぎ部、さらに図中左方の作業区画部りはエ
ツジ洗い部材18によりディスク部材9の内外の各周縁
部の洗浄を行うエツジ洗い部となっている。そして、前
述の各作業区画部A、B、C,Dにはディスク部材9の
外周縁部を回転可能に挟持するためにチャック部材19
が取付けられている。
aによって所定角度ずつ回動せしめられるロータリテー
ブル14を有し、該ロータリテーブル14上は十字状の
仕切壁15によって4つの作業部に区画形成されている
。第2図において、図中−に方の作業区画部Aは、移載
ハンドラ13との間でディスク部材9の着脱を行う着脱
部と4暑j、図中右方の作業区画部Bは洗浄部材16に
よりディスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方
の作業区画部Cはすすぎ部材17によって洗浄後のすす
ぎを行うすすぎ部、さらに図中左方の作業区画部りはエ
ツジ洗い部材18によりディスク部材9の内外の各周縁
部の洗浄を行うエツジ洗い部となっている。そして、前
述の各作業区画部A、B、C,Dにはディスク部材9の
外周縁部を回転可能に挟持するためにチャック部材19
が取付けられている。
該チャンク部材19はディスク部材9の3位mにおいて
それと係合するチャッキングローラ19aと、該チャ、
キングローラ19aを回転可能に支持する支持軸19b
と、チャッキングローラ19aを第2図における作1区
画部Aに実線で示したチャック位置とjO線でバし、た
ナヤ・、・り解除位置との間に変位させる作・EIJ片
19cの各部材を3組設置干ることによ〕で構成される
。そして、前述のチャック位置とチャ、7解除位置との
間の変位をrJI′能なら第2めるために、同図の作業
区画部りにおいて示した々11く、チャック部材18に
おける各作動片19eを変位させる由・IL駆動部20
が設けられていS7この山車駆動部20の駆動歯1tB
Oaは第3回文び第41AIに示した如くロータリテー
ブル14の裏面側においてレバー21と甜結されており
、該し・バー、21け常)11flこは鎖線で示したよ
うにばね22よりスト・・、・り23に1′1接[、た
位置にあり、このどきチャ・・ケ部材13はチャンク位
置どなり、作業区画部A +こ対rs’f、 t 6侍
置に設けた回動駆動部24に連結した作動片25をm線
位置から実線位置に回動させることによりレバー21を
¥線位置に移行させて、チャ、/7メ;8材19のチャ
ンクを解除するチャンク解除位置に変位させることがで
きるようになっている。
それと係合するチャッキングローラ19aと、該チャ、
キングローラ19aを回転可能に支持する支持軸19b
と、チャッキングローラ19aを第2図における作1区
画部Aに実線で示したチャック位置とjO線でバし、た
ナヤ・、・り解除位置との間に変位させる作・EIJ片
19cの各部材を3組設置干ることによ〕で構成される
。そして、前述のチャック位置とチャ、7解除位置との
間の変位をrJI′能なら第2めるために、同図の作業
区画部りにおいて示した々11く、チャック部材18に
おける各作動片19eを変位させる由・IL駆動部20
が設けられていS7この山車駆動部20の駆動歯1tB
Oaは第3回文び第41AIに示した如くロータリテー
ブル14の裏面側においてレバー21と甜結されており
、該し・バー、21け常)11flこは鎖線で示したよ
うにばね22よりスト・・、・り23に1′1接[、た
位置にあり、このどきチャ・・ケ部材13はチャンク位
置どなり、作業区画部A +こ対rs’f、 t 6侍
置に設けた回動駆動部24に連結した作動片25をm線
位置から実線位置に回動させることによりレバー21を
¥線位置に移行させて、チャ、/7メ;8材19のチャ
ンクを解除するチャンク解除位置に変位させることがで
きるようになっている。
次に、作業区画部Bに対応する位置に設けた洗浄部材1
6は、第5図に示したように、−に下1対のアーム2[
1a 、 26bを有し、該各アー1.28a 、 2
8bには回転軸27a、27bが挿嵌されており、該各
回転t+27a、27bの一端部には洗浄具28a、2
8bが取付けられ、該洗浄具28a、28bはディスク
部材9の内縁と外縁との間の幅より大きな外径の円環状
のスポンジ、ブラシ等の柔軟な部材で形成されている。
6は、第5図に示したように、−に下1対のアーム2[
1a 、 26bを有し、該各アー1.28a 、 2
8bには回転軸27a、27bが挿嵌されており、該各
回転t+27a、27bの一端部には洗浄具28a、2
8bが取付けられ、該洗浄具28a、28bはディスク
部材9の内縁と外縁との間の幅より大きな外径の円環状
のスポンジ、ブラシ等の柔軟な部材で形成されている。
そして、回転軸27 a 、 27 bの他端部にはプ
ーリ29a 、 29bが取付けられて、該各プーリ2
9a、29bと回転軸30に設けたプーリ31a 、
31bとの間にベル)32a、32bを巻回して設け、
回転+h30を作業室6を画成するパネルPを介して外
部に突出させ、該回転軸30にモータ等の駆動源を接続
してそれを回転させることにより洗浄具28a。
ーリ29a 、 29bが取付けられて、該各プーリ2
9a、29bと回転軸30に設けたプーリ31a 、
31bとの間にベル)32a、32bを巻回して設け、
回転+h30を作業室6を画成するパネルPを介して外
部に突出させ、該回転軸30にモータ等の駆動源を接続
してそれを回転させることにより洗浄具28a。
28bを回転させることができるようになっている。こ
れらプーリ28a 、 29b 、回転軸30.プーリ
31a、3!b及びベルト32a、32bによ−)テ回
転駆動手段か構成され、この回転駆動・「没により洗浄
具28a、28bが第6図中矢示(イ)方向に回転せし
められ、この洗’l(+ A 28 a 、 28 b
の矢示(イ)方向の回転によってディスク部材9は千ヤ
ニ’ 10)i材19に保持された状■:で矢示(ロ)
方向に回転駆動せしめられるようになっている。
れらプーリ28a 、 29b 、回転軸30.プーリ
31a、3!b及びベルト32a、32bによ−)テ回
転駆動手段か構成され、この回転駆動・「没により洗浄
具28a、28bが第6図中矢示(イ)方向に回転せし
められ、この洗’l(+ A 28 a 、 28 b
の矢示(イ)方向の回転によってディスク部材9は千ヤ
ニ’ 10)i材19に保持された状■:で矢示(ロ)
方向に回転駆動せしめられるようになっている。
ここで、洗浄具28a、28bは前述した如く、円環状
となっており、この洗浄具28a、28bの内部に中性
洗剤、純水等からなる洗浄液が供給するために、第7図
に示したようにアーム28a、28bに取付けた回転軸
支持ブロック33a、33bに形成した円1.苧状の液
室34a、34 bに洗浄液を供給するホース35a、
35bが接続されており、該各ホース35a。
となっており、この洗浄具28a、28bの内部に中性
洗剤、純水等からなる洗浄液が供給するために、第7図
に示したようにアーム28a、28bに取付けた回転軸
支持ブロック33a、33bに形成した円1.苧状の液
室34a、34 bに洗浄液を供給するホース35a、
35bが接続されており、該各ホース35a。
35bからの洗浄液を供給するために回転1kb 27
a 。
a 。
2?bには洗浄fi28a、28bノ内部に開[1′f
る通路38a、36bか穿1投されている。
る通路38a、36bか穿1投されている。
また、作′?ニドー画部Cに*4応する位置番こ、没1
′ごzしたすすぎ部材17は、洗浄部材1Bと同様の構
造を有し、回転軸37により回転せしめられるすすぎ洗
浄具38a、38bにホース39a、39bを介してす
すぎ水を供給することによって、洗浄後のディスク部材
9のすすぎを行なうことができるようになっている。
′ごzしたすすぎ部材17は、洗浄部材1Bと同様の構
造を有し、回転軸37により回転せしめられるすすぎ洗
浄具38a、38bにホース39a、39bを介してす
すぎ水を供給することによって、洗浄後のディスク部材
9のすすぎを行なうことができるようになっている。
さらに、エツジ洗い部材18はスポンジ等からなる外縁
、内縁の各洗浄具40a、40bを宥し、該洗浄具40
a、40bは回転可能に支持アーム41に取付けられて
、該支持アーム41は揺動可能となっている。
、内縁の各洗浄具40a、40bを宥し、該洗浄具40
a、40bは回転可能に支持アーム41に取付けられて
、該支持アーム41は揺動可能となっている。
未実施例は前述のように構成されるもので1次にその作
動にって説明する。
動にって説明する。
洗浄すべきディスク部材9は搬入ラック2に立設状態に
設置され、この状態で搬入ラック2を搬入部3に装着さ
せる。そして、該搬入ラック2が搬入部3を搬送させる
途中でシャワー9で洗浄することによって大部分の研摩
粉を洗い流す。そして1搬入ランク2が搬入部3の所定
の位置に到達したときに、搬入ハンドラ11を搬入ラッ
ク2側に回動させて、チャック部材11bによりディス
ク部材9をチャックする。然る後、搬入ハンドラ11を
回動させて、該ディスク部材9を移載ハンドラ13に移
載させる。
設置され、この状態で搬入ラック2を搬入部3に装着さ
せる。そして、該搬入ラック2が搬入部3を搬送させる
途中でシャワー9で洗浄することによって大部分の研摩
粉を洗い流す。そして1搬入ランク2が搬入部3の所定
の位置に到達したときに、搬入ハンドラ11を搬入ラッ
ク2側に回動させて、チャック部材11bによりディス
ク部材9をチャックする。然る後、搬入ハンドラ11を
回動させて、該ディスク部材9を移載ハンドラ13に移
載させる。
ディスク部材9が移載ハンドラ13に移載された後、該
移載ハンドラ13をロータリテーブル14から離間する
方向に突出変位させると共に90度回動させて、ロータ
リテーブル14の作業区画部Aと対面させて、該ロータ
リテーブル14に近接する方向に縮小変位させ、ディス
ク部材9をチャック部材19に移載する。そして、ロー
タリテーブル14に移・成されたディスク部材9は回動
軸+4aによりロータリテーブル14を90度回動させ
ることによって洗Ipを行う作業区画部Bに移行させる
。このとき洗浄部材1B、すすぎ部材17及びエツジ洗
い部材18は、ロータリテーブル14におけるチャック
部材19や仕切壁15と接触しないようにするために、
それぞれの回転軸を中心として回動し、第2図に鎖線で
示した作動位1aから一旦実線で示した非作動位置に変
位して、ロークリテーブル14から離間し、再び鎖線の
作動位置に復帰することにより洗浄具28a、28b間
にディスク部材9を挟み込ませる。このようにディスク
部材9の作業区画部Bへの移行が完了した後、ホース3
4a、34 bから中性洗剤等からなる洗浄液を洗浄具
28a、28 bの内部に供給すると共に、該洗浄具2
8a、28bを回転させる。これによって、洗浄具28
a、28bによりディスク部材9の表面が擦られること
によって該ディスク部材9の洗浄が行なわれ、しかも、
この洗浄具28a、28bの回転によってディスク部材
9に回転力が芋えられてチャック部材18に支持された
状78で回転し、その結果ディスク部材9の表裏各面全
体に対する洗n1が効率的かつむらなく行なわれる。
移載ハンドラ13をロータリテーブル14から離間する
方向に突出変位させると共に90度回動させて、ロータ
リテーブル14の作業区画部Aと対面させて、該ロータ
リテーブル14に近接する方向に縮小変位させ、ディス
ク部材9をチャック部材19に移載する。そして、ロー
タリテーブル14に移・成されたディスク部材9は回動
軸+4aによりロータリテーブル14を90度回動させ
ることによって洗Ipを行う作業区画部Bに移行させる
。このとき洗浄部材1B、すすぎ部材17及びエツジ洗
い部材18は、ロータリテーブル14におけるチャック
部材19や仕切壁15と接触しないようにするために、
それぞれの回転軸を中心として回動し、第2図に鎖線で
示した作動位1aから一旦実線で示した非作動位置に変
位して、ロークリテーブル14から離間し、再び鎖線の
作動位置に復帰することにより洗浄具28a、28b間
にディスク部材9を挟み込ませる。このようにディスク
部材9の作業区画部Bへの移行が完了した後、ホース3
4a、34 bから中性洗剤等からなる洗浄液を洗浄具
28a、28 bの内部に供給すると共に、該洗浄具2
8a、28bを回転させる。これによって、洗浄具28
a、28bによりディスク部材9の表面が擦られること
によって該ディスク部材9の洗浄が行なわれ、しかも、
この洗浄具28a、28bの回転によってディスク部材
9に回転力が芋えられてチャック部材18に支持された
状78で回転し、その結果ディスク部材9の表裏各面全
体に対する洗n1が効率的かつむらなく行なわれる。
このディスク部材9の洗浄が完了すると、ロータリテー
ブル14を90度回動させて、すすぎを行う作業区画部
Cに移行させ、前述の作業区画部Bにおけると同様の手
法ですすぎ部材17を使用して、すすぎ洗浄具38a、
38bの内部にホース38a。
ブル14を90度回動させて、すすぎを行う作業区画部
Cに移行させ、前述の作業区画部Bにおけると同様の手
法ですすぎ部材17を使用して、すすぎ洗浄具38a、
38bの内部にホース38a。
39bを介してすすぎ水を供給することにより洗浄液を
洗い流すすすぎ洗浄を行う。然る後、ロータリテーブル
14をさらに90度回動させることによってエツジ洗い
を行う作業区画部りに移送し。
洗い流すすすぎ洗浄を行う。然る後、ロータリテーブル
14をさらに90度回動させることによってエツジ洗い
を行う作業区画部りに移送し。
エツジ洗い部材18を作動させることによってこのディ
スク部材9の内外の各周縁部の洗浄が行なわれ、ディス
ク部材9から異物、油汚れ等を完全に除去した後、さら
にロータリテーブル14を90度回動させることによっ
て、洗浄完了後のディスク部材は再び作業区画部Aに帰
還せしめられる。
スク部材9の内外の各周縁部の洗浄が行なわれ、ディス
ク部材9から異物、油汚れ等を完全に除去した後、さら
にロータリテーブル14を90度回動させることによっ
て、洗浄完了後のディスク部材は再び作業区画部Aに帰
還せしめられる。
前述のようにして、洗浄が完了したディスク部材9が作
業区画部Aに帰還し、移載ハンドラ13がロータリテー
ブル14側に変位したときに、該移載ハンドラ13によ
ってこのディスク部材9をチャッりし、搬入ハンドラ1
1に移・成され、洗浄後のディスク部材9を乾燥部8に
移行して該乾燥部9において高速スピン乾燥等により乾
燥せしめられる。
業区画部Aに帰還し、移載ハンドラ13がロータリテー
ブル14側に変位したときに、該移載ハンドラ13によ
ってこのディスク部材9をチャッりし、搬入ハンドラ1
1に移・成され、洗浄後のディスク部材9を乾燥部8に
移行して該乾燥部9において高速スピン乾燥等により乾
燥せしめられる。
このように乾燥したディスク部材9はざらに移載ハンド
ラ13を介して搬出ハンドラ13から搬出ラック4内に
取出される。
ラ13を介して搬出ハンドラ13から搬出ラック4内に
取出される。
次に、第8図及び第9図は本発明の第2の実施例を示す
もので、本実施例ではチャンク部材によってディスク部
材9を回転させるように構成したものが示されている。
もので、本実施例ではチャンク部材によってディスク部
材9を回転させるように構成したものが示されている。
而して、チャック部材51を形成するチャンキングロー
ラ51aをゴムローラで形成し、該チャッキングローラ
51aはそれを支持する支持軸51bと一体的に回転し
得るようになっており、またこの支持軸51bはチャッ
キングローラ51aをチャック位置とチャック解除位置
との間に変位させる作動片51cを貫通して延び、その
他端には駆動歯車51dが取付けられている。この従動
歯車51dには作動片51cかチャンク位置に変位した
ときにそれと噛合して支持軸51bを介してチャンキン
グローラ51aを回転させることによって、ディスク部
材9を回転駆動する駆動歯車52が設けられている。
ラ51aをゴムローラで形成し、該チャッキングローラ
51aはそれを支持する支持軸51bと一体的に回転し
得るようになっており、またこの支持軸51bはチャッ
キングローラ51aをチャック位置とチャック解除位置
との間に変位させる作動片51cを貫通して延び、その
他端には駆動歯車51dが取付けられている。この従動
歯車51dには作動片51cかチャンク位置に変位した
ときにそれと噛合して支持軸51bを介してチャンキン
グローラ51aを回転させることによって、ディスク部
材9を回転駆動する駆動歯車52が設けられている。
また、洗浄部材53はディスク部用9の表面に沿う方向
に回動し得るホルダ54に取付けたブラシ55で構成さ
れ、さらに洗浄液の供給は該洗浄部材53に近接ごせて
設けたシャワー56によって行なう構成となっている。
に回動し得るホルダ54に取付けたブラシ55で構成さ
れ、さらに洗浄液の供給は該洗浄部材53に近接ごせて
設けたシャワー56によって行なう構成となっている。
このように構成することによっても、ディスク部材9を
回転させながら洗浄部材53によってその表面全体をむ
らなく完全に洗浄することができる。
回転させながら洗浄部材53によってその表面全体をむ
らなく完全に洗浄することができる。
[発明の効果]
以−ヒ詳述した如く未発明は、ディスク部材をチャック
部材に回転可能にチャックさせた状態で洗浄部材によっ
て該ディスク部材を洗浄するようになし、かつこの洗浄
時にディスク部材を回転さ仕るようにしたから、ディス
ク部材の表面に付着する摩耗粉等の異物を完全に除去で
きると共に、油Mれの拭き取りを完全に行なうことがで
き、ディスク部材の全体をむらなく、円滑かつ確実に自
動洗浄することができる。
部材に回転可能にチャックさせた状態で洗浄部材によっ
て該ディスク部材を洗浄するようになし、かつこの洗浄
時にディスク部材を回転さ仕るようにしたから、ディス
ク部材の表面に付着する摩耗粉等の異物を完全に除去で
きると共に、油Mれの拭き取りを完全に行なうことがで
き、ディスク部材の全体をむらなく、円滑かつ確実に自
動洗浄することができる。
第1図乃至第7図は本発明の第1の実施例を示し、第1
図は洗顔装置の全体構成図、第2図は洗nf部の拡大止
面図、第3図は第2図のx−x断面図、第4図はロータ
リテーブルのチャック部材の作動機構を示す構成説明図
、第5図は洗浄部材の部分断面正面図、第6図は洗浄操
作の作動説明図、第7図は第5図のY−Y断面図、第8
図及び第9図は本発明の第2の実施例を示し、第8図は
2′に冷製HI!tの構成説明図、第9図は回転駆動手
段の構成説明図である。 1:ハウシング、7;洗浄部、9:ディスク部材、14
:ロータリテーブル、18.53:洗顔部材、+9,5
1:チャック部材、30:回転軸、28a、28 b
洗炸具、55:ブラシ。
図は洗顔装置の全体構成図、第2図は洗nf部の拡大止
面図、第3図は第2図のx−x断面図、第4図はロータ
リテーブルのチャック部材の作動機構を示す構成説明図
、第5図は洗浄部材の部分断面正面図、第6図は洗浄操
作の作動説明図、第7図は第5図のY−Y断面図、第8
図及び第9図は本発明の第2の実施例を示し、第8図は
2′に冷製HI!tの構成説明図、第9図は回転駆動手
段の構成説明図である。 1:ハウシング、7;洗浄部、9:ディスク部材、14
:ロータリテーブル、18.53:洗顔部材、+9,5
1:チャック部材、30:回転軸、28a、28 b
洗炸具、55:ブラシ。
Claims (2)
- (1)円環状に形成したディスク部材の外周縁または内
周縁を回転可能にチャックするチャック部材と、該チャ
ック部材によってチャックしたディスク部材の表面に当
接させて洗浄液を供給しながらその表面を擦ることによ
って該ディスク部材を洗浄する洗浄部材と、前記ディス
ク部材を回転させる回転駆動手段とから構成したことを
特徴とするディスク部材の洗浄装置。 - (2)前記洗浄部材を前記ディスク部材の表裏両面に当
接させるように構成したことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載のディスク部材の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60223726A JPS6284970A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ディスク部材の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60223726A JPS6284970A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ディスク部材の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284970A true JPS6284970A (ja) | 1987-04-18 |
| JPH0446194B2 JPH0446194B2 (ja) | 1992-07-29 |
Family
ID=16802719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60223726A Granted JPS6284970A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ディスク部材の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284970A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5826292A (en) * | 1996-06-27 | 1998-10-27 | Speedfam Co., Ltd. | Disk cleaning and drying apparatus |
| CN104624539A (zh) * | 2015-02-14 | 2015-05-20 | 济南大学 | 一种三爪卡盘式钢丝绳除垢装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59107722U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-20 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JPS608188A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-17 | Nissan Motor Co Ltd | ヨツトのセ−ル支持構造 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP60223726A patent/JPS6284970A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59107722U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-20 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JPS608188A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-17 | Nissan Motor Co Ltd | ヨツトのセ−ル支持構造 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5826292A (en) * | 1996-06-27 | 1998-10-27 | Speedfam Co., Ltd. | Disk cleaning and drying apparatus |
| CN104624539A (zh) * | 2015-02-14 | 2015-05-20 | 济南大学 | 一种三爪卡盘式钢丝绳除垢装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0446194B2 (ja) | 1992-07-29 |
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