JPS6284971A - デイスク部材の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分Ｙｆ］ 本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
ＱＲが形成されるディスク部材を洗浄するディスク部材
の洗浄装置に関するものである。

Ｃ従来の技術］ ディスク部材として、例えば、磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の同項状板体からなるディスク部材をラッピン
グ加工等の研削加工を施こすことにより平滑化し、然る
後に該ディスク部材の表面に磁性体を塗布することによ
って、磁気記録層が形成されるようになっている。ここ
で、前述の記録層の膜圧を均一なものにするために、予
じめディスク部材の表面に塵埃等の異物が付着していな
い状態となして、゛磁性体の塗布を行う必要がある。こ
のために、記録層の形成前、また必要に応じて記録層形
成後にもディスク部材の洗浄が行なわれる。

従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスフ部材
をラックに装着した状態で洗浄液に浸漬させ、この洗浄
液を高周波振動させたり、または洗浄液中でスポンジ等
の洗浄具を用いて手作業で表面を拭うようにしていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のように、高周波振動により洗浄を行うようにする
と、洗浄装置の全体構造が複雑となり、装置構成が大型
になる等の不都合があるだけでなく、ディスク部材の汚
れのうち油汚れのようなものを完全に除去できない等の
欠点があった。一方、手作業による洗浄は手間がかかる
と共に、洗浄が完全に行なわれない場合が生じる欠点も
あった。

本発明は前述した従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、簡単で、コンパクトな構成によりディスク
部材の表面全体を円滑かつ確実に自動洗浄することがで
きるようにしたディスク部材の洗浄装置を提供すること
を目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 前述の目的を達成するために本発明に係る洗浄装置は、
円環状に形成したディスク部材の外周縁または内周縁を
回転可能にチャックするチャック部材と、該チャック部
材によってチャックしたディスク部材の表面に当接させ
てこの表面を擦ることによって該ディスク部材を洗浄す
る洗浄部材と、該洗浄部材を回転させる回転駆動手段と
、この洗浄部材の内部に洗浄液を供給する洗浄液供給部
材とから構成したことをその特徴とするものである。

［作用］ 前述のように構成される洗浄装置を使用してディスク部
材の洗浄を行うには、洗浄すべきディスク部材をハンド
リング手段により１枚ずつチャック部材に装着し、洗浄
部材を該ディスク部材の表面に押し当てると共に該洗浄
部材を回転させ、かつ該洗浄部材の内部に向けて洗浄液
を供給しながらディスク部材の表面を擦ることによって
、該ディスク部材の表面に付着した異物や油汚れ等を除
去する。そして、洗浄部材の回転によってディスク部材
に回転力が付与され、このディスク部材の回転によって
、該ディスク部材全体がむらなく、円滑かつ確実に自動
洗浄される。しかも、洗浄部材を回転させることにより
、それとディスク部材の表面との間に介在する異物等は
洗浄部材の回転力によって該洗浄部材の外周側から外部
に移行して除去されることになり、洗浄性能が向上する
。さらに、洗浄部材の内部に洗浄液を供給することによ
り、洗浄作業中に該洗浄部材とディスク部材との間に適
度の液膜が形成され、該ディスク部材の表面が損傷する
等の不都合はない。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第１図において、１は洗浄装置本体を構成するハ
ウジングで、該ハウジングｌ内には搬入用ラック２を搬
送する搬入部３．搬出用ラック４を搬送する搬出部５が
形成されると共に、作業室６が形成されている。

作業室６内は洗浄部７と乾燥部８とに分れ、かつ該作業
室６には搬入用ラック２においてラッピング処理された
ディスク部材９が立設状態で搬送され、またこの搬送途
中でシャワー１０により予備洗浄されたディスク部材を
１枚ずつ取出す搬入ハンドラ１１が設けられると共に、
洗浄、乾燥後のディスク部材９を搬出用ラック２に移送
する搬出ハンドラ１２が設けられ、該各ハンドラ１１，
１２はそれぞれ回動アームＩｌａ、１２ａの先端にディ
スク部材９をチャックするチャック部材１１ｂ、１２ｂ
を装着することにより構成される。さらに、搬入ハンド
ラ１１から洗浄部７、該洗浄部７から乾燥部８、該乾燥
部８から搬出ハンドラ１２ヘディスク部材９を移載する
移載ハンドラ１３が作業室６内に配設され、該移載ハン
ドラ１３は所定角度往復回動じ得ると共にその回動軸線
に沿って前後に往復動し得るようになっている。

洗浄部７は第２図乃至第４図にしたように、回動軸１４
ａによって所定角度ずつ回動せしめられるロータリテー
ブル１４を有し、該ロータリテーブル１４上は十字状の
仕切壁１５によって４つの作業部に区画形成されている
。第２図において、図中上方の作業区画部Ａは、移載ハ
ンドラ１３との間でディスク部材９の着脱を行う着脱部
となり１図中右方の作業区画部Ｂは洗浄部材１６により
ディスク部材の表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方の作
業区画部Ｃはすすぎ部材１７によって洗浄後のすすぎを
行うすすぎ部、さらに図中右方の作業区画部りはエツジ
洗い部材１８によりディスク部材９の内外の各周縁部の
洗浄を行うエツジ洗い部となっている。そして、前述の
各作業区画部Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄにはディスク部材９の外周
縁部を回転可能に挟持するためにチャック部材１９が取
付けられている。

該チャック部材１９はディスク部材９の３位置において
それと係合するチャッキングローラ１９ａと、該チャッ
キングローラ１９ａを回転可能に支持する支持軸１９ｂ
と、チャッキングローラ１９ａを第２図における作業区
画部Ａに実線で示したチャック位置と鎖線で示したチャ
ック解除位置との間に変位させる作動片１９ｃの各部材
を３組設置することにより構成される。そして、前述の
チャック位置とチャック解除位置との間の変位を可能な
らしめるために、同図の作業区画部りにおいて示した如
く、チャック部材１８における各作動片１９ｃを変位さ
せる歯車駆動部２０が設けられている。この歯車駆動部
２０の駆動歯車２０ａは第３図及び第４図に示した如く
ロータリテーブル１４の裏面側においてレバー２１と連
結されており、該レバー２１は常時には鎖線で示したよ
うにばね２２よりスットパ２３に当接した位置にあり、
このときチャック部材１９はチャック位置となり、作業
区画部Ａに対応する位置に設けた回動駆動部２４に連結
した作動片２５を鎖線位置から実線位置に回動させるこ
とによりレバー２１を実線位置に移行させて、チャック
部材１９のチャックを解除するチャック解除位薗に変位
させることができるようになっている。

次に、作業区画部Ｂに対応する位置に設けた洗浄部材１
６は、第５図に示したように、上下１対のアーム２８ａ
、２８ｂを有し、該各アーム２［ｉａ　、　２８ｂには
回転軸２７ａ、２７ｂが挿嵌されでおり、該各回転軸２
７ａ、２７ｂの一端部には洗浄具２８ａ、２８ｂが取付
けられ、該洗浄具２８ａ、２８ｂはディスク部材９の内
縁と外縁との間の幅より大きな外径の円環状のスポンジ
、ブラシ等の柔軟材で形成されている。そして、回転軸
２７ａ、２７ｂの他端部にはプーリ２９ａ　、　２！３
ｂが取付けられて、該各プーリ２９ａ。

２９ｂと回転軸３０に設けたプーリ３１ａ、３１ｂとの
間にベルト３２ａ、３２ｂを巻回して設け、この回転軸
３０を作業室６を画成するパネルＰを介して外部に突出
させて、該回転軸３０にモータ等の駆動源を接続してそ
れ回転させることにより洗浄具２８ａ。

２８ｂを回転させることができるようになっている。こ
れらプーリ２９ａ　、　２９ｂ　、回転軸３０．プーリ
３１ａ、　３１　ｂ及びベルト３２ａ、３２ｂによッテ
回転駆動手段が構成され、この回転駆動手段により洗浄
３２８ａ、２８ｂが回転せしめられ、第６図に示したよ
うにこの洗浄具２８ａ、２８ｂの矢示（イ）方向の回転
によってディスク部材９はチャック部材１９に保持され
た状態で矢示（ロ）方向に回転駆動せしめられるように
なっている。

ここで、洗浄！１．２８ａ、２８ｂは前述したように円
環状となっており、この洗浄具２８ａ、２８ｂの内部に
中性洗剤、純水等からなる洗浄液が供給するために、第
７図に示したようにアーム２Ｅｌａ、２８ｂに取付けた
回転軸支持ブロック３３ａ、３３ｂに形成した円環状の
液室３４ａ、３４　ｂに洗浄液を供給するホース３５ａ
、３５ｂが接続されており、該各ホース３５ａ。

３５ｂからの洗浄液を洗浄具２８ａ、２８ｂ内部に供給
するために回転軸２？ａ、２７ｂには洗浄具２８ａ。

２８ｂの内部に開口する通路３８ａ、３８ｂが穿設され
ている。

また、作業区画部Ｃに対応する位置に設置したすすぎ部
材１７は、洗浄部材１６と同様の構造を有し１回転軸３
７により回転せしめられるすすぎ洗浄具３８ａ、３８ｂ
にホース３９ａ、３９　ｂを介してすすぎ水を供給する
ことによって、洗浄後のディスク部材９のすすぎを行な
うことができるようになっている。

さらに、エツジ洗い部材１８はスポンジ等からなる外縁
、内縁の各洗浄具４０ａ、４０ｂを有し、該洗浄具４０
ａ、４０ｂは回転可能に支持アーム４１に取付けられて
、該支持アーム４１は揺動可能となっている。

未実施例は前述のように構成されるもので、次にその作
動にって説明する。

洗浄すべきディスク部材９は搬入ラック２に立設状態に
設置され、この状態で搬入ラック２を搬入部３に装着さ
せる。そして、該搬入ラック２が搬入部３を搬送させる
途中でシャワー９で洗浄することによって大部分の研摩
粉を洗い流す、そして、搬入ラック２が搬入部３の所定
の位置に到達したときに、搬入ハンドラ１１を搬入ラッ
ク２側に回動させて、チャック部材１１ｂによりディス
ク部材９をチャックする。然る後、搬入ハンドラ１１を
回動させて、該ディスク部材９を移載ハンドラ１３に移
載させる。

ディスク部材９が移載ハンドラ１３に移載された後、該
移載ハンドラ１３をロータリテーブル１４から離間する
方向に突出変位させると共に９０度回動させて、ロータ
リテーブル１４の作業区画部Ａと対面させて、該ロータ
リテーブル１４に近接する方向に縮小変位させ、ディス
ク部材９をチャック部材１９に移載する。そして、ロー
タリテーブル１４に移載されたディスク部材９は回動軸
１４ａによりロータリテーブル１４を９０度回動させる
ことによって洗浄を行う作業区画部Ｂに移行させる。こ
のとき洗浄部材１Ｂ、すすぎ部材１７及びエツジ洗い部
材１８は、ロータリテーブル１４におｔ−ｈるチャック
部材１８や仕切壁１５と接触しないようにするために、
それぞれの回転軸を中心として回動し、第２図に鎖線で
示した作動位置から一旦実線で示した非作動位置に変位
してロータリテーブル１４から離間し、再び鎖線の作動
位置に復帰することによって洗浄具２８ａ、２ｅｂ間に
ディスク部材９を挟み込ませる。このようにしてディス
ク部材９の作業区画部Ｂへの移行が完了した後、ホース
３４ａ、３４ｂから中性洗剤等からなる洗浄液を洗浄具
２８ａ、２８ｂの内部に供給すると共に、該洗浄具２８
ａ、２８ｂを回転させる。これによって、洗浄具２８ａ
、２８ｂによりディスク部材９の表面が擦られることに
よって該ディスク部材９の洗浄が行なわれ、しかもこの
洗浄具２８ａ、２８ｂの回転によってディスク部材９に
回転力が与えられて、ディスク部材９の表裏各面全体に
対する洗浄が行なわれる。

ここで、洗浄具２８ａ、２８ｂとディスク部材９との間
に介在する摩耗粉等の異物は、洗浄中において洗浄Ｊｊ
２８ａ、２９ｂが回転せしめられるので、該洗浄共２８
ａ、２８ｂの回転によって円滑にその外周面側に移動し
て外部に排出され、洗い残しがなく、完全な洗浄が可能
となる。しかも、洗浄具２８ａ、２８ｂとディスク部材
９との間に適度な洗浄液の液膜が形成されるから、洗浄
中に洗浄具２８ａ、２８ｂや異物の摩擦によりディスク
部材９の表面が損傷する等の不都合を生じることはない
。

このディスク部材９の洗浄が完了すると、ロータリテー
ブル１４を９０度回動させて、すすぎを行う作業区画部
Ｃに移行させる。そして、この作業区画部Ｃにおいては
、前述の作業区画部Ｂにおけると同様の手法ですすぎ部
材１７を使用して、すすぎ洗浄具３８ａ、３８ｂの内部
にホース３８ａ、３９ｂを介してすすぎ水を供給するこ
とにより洗浄液を洗い流すすすぎ洗浄を行う、この後、
ロータリテーブル１４をさらに９０度回動させることに
よってエツジ洗いを行う作業区画部りに移送し、エツジ
洗い部材１８を作動させることによってこのディスク部
材９の内外の各周縁部の洗浄が行なわれ、ディスク部材
９から異物２油汚れ等を完全に除去した後。

さらにロータリテーブル１４を９０度回動させることに
よって、洗浄完了後のディスク部材は再び作業区画部Ａ
に帰還せしめられる。

前述のようにして、洗浄が完了したディスク部材９が作
業区画部Ａに帰還し、移載ノーンドラ１３がロータリテ
ーブル１４側に変位したときに、該移載ハンドラ１３に
よってこのディスク部材９をチャ、。

りし、搬入ハンドラ１１に移載されて、洗浄後のディス
ク部材９は乾燥部８に移行して該乾燥部８において高速
スピン乾燥等により乾燥せしめられる。このように乾燥
したディスク部材９は移載／＼ンドラ１３の作動により
、該移載ハンドラ１３に移載し、該移載ハンドラ１３の
回動によって搬出／飄ンドラ３に移載され、該搬出ハン
ドラ３の回動により搬出ラック４内に載置される。この
動作を順次繰返すことによってディスク部材９の洗浄が
行なわれ、搬出ラック４を搬出部５から外部に搬送する
ことによって洗浄の完了したディスク部材９が取出され
る。

なお、前述の実施例では洗浄部材の洗浄具を円環状に形
成したものを示したが、これに代えて円柱状の洗浄具を
使用することもできる。また、洗浄部材はディスク部材
の両面に当接させるものだけでなく１片面のみに当接さ
せるようにすることもできる。さらに、チャック部材は
ロータリテーブル上に設置するものとしたが、これは複
数の洗浄工程でディスク部材を洗浄するようにしたため
で、弔−の洗浄工程で洗浄する場合には固定的に設けた
支持部材に設置することもできる。

［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明は、ディスク部材をチャック部
材に回転可能にチャックさせた状態で洗浄部材によって
該ディスク部材を洗浄するようになし、しかも洗浄時に
洗浄部材を回転させながその内部に洗浄液を供給するよ
うに構成したから、ディスク部材の表面に付着する摩耗
粉等の異物を該ディスク部材と洗浄部材との間に食み込
ませることなく完全に除去でき、ディスク部材の全体を
円滑かつ確実に自動洗浄することができると共に、ディ
スク部材の表面に適度の液膜を形成した状態で洗浄する
ことができるので、該ディスク部材が異物や洗浄部材に
より損傷するおそれはない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す洗浄装置の全体構成図
、第２図は洗浄部の拡大正面図、第３図は第２図のｘ−
ｘ矢視図、第４図はロータリテーブルのチャック部材の
作動機構を示す構成説明１：ハウジング、７：洗浄部、
９：ディスク部材、１４：ロータリテーブル、１６：洗
浄部材、１９：チャ”／り部材、３０：回転軸、２８ａ
、２８ｂ　：洗浄具。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）円環状に形成したディスク部材の外周縁または内
   周縁を回転可能にチャックするチャック部材と、該チャ
   ック部材によってチャックしたディスク部材の表面に当
   接させてこの表面を擦ることによって該ディスク部材を
   洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を回転させる回転駆動
   手段と、前記洗浄部材の内部に洗浄液を供給する洗浄液
   供給部材とから構成したことを特徴するディスク部材の
   洗浄装置。
2. （２）前記洗浄部材を前記ディスク部材の表裏両面に当
   接させるように構成したことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のディスク部材の洗浄装置