JPS628437A - 粒子線マイクロアナライザ− - Google Patents
粒子線マイクロアナライザ−Info
- Publication number
- JPS628437A JPS628437A JP60147393A JP14739385A JPS628437A JP S628437 A JPS628437 A JP S628437A JP 60147393 A JP60147393 A JP 60147393A JP 14739385 A JP14739385 A JP 14739385A JP S628437 A JPS628437 A JP S628437A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- objective lens
- marker
- lens
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光学顕微鏡を備えた粒子線マイクロアナライザ
ーにおける試料の光学像による焦点合せを容易に行うこ
とができる装置を提供するものである。
ーにおける試料の光学像による焦点合せを容易に行うこ
とができる装置を提供するものである。
［従来技術］
一般に、Ｘ線マイクロアナライザーやイオンマイクロア
ナライザーの如き粒子線マイクロアナライザーでは、試
料に電子線あるいはイオンを照射した際に発生するＸ線
や２次イオンを検出して試料表面の分析を行うと同時に
、可視光線による光学顕微鏡を用いて試料の予備観察や
スペクトロメータの位置合せを行っている。
ナライザーの如き粒子線マイクロアナライザーでは、試
料に電子線あるいはイオンを照射した際に発生するＸ線
や２次イオンを検出して試料表面の分析を行うと同時に
、可視光線による光学顕微鏡を用いて試料の予備観察や
スペクトロメータの位置合せを行っている。
［発明が解決しようとする問題点］
このような光学顕微鏡においては、試料の光学像の焦点
合ゼは試料を上下移動させることにより行われている。
合ゼは試料を上下移動させることにより行われている。
一方、かかる粒子線マイクロアナライザーにＪ３ける試
料は分析面が鏡面に研磨されるため、得られる光学像の
コントラストが小さい場合が多い。その結果、焦点が合
っているどうかが判断しずらい。
料は分析面が鏡面に研磨されるため、得られる光学像の
コントラストが小さい場合が多い。その結果、焦点が合
っているどうかが判断しずらい。
本発明はかかる不都合を解決するために、試料の光学像
の焦点合わせを容易に行うことのできる装置を提供する
ことを目的とする。
の焦点合わせを容易に行うことのできる装置を提供する
ことを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は光源と、該光源か
らの光を試料に照射するための集束レンズ及び中央部に
穴を有する対物レンズと、該対物レンズを通過した前記
試料からの反射光を結像するための接眼レンズとからな
る光学顕微鏡を備えた装置において、前記対物レンズの
物面位置または該物面位置と光学的に等価な位置に光を
通す部分とさえぎる部分とを有するマーカー部材を配置
したことを特徴とする。
らの光を試料に照射するための集束レンズ及び中央部に
穴を有する対物レンズと、該対物レンズを通過した前記
試料からの反射光を結像するための接眼レンズとからな
る光学顕微鏡を備えた装置において、前記対物レンズの
物面位置または該物面位置と光学的に等価な位置に光を
通す部分とさえぎる部分とを有するマーカー部材を配置
したことを特徴とする。
［実施例］
第１図はＸ線マイクロアナライザーに本発明を用いた場
合における一実施例を示す構成略図であり、１は電子銃
である。該電子銃から発生した電子線Ｅ８は集束レンズ
２及び３により集束されて、試料４を照射する。そして
、この電子線照射により試料から発生するＸ線１反射電
子及び２次電子は図示外の検出器により検出される。５
は前記集束レンズ２と３との間に組み込まれた光学顕微
鏡で、該光学顕微鏡は光源６．集光レンズ７、投影レン
ズ８．半透明ミラー９１反射ミラー１０．反射型対物レ
ンズ１１ａ、１１ｂ及び接眼レンズ１２から構成されて
いる。この顕微鏡の鏡体９反射ミラー１０及び反射型対
物レンズ１１ａ、１１ｂには電子線［Ｂの通過を妨げな
いように夫々穴が設けられている。そして、光源６から
の光は集光レンズ７及び投影レンズ８を介して半透明ミ
ラー９、反射ミラー１０により反射され、対物レンズ１
１ａ、１１ｂを通過して試料４を照射する。該試料４か
らの反射光は対物レンズ１１ａ、１１ｂ。
合における一実施例を示す構成略図であり、１は電子銃
である。該電子銃から発生した電子線Ｅ８は集束レンズ
２及び３により集束されて、試料４を照射する。そして
、この電子線照射により試料から発生するＸ線１反射電
子及び２次電子は図示外の検出器により検出される。５
は前記集束レンズ２と３との間に組み込まれた光学顕微
鏡で、該光学顕微鏡は光源６．集光レンズ７、投影レン
ズ８．半透明ミラー９１反射ミラー１０．反射型対物レ
ンズ１１ａ、１１ｂ及び接眼レンズ１２から構成されて
いる。この顕微鏡の鏡体９反射ミラー１０及び反射型対
物レンズ１１ａ、１１ｂには電子線［Ｂの通過を妨げな
いように夫々穴が設けられている。そして、光源６から
の光は集光レンズ７及び投影レンズ８を介して半透明ミ
ラー９、反射ミラー１０により反射され、対物レンズ１
１ａ、１１ｂを通過して試料４を照射する。該試料４か
らの反射光は対物レンズ１１ａ、１１ｂ。
反射ミラー１０．半透明ミラー９及び接眼レンズ１２を
介して外部に導き出され、試料の光学像を観察すること
ができる。
介して外部に導き出され、試料の光学像を観察すること
ができる。
１３は光学ｉ’ｉｍ鏡の照明系光路中の対物レンズ１１
ａ、１１ｂの物面位置に貿かれた視野制限絞りで、該絞
りの絞り穴１３ａ上には第２図にその平面図を示すよう
にマーカー板１４が取付けられている。該マーカー板１
４は例えばガラスやプラスチックスのように透明な物質
で形成されており、また、マーカー板上には不透明な十
字状のマーカー１５ａ、１５ｂが描かれている。該マー
カー１５ａ、１５ｂは例えばアルミニウムやクローム等
の金属を数千人の厚さに蒸着することによって形成され
ている。
ａ、１１ｂの物面位置に貿かれた視野制限絞りで、該絞
りの絞り穴１３ａ上には第２図にその平面図を示すよう
にマーカー板１４が取付けられている。該マーカー板１
４は例えばガラスやプラスチックスのように透明な物質
で形成されており、また、マーカー板上には不透明な十
字状のマーカー１５ａ、１５ｂが描かれている。該マー
カー１５ａ、１５ｂは例えばアルミニウムやクローム等
の金属を数千人の厚さに蒸着することによって形成され
ている。
以下、本実施例における動作を第３図に示す半透明ミラ
ー９及び反射ミラー１０を省いた光学図に基づき説明す
る。
ー９及び反射ミラー１０を省いた光学図に基づき説明す
る。
同図から明らかなように対物レンズ１１の物面゛にマー
カー板１４を設置すれば、対物レンズ１１の像面Ｓ上に
十字状のマーカー１５ａ、１５ｂの像が結像することに
なる。従って、試料４の表面が像面Ｓと一致したとき、
該試料表面上にマーカー像がジャストフォーカスの状態
で結像される。
カー板１４を設置すれば、対物レンズ１１の像面Ｓ上に
十字状のマーカー１５ａ、１５ｂの像が結像することに
なる。従って、試料４の表面が像面Ｓと一致したとき、
該試料表面上にマーカー像がジャストフォーカスの状態
で結像される。
このマーカー像は試料像と共に観察することができる。
そこで、対物レンズ１１と接眼レンズ１２から成る結像
レンズ系のピントを、予め対物レンズ１１の像面Ｓに合
わせておき、マーカー像を観察しつつ試料４を光軸に沿
って上下動させることによりこの試料上に写し出される
マーカー像が最も鮮明になるようにすれば、試料を物面
Ｓの位置に配置することができ、光学顕微鏡の焦点が合
うことになる。
レンズ系のピントを、予め対物レンズ１１の像面Ｓに合
わせておき、マーカー像を観察しつつ試料４を光軸に沿
って上下動させることによりこの試料上に写し出される
マーカー像が最も鮮明になるようにすれば、試料を物面
Ｓの位置に配置することができ、光学顕微鏡の焦点が合
うことになる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は、幾多の変形が考えられる。例えば、マーカーの形状
としては十字状のものを示したが、像として認識できる
形状のものであればどのような形状のものでも良い。ま
た、マーカーの作成にあたっては、金属を蒸着した場合
について述べたが、光を通さない黒色等の塗料を適宜な
方法によって透明な板体に描いても良い。さらに、透明
な板体を使用しないで、適宜な形状に折り曲げた針金を
直接視野制限絞り穴内に取付けても良い。さらに、また
、マーカー板を配置する位置は必ずしも対物レンズの物
面の位置に限定されるものではなく、照明系の光路中で
、かつ対物レンズの物面位置が結像位置となる投影レン
ズの物面位置でも良い。
は、幾多の変形が考えられる。例えば、マーカーの形状
としては十字状のものを示したが、像として認識できる
形状のものであればどのような形状のものでも良い。ま
た、マーカーの作成にあたっては、金属を蒸着した場合
について述べたが、光を通さない黒色等の塗料を適宜な
方法によって透明な板体に描いても良い。さらに、透明
な板体を使用しないで、適宜な形状に折り曲げた針金を
直接視野制限絞り穴内に取付けても良い。さらに、また
、マーカー板を配置する位置は必ずしも対物レンズの物
面の位置に限定されるものではなく、照明系の光路中で
、かつ対物レンズの物面位置が結像位置となる投影レン
ズの物面位置でも良い。
［発明の効果］
以上のような構成となせば、光学顕微鏡の焦点合せの際
、コントラストが非常に小さい試料の場合でも、極めて
容易に焦点合Ｕを行うことができる。
、コントラストが非常に小さい試料の場合でも、極めて
容易に焦点合Ｕを行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成略図、第２図は本
発明で使用されるマーカー板の平面図、第３図は本発明
における光学顕微鏡の光源と試料間の光学図である。 １：電子銃 ２．３−：集束レンズ４：試料
５：光学顕微鏡 ６：光源 ７：集光レンズ ８：投影レンズ ９：半透明ミラー１０：反射ミラ
ー １１ａ、１１ｂ：対物レンズ １２：接眼レンズ １３：視野制限絞り１４：マーカ
ー板 １５ａ、１５ｂ：ｖ−カー
発明で使用されるマーカー板の平面図、第３図は本発明
における光学顕微鏡の光源と試料間の光学図である。 １：電子銃 ２．３−：集束レンズ４：試料
５：光学顕微鏡 ６：光源 ７：集光レンズ ８：投影レンズ ９：半透明ミラー１０：反射ミラ
ー １１ａ、１１ｂ：対物レンズ １２：接眼レンズ １３：視野制限絞り１４：マーカ
ー板 １５ａ、１５ｂ：ｖ−カー
Claims (1)
- 光源と、該光源からの光を試料に照射するための集束レ
ンズ及び中央部に穴を有する対物レンズと、該対物レン
ズを通過した前記試料からの反射光を結像するための接
眼レンズとからなる光学顕微鏡を備えた装置において、
前記対物レンズの物面位置または該物面位置と光学的に
等価な位置に光を通す部分とさえぎる部分とを有するマ
ーカー部材を配置したことを特徴とする粒子線マイクロ
アナライザー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60147393A JPS628437A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 粒子線マイクロアナライザ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60147393A JPS628437A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 粒子線マイクロアナライザ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS628437A true JPS628437A (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=15429251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60147393A Pending JPS628437A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 粒子線マイクロアナライザ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS628437A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457557A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Hitachi Ltd | Electron microscope |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519722A (en) * | 1978-07-27 | 1980-02-12 | Jeol Ltd | Corpuscular ray microanalyzer |
| JPS5596406A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-22 | Hitachi Ltd | Device for determining roughness of surface |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP60147393A patent/JPS628437A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519722A (en) * | 1978-07-27 | 1980-02-12 | Jeol Ltd | Corpuscular ray microanalyzer |
| JPS5596406A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-22 | Hitachi Ltd | Device for determining roughness of surface |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457557A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Hitachi Ltd | Electron microscope |
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