JPS6284526A - Mounting method for gold wire for die bonding - Google Patents

Mounting method for gold wire for die bonding

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JPS6284526A
JPS6284526A JP60223984A JP22398485A JPS6284526A JP S6284526 A JPS6284526 A JP S6284526A JP 60223984 A JP60223984 A JP 60223984A JP 22398485 A JP22398485 A JP 22398485A JP S6284526 A JPS6284526 A JP S6284526A
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frame
bonding
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Abstract

PURPOSE:To stabilize the position of mounting of a gold wire by executing a bonding with a frame of a bending section after bending for forming the bending section as the gold wire is left as it is gripped by a clamper while opening and lifting the clamper only for the time when the gold wire is pulled up for delivery from a tool after bonding. CONSTITUTION:A clamper C falls under the state in which a gold wire A is gripped by the clamper C, and a bending section B in the gold wire A is placed on the surface of a frame F. A tool T is also lowered at the same time, one end of the bending section B is pushed against the frame F by the tool and fused, and the bending section B is mounted to the frame F. The clamper C is elevated slightly as the tool T is left as it is brought to the bonding state, and the clamper is closed again. The tool T is pulled up only at a distance L. When the clamper C under the state in which it grips the gold wire is pulled up to an initial position together with the tool T, the gold wire A is torn off the bending section B and cut.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明はダイボンディング用金線のマウント方法に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for mounting gold wire for die bonding.

(従来の技術) 第4図に示すように半導体のペレットPをフレームFな
どの表面にダイボンディングするのに、そのフレームF
の表面に金をメッキしておき、これを加熱した状態で表
面にペレットをのせて付着するのが普通であるが、この
メッキによる金に代えてフレームFの表面に金線Aをボ
ンディングなどによってマウントし、これを加熱して溶
融状態としてから、その表面にペレットPをのせること
によってダイボンディングすることが行われている。
(Prior art) As shown in FIG. 4, when die bonding a semiconductor pellet P to the surface of a frame F, etc.
The surface of the frame F is usually plated with gold, and pellets are placed on the surface while it is heated. Die bonding is performed by mounting, heating this to a molten state, and then placing a pellet P on the surface.

第2図は従来の金線のマウント方法を説明するためのも
ので、リールなどから繰り出されてくる金線Aは、クラ
ンパC内を通り、ボンディング用のツールTを貫通して
引き出されている。第2図Aに示すようにツールTから
出ている金線Aの先端は既にL状に屈曲されて屈曲部B
が形成されであるものとし、またクランパCはオープン
されているものとする。
Figure 2 is for explaining the conventional gold wire mounting method, in which the gold wire A is fed out from a reel, etc., passes through a clamper C, passes through a bonding tool T, and is drawn out. . As shown in FIG. 2A, the tip of the gold wire A coming out of the tool T has already been bent into an L shape and has a bent part B.
It is assumed that the clamper C is formed and the clamper C is open.

まず金線Aが繰り出されてその先端の屈曲部Bをフレー
ムFの表面に第2図Bに示すようにのせる。ついでツー
ルTを下降させて屈曲部Bの一端をフレームFに押し付
けて融着(ボンディング)し、これによって屈曲部Bを
フレームFにマウントする。次にツールTを第2図Cに
示すように距離りだけ上昇させる。この上昇に1よって
次の屈曲部Bを形成するための金線が、ツールTからあ
たかも繰り出されるようになる。
First, the gold wire A is drawn out, and the bent portion B at the tip thereof is placed on the surface of the frame F as shown in FIG. 2B. Next, the tool T is lowered to press one end of the bent portion B against the frame F for fusing (bonding), thereby mounting the bent portion B on the frame F. Next, the tool T is raised by a distance as shown in FIG. 2C. Due to this upward movement 1, the gold wire for forming the next bent portion B is let out as if from the tool T.

一方これまでに間にクランパCは若干降下され。Meanwhile, the clamper C has been lowered slightly in the meantime.

その降下のあとクローズされて金線Aをクランプする。After its descent, it is closed and gold wire A is clamped.

そしてここでクローズされたクランパCを当初の位置ま
で引き上げると、この引き上げによって金線Aは屈曲部
Bから引きちぎられるようにしてカットされる。この状
態を示したのが第2図りである。
Then, when the closed clamper C is pulled up to its original position, the gold wire A is torn off from the bent portion B and cut. The second diagram shows this state.

このあとベンディング用のアームMが矢印方向より駆動
されてきて、ツールTの先端から出ている金線を屈曲す
る(第2図E参照。)。この屈曲のあとクランパCはオ
ープンされ、当初の状態に戻る。
Thereafter, the bending arm M is driven in the direction of the arrow to bend the gold wire coming out from the tip of the tool T (see Fig. 2E). After this bending, the clamper C is opened and returns to its original state.

以上の説明からも理解されるように、第2図CからDの
状態に移るとき、ツールTを上昇させときこれにつられ
て金線が繰り入れられるのを防ぐためにクランパCが用
意され、このときクランパCをクローズすることによっ
て金線Aをグリップして、その繰り入れを防止している
As can be understood from the above explanation, when moving from state C to state D in Figure 2, a clamper C is prepared to prevent the gold wire from being pulled in when the tool T is raised; By closing the clamper C, the gold wire A is gripped and prevented from being drawn in.

−力筒2図Aの状態においては、金線を繰り出す必要が
あるところから、クランパCはオープンされていなれれ
ばならないので、第2図E以降においてクランパCはオ
ープンされる。
- In the state shown in Figure 2A of the force cylinder, the clamper C must be opened since it is necessary to feed out the gold wire, so the clamper C is opened from Figure 2E onwards.

ところがこのときのクランパCのオープンによって金線
のグリップを解除すると、それ以前の金線のカール状態
あるいはベンディング状態に基づく復元力によってトー
ションが作用し、そのため金線が移動したり、よじれる
ように回転したりすることがある。
However, when the grip on the gold wire is released by opening the clamper C at this time, torsion is applied due to the restoring force based on the previous curling or bending state of the gold wire, which causes the gold wire to move or twist. Sometimes I do things.

そのため第3図に示すようにフレーム上のペレットPの
ダイボンディング領域Qが鎖線で示す範囲であったとす
ると1本来ならば屈曲部Bは領域Qのセンターにマウン
トされなければならないのに、点線で示すようにセンタ
ーから外れてマウントされてしまうようになる。このよ
うな位置にマウントされるようなことがあると、ペレッ
トPのフレームに対するダイボンディングが極めて不安
定となる。
Therefore, as shown in Figure 3, if the die bonding area Q of the pellet P on the frame is the range shown by the chain line, the bent part B should originally be mounted at the center of the area Q, but the dotted line As shown, it will be mounted off center. If the pellet P is mounted in such a position, die bonding of the pellet P to the frame becomes extremely unstable.

(発明が解決しようとする問題点) この発明はトーションが作用することがあっても、ダイ
ポンディグ用の金線のマウント位置の安定化を図ること
を目的とする。
(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to stabilize the mounting position of a gold wire for dipon digging even if torsion may occur.

(問題点を解決するための手段) この発明は金線をクランパによってグリップしたままで
、屈曲部形成のためのベンディングから、その屈曲部の
フレームへのボンディングを実施するとともに、ボンデ
ィング後からツールの、このツールからの金線の繰り出
しのための引き上げまでの間にクランパを上昇させるよ
うにし、この上昇の際のみクランパをオープンとしてそ
のグリップを解除するようにしたことを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) This invention performs bending to form a bent portion and bonding of the bent portion to a frame while the gold wire is gripped by a clamper, and the tool is removed after bonding. , the clamper is raised until the gold wire is pulled up for feeding out from the tool, and the clamper is opened and its grip is released only during this raising.

(実施例) この発明の実施例を第1図によって説明すると。(Example) An embodiment of this invention will be explained with reference to FIG.

金線Aは、クランパC内を通り、ボンディング用のツー
ルTを貫通して引き出されている。第1−図Aに示すよ
うにツールTから出ている金線Aの先端は既にL状に屈
曲されて屈曲部Bが形成されであるものする。これらの
状態は従来と同様である。
The gold wire A passes through a clamper C, passes through a bonding tool T, and is drawn out. As shown in FIG. 1A, the tip of the gold wire A coming out of the tool T has already been bent into an L shape to form a bent portion B. These conditions are the same as before.

しかしクランパCは既にクローズされているものとする
However, it is assumed that clamper C is already closed.

まず金線AはクランパCによってグリップされた状態で
クランパCが下降し、屈曲部BをフレームFの表面に第
1図Bに示すようにのせる。このときクランパCと一体
的にツールTも下降させる。
First, the clamper C descends while the gold wire A is gripped by the clamper C, and the bent portion B is placed on the surface of the frame F as shown in FIG. 1B. At this time, the tool T is also lowered together with the clamper C.

そしてツールTによって屈曲部Bの一端をフレームFに
押し付けて融着(ボンディング)し、これによって屈曲
部BをフレームFにマウントする。
Then, one end of the bent part B is pressed against the frame F by the tool T and fused (bonded), thereby mounting the bent part B on the frame F.

次にツールTをそのボンディング状態としたままで、ク
ランパCを第1図Cに示すように若干上昇させ、そのあ
と再びクローズする。この上昇によって次の屈曲部B分
のためのツールTの引き上げ行程が確保されるようにな
る。またこのクランパCはその引き上げのときオープン
され、金線のグリップを解除する。この解除によってク
ランパCは金線の引き上げを伴わずに上昇するようにな
る。
Next, while the tool T remains in its bonded state, the clamper C is raised slightly as shown in FIG. 1C, and then closed again. This rise ensures the lifting stroke of the tool T for the next bending portion B. Also, this clamper C is opened when it is pulled up and releases its grip on the gold wire. This release causes the clamper C to rise without pulling up the gold wire.

このあと第1図りに示すようにツールTを距離りだけ引
き上げる。引き上げによって金線が、ツールTからあた
かも繰り出されるようになる。ついで金線をグリップし
た状態にあるクランパCをツールTとともに当初の位置
まで引き上げると、この引き上げによって金線Aは屈曲
部Bから引きちぎられるようにしてカットされる。この
状態を示したのが第1図Eである。
After this, the tool T is pulled up by a distance as shown in the first diagram. By pulling up the gold wire, it becomes as if it were being let out from the tool T. Next, when the clamper C gripping the gold wire is pulled up together with the tool T to its original position, the gold wire A is torn off from the bent portion B and cut. This state is shown in FIG. 1E.

ここで従来と同様にベンディング用のアームMが矢印方
向より駆動されてきて、ツールTの先端から出ている金
線を屈曲する(第1図E参照。)。
Here, as in the conventional case, the bending arm M is driven in the direction of the arrow and bends the gold wire protruding from the tip of the tool T (see FIG. 1E).

この屈曲によって当初の状態に戻る。This bending returns it to its original state.

以上の工程において、金線Aはクランパによってグリッ
プされたままで、金線のベンディングからボンディング
まで実施するようにしたので、屈曲部のベンディング時
において、金線が回転するようなことは確実に回避され
る。
In the above process, the bending and bonding of the gold wire were carried out while the gold wire A remained gripped by the clamper, so rotation of the gold wire during bending at the bent portion was reliably avoided. Ru.

(発明の効果) 以上詳述したようにこの発明によれば、ダイポンディグ
用の金線のマウント位置を、金mLTトーションがかか
っていても簡単にしがも確実に安定化し得るといった効
果を奏する。
(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the present invention, the mounting position of the gold wire for dipon digging can be easily and reliably stabilized even if gold mLT torsion is applied.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の実施例工程を示す正面図、第2図は
従来工程を示す正面図、第3同は金線のマウント状態を
示す平面図、第4図はペレットのボンディング状態を示
す断面図である。 F・・・フレーム、A・・・金線、B・・・屈曲部、C
・・・クランパ、T・・・ツール、P・・・ペレット。
Fig. 1 is a front view showing the process of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view showing the conventional process, Fig. 3 is a plan view showing the gold wire mounting state, and Fig. 4 is the bonding state of the pellets. FIG. F... Frame, A... Gold wire, B... Bent part, C
... Clamper, T... Tool, P... Pellet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 金線をクランパによってグリップしたままで、前記金線
の先端における屈曲部形成のためのベンディングおよび
その屈曲部の被ボンディング位置へのツールによるボン
ディングを実施する工程、前記ボンディング後から前記
ツールの、このツールからの金線の繰り出しのための引
き上げまでの間に、前記クランパをオープンとして前記
金線のグリップを解除して上昇させる工程とからなるダ
イボンディング用金線のマウント方法。
a step of bending the gold wire to form a bent part at the tip thereof and bonding the bent part to a position to be bonded with a tool while the gold wire is gripped by a clamper; A method for mounting a gold wire for die bonding, which comprises the steps of opening the clamper, releasing the grip on the gold wire, and raising the gold wire before lifting the gold wire from a tool for feeding out.
JP60223984A 1985-10-08 1985-10-08 Mounting method for gold wire for die bonding Expired - Lifetime JPH0640554B2 (en)

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Publication Number Publication Date
JPS6284526A true JPS6284526A (en) 1987-04-18
JPH0640554B2 JPH0640554B2 (en) 1994-05-25

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60223984A Expired - Lifetime JPH0640554B2 (en) 1985-10-08 1985-10-08 Mounting method for gold wire for die bonding

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0560513A (en) * 1991-08-31 1993-03-09 Nireco Corp Optical line mark detector

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58125842A (en) * 1982-01-22 1983-07-27 Toshiba Corp Wire bonding device

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JPH0640554B2 (en) 1994-05-25

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