JPS6286512A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6286512A JPS6286512A JP60227111A JP22711185A JPS6286512A JP S6286512 A JPS6286512 A JP S6286512A JP 60227111 A JP60227111 A JP 60227111A JP 22711185 A JP22711185 A JP 22711185A JP S6286512 A JPS6286512 A JP S6286512A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- gap
- insulating material
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術
従来より磁気ヘッド用コア材として、耐摩耗性が良いと
いう特長からフェライトが広く使用されているが、飽和
磁束密度Ｂｓが合金材料に比べて３０〜５０チ低いので
、近年登場してきた高抗磁力の高密度記録用媒体に使用
した場合、ヘッドコア材料の磁気飽和が問題となり、こ
のような観点から、高密度記録媒体の対応ヘッドとして
、パーマロイやセンダストなどの合金材料を使った磁気
ヘッドが実用化されている。
いう特長からフェライトが広く使用されているが、飽和
磁束密度Ｂｓが合金材料に比べて３０〜５０チ低いので
、近年登場してきた高抗磁力の高密度記録用媒体に使用
した場合、ヘッドコア材料の磁気飽和が問題となり、こ
のような観点から、高密度記録媒体の対応ヘッドとして
、パーマロイやセンダストなどの合金材料を使った磁気
ヘッドが実用化されている。
他方、耐摩耗性、磁気特性ともに優れた材料として、非
晶質合金が脚光をあびてきている。
晶質合金が脚光をあびてきている。
これらの合金材料を、磁気ヘッドのコア材料として使用
した場合、材料自身の比抵抗が７０〜１２０μΩ・傭と
低いので高周波領域で、うず電流による損失が大きい為
、通常積層構造により改善をはかっている。
した場合、材料自身の比抵抗が７０〜１２０μΩ・傭と
低いので高周波領域で、うず電流による損失が大きい為
、通常積層構造により改善をはかっている。
オーディオヘッドに於ては、トラック幅が数百μｍと犬
きく、周波数領域も低いので１枚当りのコアの厚みも２
００〜３００μｍと厚く、積層。
きく、周波数領域も低いので１枚当りのコアの厚みも２
００〜３００μｍと厚く、積層。
ギャップ形成は、エポキシ系樹脂などの、いわゆる接着
剤が使用されている。
剤が使用されている。
しかしながら、ビデオ、コンピュータ、計測機用ヘッド
となると、トラック幅が非常に小さく（例えば数十μｍ
）、かつギャップ長が非常に短い（例えば０．３μｍ以
下）ので、接着剤によるヘッド構成では高精度のギャッ
プを維持することは困難である。
となると、トラック幅が非常に小さく（例えば数十μｍ
）、かつギャップ長が非常に短い（例えば０．３μｍ以
下）ので、接着剤によるヘッド構成では高精度のギャッ
プを維持することは困難である。
またトラック幅が小さく、かつ使用周波数領域も数ＭＨ
ｚないしは１０ＭＨｚと高いので、１枚当りのコアの厚
みも１０μｍあるいはそれ以下が望ましい。
ｚないしは１０ＭＨｚと高いので、１枚当りのコアの厚
みも１０μｍあるいはそれ以下が望ましい。
このような厚みでは、現在の加工技術では難かしく、超
急冷法によるリボンアモルファスやリボン七ンダストで
も厚みが２０μｍ以下では、均一な厚みを得る事は難か
しい。
急冷法によるリボンアモルファスやリボン七ンダストで
も厚みが２０μｍ以下では、均一な厚みを得る事は難か
しい。
従って上記観点より、磁性材料である非晶質合金やセン
ダスト合金を、スパッタ法や蒸着法によって薄板化する
方法が採用されている。
ダスト合金を、スパッタ法や蒸着法によって薄板化する
方法が採用されている。
これらの方法によると、１枚当りのコアの厚みが１０μ
ｍ以下のものが容易に得られ、かつ磁性材料と層間絶縁
材料を交互に積層することが可能であり各材料間の付着
強度も強いので、前記高精度のギャップを維持する事が
可能である。
ｍ以下のものが容易に得られ、かつ磁性材料と層間絶縁
材料を交互に積層することが可能であり各材料間の付着
強度も強いので、前記高精度のギャップを維持する事が
可能である。
この時の層間絶縁材料として、ＳｉＯ２が用いられてい
るのは公知である。（電子通信学会論文誌別刷Ｔｒａｎ
ｓ 、 ＩＥＣＥ ７４／９ ＶＯＬ 、 ５７−ＣＡ
９゜電気学会研究会資料 ＭＡＧ８２−３６）。またギ
ャップスペーサ材料としてＳｉＯ２を用いるのも公知で
ある。
るのは公知である。（電子通信学会論文誌別刷Ｔｒａｎ
ｓ 、 ＩＥＣＥ ７４／９ ＶＯＬ 、 ５７−ＣＡ
９゜電気学会研究会資料 ＭＡＧ８２−３６）。またギ
ャップスペーサ材料としてＳｉＯ２を用いるのも公知で
ある。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の金属磁性材料と層間絶縁材料である５
ｉ０２の積層磁芯からなる磁気ヘッドを用いて、市販の
塗布型メタルテープによる各種環境下におけるテープ走
行試験をした所、特に低湿環境でヘッド出力の大きな低
下が見られた。
ｉ０２の積層磁芯からなる磁気ヘッドを用いて、市販の
塗布型メタルテープによる各種環境下におけるテープ走
行試験をした所、特に低湿環境でヘッド出力の大きな低
下が見られた。
この出力が低下したヘッドのテープ摺動面を観察したと
ころ層間絶縁材料である５ｉｎｚ付近に選択的に付着物
があり、その程度は段差計により測定した所最大５００
〜６００人であった。この付着物をオージェ分析により
分析した所、付着成分はメタルテープ中の磁性材料成分
であり、段差計による値とオージェ分析による深さが一
致した。
ころ層間絶縁材料である５ｉｎｚ付近に選択的に付着物
があり、その程度は段差計により測定した所最大５００
〜６００人であった。この付着物をオージェ分析により
分析した所、付着成分はメタルテープ中の磁性材料成分
であり、段差計による値とオージェ分析による深さが一
致した。
また程度は少いがギャップ上にも少し付着物が見られた
。
。
以上を総合して考えると、塗布型メタルテープを低湿環
境下で走行すると、金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの
層間絶縁材料である５ｉｎ２付近に選択的にメタルテー
プ中の磁性材料が付着し、その付着物による盛り上りの
ために、ヘッドとテープ間にスペーシングが発生する事
によるスペーシングロスにより、ヘッド出力が低下する
事が分かった。
境下で走行すると、金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの
層間絶縁材料である５ｉｎ２付近に選択的にメタルテー
プ中の磁性材料が付着し、その付着物による盛り上りの
ために、ヘッドとテープ間にスペーシングが発生する事
によるスペーシングロスにより、ヘッド出力が低下する
事が分かった。
他方積層枚数を多くして行くと、磁性材料の厚みが同一
にもかかわらず、透磁率（μ′ ）が低下する傾向が見
られた。これは磁性材料の磁歪定数（λＳ）が完全に零
になっていない事を意味するが、磁性材料が８１０２の
熱膨張係数（α）に比べて１桁以上大きい事にも起因す
る。
にもかかわらず、透磁率（μ′ ）が低下する傾向が見
られた。これは磁性材料の磁歪定数（λＳ）が完全に零
になっていない事を意味するが、磁性材料が８１０２の
熱膨張係数（α）に比べて１桁以上大きい事にも起因す
る。
問題点を解決するための手段
磁気テープと接触するヘッドチップのテープ摺動面が、
多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドにおいて、前記多
層構造の層間絶縁材料を、α−Ｆθ２０５を主体として
構成する。
多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドにおいて、前記多
層構造の層間絶縁材料を、α−Ｆθ２０５を主体として
構成する。
作用
本発明は上記した構成により、低湿環境下においても前
記付着物が全くないので、ヘッド出力の低下が発生せず
安定した出力が得られ、信頼性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。また層間絶縁材料の熱膨張係数が５ｉｎ２に比べ
て１桁以上大きく、より金属磁性材料に近くなるので、
特に積層枚数が多くなった時の磁性材料に対する応力の
影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくなる
。
記付着物が全くないので、ヘッド出力の低下が発生せず
安定した出力が得られ、信頼性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。また層間絶縁材料の熱膨張係数が５ｉｎ２に比べ
て１桁以上大きく、より金属磁性材料に近くなるので、
特に積層枚数が多くなった時の磁性材料に対する応力の
影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくなる
。
実施例
本発明の一実施例を第１図、第２図を用いて説明する。
市販の基板材料を鏡面研磨し、十分洗浄して基板１とし
て、真空槽内ｆ３Ｘ１０ Ｔｏｒｒ に排気した後、
人ｒガスを導入して２×１０ Ｔｏｒｒとし、組成式Ｇ
ｏ Ｂ ＩＮｂ 、３ Ｚｒ６のターゲットを用いてス
パッタして１０μｍの非晶質合金膜２ａを作製した。
て、真空槽内ｆ３Ｘ１０ Ｔｏｒｒ に排気した後、
人ｒガスを導入して２×１０ Ｔｏｒｒとし、組成式Ｇ
ｏ Ｂ ＩＮｂ 、３ Ｚｒ６のターゲットを用いてス
パッタして１０μｍの非晶質合金膜２ａを作製した。
次にα−Ｆｅ ２０３をターゲツトとして非晶質合金膜
２＆上に人ｒ圧４ Ｘ １０ ”ＴＯｒｒでスパッタし
て約１０００人の層間絶縁材料３ａを作製した。
２＆上に人ｒ圧４ Ｘ １０ ”ＴＯｒｒでスパッタし
て約１０００人の層間絶縁材料３ａを作製した。
以下同様に非晶質合金膜と層間絶縁材料を交互に２ｂ、
３ｂ、２０とスパッタし非晶質合金膜が３層構造のブロ
ックを得た。
３ｂ、２０とスパッタし非晶質合金膜が３層構造のブロ
ックを得た。
他方基板１と同じ材料の基板６を、接着用ガラス層４を
介して接着を行ない積層コアを得た。
介して接着を行ない積層コアを得た。
次にギャップ突合せ面に巻線窓６を加工した後突合せ面
をダイヤモンドペーストで鏡面に加工した後、この面に
ギャップスペーサ材を所定の厚みにスパッタして、ギャ
ップ形成用の片側が完成する。
をダイヤモンドペーストで鏡面に加工した後、この面に
ギャップスペーサ材を所定の厚みにスパッタして、ギャ
ップ形成用の片側が完成する。
このブロックと全く同じ構造１′〜５′からなる積層コ
ア半休を突き合せ、接着用ガラス７によりギャップ形成
を行った。
ア半休を突き合せ、接着用ガラス７によりギャップ形成
を行った。
この１対の棒より所定のヘッドを切り出しヘッドを完成
した。
した。
これらのヘッドをビデオテープレコーダ（ヘッドテープ
相対速度３・ａｍ／秒）に取付け、市販の塗布型メタル
テープを用いて各積環境下におけるテープ走行試験をし
た所、従来のＳｉｎ、、を層間絶縁材料もしくはギャッ
プ材で構成したヘッドでは、低湿環境下でヘッド出力の
大きな低下が見られたのに対して、本発明の材料を層間
絶縁またはギャップ材で構成したヘッドでは、全ての環
境下で安定した出力が得られた。
相対速度３・ａｍ／秒）に取付け、市販の塗布型メタル
テープを用いて各積環境下におけるテープ走行試験をし
た所、従来のＳｉｎ、、を層間絶縁材料もしくはギャッ
プ材で構成したヘッドでは、低湿環境下でヘッド出力の
大きな低下が見られたのに対して、本発明の材料を層間
絶縁またはギャップ材で構成したヘッドでは、全ての環
境下で安定した出力が得られた。
第１表に２３°Ｃ，１０％相対湿度下における本発明の
ヘッドと参考までに従来のヘッドのヘッド出力を示す。
ヘッドと参考までに従来のヘッドのヘッド出力を示す。
なおヘッド出力は２３°Ｃ，７０％相対湿度下のヘッド
出力をｏ（ｄＢ）で示す。
出力をｏ（ｄＢ）で示す。
第１表
次に基板に非磁性ステンレスを用い、センダスト合金（
Ｆｅｓ ４．５ 、 ５ｉ９．７ 、 Ａ１５．８各重
量％）をターゲットとして、真空槽内を５Ｘ１０ Ｔ
ｏｒｘＫ排気した後、Ａｒガスを導入して１５×１０Ｔ
ｏｒｒとしスパッタした。次に層間絶縁材料をターゲッ
トとしてセンダスト膜上にムｒ圧４×１０Ｔｏｒｒでス
パッタして約１０００ムの層間絶縁材料を作製した。
Ｆｅｓ ４．５ 、 ５ｉ９．７ 、 Ａ１５．８各重
量％）をターゲットとして、真空槽内を５Ｘ１０ Ｔ
ｏｒｘＫ排気した後、Ａｒガスを導入して１５×１０Ｔ
ｏｒｒとしスパッタした。次に層間絶縁材料をターゲッ
トとしてセンダスト膜上にムｒ圧４×１０Ｔｏｒｒでス
パッタして約１０００ムの層間絶縁材料を作製した。
以下同様にセンダスト合金膜と層間絶縁材料を交互に積
層して多層センダスト膜を作表した。
層して多層センダスト膜を作表した。
こうして得られた膜の１０ｏ ＫＨｚにおける１１１１
ＩＯｅの透磁率を第２表に示す。
ＩＯｅの透磁率を第２表に示す。
なお表中の透磁率は磁性材料の厚みに対して、すなわち
層間絶縁材料は無視して示しである。
層間絶縁材料は無視して示しである。
（以下余 白）
なお、上記実施例中ではヘッドコアを基板で挾んだサン
ドインチ構造を有する磁気ヘッドについて述べたが、テ
ープ摺動面に基板を含まない、すなわちテープ摺動面が
全て多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドでも同様の効
果を有するものである。
ドインチ構造を有する磁気ヘッドについて述べたが、テ
ープ摺動面に基板を含まない、すなわちテープ摺動面が
全て多層構造の磁性体からなる磁気ヘッドでも同様の効
果を有するものである。
またスパッタにより形成されたα−Ｆｅ ２０５は、形
成時の雰囲気によりウスタイ）（Ｆｅ０）相や、磁性材
料であるマグネタイ） （Ｆｅ３０４）相が存在しても
、実用的に許容出来る非磁性であれば特に問題はない。
成時の雰囲気によりウスタイ）（Ｆｅ０）相や、磁性材
料であるマグネタイ） （Ｆｅ３０４）相が存在しても
、実用的に許容出来る非磁性であれば特に問題はない。
また磁性材料も非晶質合金、Ｇｏ−Ｗｂ−Ｚｒ系につい
て述べたが他の系、例えばＧｏ−Ｆｅ−５ｉ −Ｂ ＋
Ｎｉ−３ｉ−Ｂ系などについても同様の効果があり、ス
パッタ材料に限定されるものではなく、超急冷法による
リボンアモルファスや蒸着法などによっても可能である
。
て述べたが他の系、例えばＧｏ−Ｆｅ−５ｉ −Ｂ ＋
Ｎｉ−３ｉ−Ｂ系などについても同様の効果があり、ス
パッタ材料に限定されるものではなく、超急冷法による
リボンアモルファスや蒸着法などによっても可能である
。
センダスト合金についても組成の限定は特になく、Ｆａ
−８ｉ−ム１合金組成で効果がある。この事は同様に合
金磁性材料であるパーマロイ（鉄ニツケル系合金）につ
いても、特に磁歪に対する透磁率の影響が大きいので同
様の効果が期待出来る。
−８ｉ−ム１合金組成で効果がある。この事は同様に合
金磁性材料であるパーマロイ（鉄ニツケル系合金）につ
いても、特に磁歪に対する透磁率の影響が大きいので同
様の効果が期待出来る。
発明の効果
本発明によｎば、多層構造の磁性体からなる磁気ヘッド
において、層間絶縁材料もしくはギャップ材料にα−Ｆ
ｅ ２０５を主体とする材料を用いる事で、実用的に使
用される幅広の環境のテープ走行に対して、テープ中の
磁性材料成分の付着がなく、従って安定したヘッド出力
が得られ、信頼の高い磁気ヘッドが供給出来る。
において、層間絶縁材料もしくはギャップ材料にα−Ｆ
ｅ ２０５を主体とする材料を用いる事で、実用的に使
用される幅広の環境のテープ走行に対して、テープ中の
磁性材料成分の付着がなく、従って安定したヘッド出力
が得られ、信頼の高い磁気ヘッドが供給出来る。
また層間絶縁材料に本発明の材料を用いる事により、従
来材料より熱膨張係数が１桁以上大きく、より金属磁性
材料に近くなるので、特に積層枚数が多くなった時もし
くは１層の厚みが薄くなった時の磁性材料に対する応力
の影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくな
る。
来材料より熱膨張係数が１桁以上大きく、より金属磁性
材料に近くなるので、特に積層枚数が多くなった時もし
くは１層の厚みが薄くなった時の磁性材料に対する応力
の影響が少なくなり、磁気ヘッド特性の劣化が少なくな
る。
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッド１．１′
・・・・・・基板、２１Ｌｌ ２＆’・・・・・・非
晶質合金、３２Ｌｌ ３２Ｌ’・・・・・・絶縁材料
、４．４′・・・・・・接着用力リス層、５，６′・・
・・・・基板、６・・・・・・巻線窓、７・・・・・・
接着用ガラス、８・・・・・・ギャップ。
・・・・・・基板、２１Ｌｌ ２＆’・・・・・・非
晶質合金、３２Ｌｌ ３２Ｌ’・・・・・・絶縁材料
、４．４′・・・・・・接着用力リス層、５，６′・・
・・・・基板、６・・・・・・巻線窓、７・・・・・・
接着用ガラス、８・・・・・・ギャップ。
Claims (3)
- （１）少くとも磁気テープと接触するヘッドチップのテ
ープ摺動面が、多層構造の磁性体からなり、前記多層構
造の層間絶縁材料またはギャップスペーサ材料が、鉄の
酸化物を主成分とすることを特徴とする磁気ヘッド。 - （２）鉄の酸化物が、α−Ｆｅ＿２Ｏ＿３を主体とする
特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド。 - （３）多層構造の磁性体が、非晶質合金、センダスト合
金、またはパーマロイ合金からなる特許請求の範囲第１
項記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227111A JPS6286512A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 磁気ヘツド |
| DE8686101672T DE3685230D1 (de) | 1985-02-15 | 1986-02-10 | Magnetkopf. |
| EP86101672A EP0191447B1 (en) | 1985-02-15 | 1986-02-10 | Magnetic head |
| US07/161,408 US4901179A (en) | 1985-02-15 | 1988-02-23 | Magnetic head having a laminated structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227111A JPS6286512A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286512A true JPS6286512A (ja) | 1987-04-21 |
Family
ID=16855646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60227111A Pending JPS6286512A (ja) | 1985-02-15 | 1985-10-11 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286512A (ja) |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP60227111A patent/JPS6286512A/ja active Pending
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