JPS6287203A - 気相乾燥用洗浄剤の水洗分離装置 - Google Patents
気相乾燥用洗浄剤の水洗分離装置Info
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- JPS6287203A JPS6287203A JP13143286A JP13143286A JPS6287203A JP S6287203 A JPS6287203 A JP S6287203A JP 13143286 A JP13143286 A JP 13143286A JP 13143286 A JP13143286 A JP 13143286A JP S6287203 A JPS6287203 A JP S6287203A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レンズや液晶表示装置に使用するガラス基板
などを気相乾燥する時に生じる前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤よりこの気相乾燥用洗浄剤を水洗分離す
る装置に関するものである。
などを気相乾燥する時に生じる前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤よりこの気相乾燥用洗浄剤を水洗分離す
る装置に関するものである。
レンズや液晶表示装置のガラス基板などの洗浄方法とし
ては、一般に洗剤により洗浄した後水洗し、次いでアル
コール洗浄し、最後に気相乾燥する方法が採用されてい
る。この気相乾燥工程では、前工程で使用したアルコー
ルなどの洗浄剤を付着した被洗浄物からアルコール洗浄
剤をクロロジフルオロメタン（米国デュポン社製：フレ
オン２２）、ジクロロジフルオロメタン（同型：フレオ
ン１２）、１．１．２−）クロロロー１． ２． ２−
トリフルオロエタン（同型：フレオン１１３）、トリ
クレンなどの気相乾燥用洗浄剤に溶解し、これを気化さ
せることによって乾燥することができる。気相乾燥装置
で気化された気相乾燥用洗浄剤が被洗浄物に付着した時
に、その上で凝縮して液化し、そこで前工程のアルコー
ル洗浄剤を洗浄し、同時に乾燥することができる。この
気相乾燥法を用いた装置は、例えば実公昭４２−６７８
１号、特公昭４５−６１１３号公報などに記載されてい
る。
ては、一般に洗剤により洗浄した後水洗し、次いでアル
コール洗浄し、最後に気相乾燥する方法が採用されてい
る。この気相乾燥工程では、前工程で使用したアルコー
ルなどの洗浄剤を付着した被洗浄物からアルコール洗浄
剤をクロロジフルオロメタン（米国デュポン社製：フレ
オン２２）、ジクロロジフルオロメタン（同型：フレオ
ン１２）、１．１．２−）クロロロー１． ２． ２−
トリフルオロエタン（同型：フレオン１１３）、トリ
クレンなどの気相乾燥用洗浄剤に溶解し、これを気化さ
せることによって乾燥することができる。気相乾燥装置
で気化された気相乾燥用洗浄剤が被洗浄物に付着した時
に、その上で凝縮して液化し、そこで前工程のアルコー
ル洗浄剤を洗浄し、同時に乾燥することができる。この
気相乾燥法を用いた装置は、例えば実公昭４２−６７８
１号、特公昭４５−６１１３号公報などに記載されてい
る。
上述した様な気相乾燥装置に用いるクロロジフルオロメ
タンなどの気相乾燥用洗浄剤は、アルコールを溶解する
が、水と混和しないので、これにアルコールが含まれる
時に水を接触させるとクロロジフルオロメタン液よりア
ルコールが抽出され、しかも比重が大きいのでアルコー
ルを含む水相とクロロフルオロメタン相に分離される。
タンなどの気相乾燥用洗浄剤は、アルコールを溶解する
が、水と混和しないので、これにアルコールが含まれる
時に水を接触させるとクロロジフルオロメタン液よりア
ルコールが抽出され、しかも比重が大きいのでアルコー
ルを含む水相とクロロフルオロメタン相に分離される。
従って、通常前工程のアルコール洗浄剤を含む気相乾燥
用洗浄剤は、水洗分離装置によって気相乾燥用洗浄剤を
分離し、これを再度気相乾燥装置に送り込まれて再使用
されている。
用洗浄剤は、水洗分離装置によって気相乾燥用洗浄剤を
分離し、これを再度気相乾燥装置に送り込まれて再使用
されている。
しかしながら、この様な従来からの水洗分離法では、相
当量の水洗水を必要とし、しかも多量の水洗水を使用す
る割には気相乾燥用洗浄剤の抽出が不十分で、このため
水とともにオーバーフローされてしまう欠点を有してい
る。
当量の水洗水を必要とし、しかも多量の水洗水を使用す
る割には気相乾燥用洗浄剤の抽出が不十分で、このため
水とともにオーバーフローされてしまう欠点を有してい
る。
また、この従来法では、水洗分離、された気相乾燥用洗
浄剤中に水洗時の水分が混入されてしまい、この結果沸
点が上昇し、気相乾燥の熱効率を低下させ、しかも、こ
の時気相乾燥用洗浄剤が先に気化し、被洗浄物には水分
の被膜が形成されてしまう欠点をも有している。
浄剤中に水洗時の水分が混入されてしまい、この結果沸
点が上昇し、気相乾燥の熱効率を低下させ、しかも、こ
の時気相乾燥用洗浄剤が先に気化し、被洗浄物には水分
の被膜が形成されてしまう欠点をも有している。
本発明の目的は、前述の欠点を解消しうる水洗分離法及
びその装置を提供することにある。
びその装置を提供することにある。
本発明は、前工程の洗浄剤を付着した被洗浄物を気相乾
燥することによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤を水洗分離する際、前工程の洗浄剤を含
む気相乾燥用洗浄剤に水温Ｏ０Ｃ〜１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０℃の水洗水を接触させることを特徴とする
方法およびその装置である。
燥することによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤を水洗分離する際、前工程の洗浄剤を含
む気相乾燥用洗浄剤に水温Ｏ０Ｃ〜１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０℃の水洗水を接触させることを特徴とする
方法およびその装置である。
さらに、本発明の好ましい具体例は、前工程の洗浄剤を
含む気相乾燥用洗浄剤に水温０°Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°ｃ−ｉｏ℃の水洗水を接触させる工程と水洗分
離された気相乾燥用洗剤相を００Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°Ｃ〜１０℃に冷却する工程を包含している。
含む気相乾燥用洗浄剤に水温０°Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°ｃ−ｉｏ℃の水洗水を接触させる工程と水洗分
離された気相乾燥用洗剤相を００Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°Ｃ〜１０℃に冷却する工程を包含している。
以下、本発明を図面に従って説明する。
第１図は、本発明の代表的な水洗分離装置の断面図を示
す。
す。
第１図において、気相乾燥装置１０で前工程のアルコー
ル洗浄剤を付着した被洗浄物（例えば、前述のレンズや
液晶表示装置に用いるガラス基板など）を気化させたク
ロロジフルオロメタン、ジクロロジフルオロメタン、１
，１．２−）ジクロロ−１，２，２−トリフルオロエタ
ン、トリクレンなどの気相乾燥用洗浄剤の雰囲気に配置
することによって、被洗浄物の洗浄が行なわれる。この
際、気化した気相乾燥用洗浄剤は、被洗浄物の上で凝集
し、そこで前工程のアルコール洗浄剤を溶解し、ついで
気化される。
ル洗浄剤を付着した被洗浄物（例えば、前述のレンズや
液晶表示装置に用いるガラス基板など）を気化させたク
ロロジフルオロメタン、ジクロロジフルオロメタン、１
，１．２−）ジクロロ−１，２，２−トリフルオロエタ
ン、トリクレンなどの気相乾燥用洗浄剤の雰囲気に配置
することによって、被洗浄物の洗浄が行なわれる。この
際、気化した気相乾燥用洗浄剤は、被洗浄物の上で凝集
し、そこで前工程のアルコール洗浄剤を溶解し、ついで
気化される。
気化された前工程のアルコール洗浄剤を含有する気相乾
燥用洗剤は、気相乾燥装置ｌＯの内に配置した冷却器（
図示せず）によって凝縮され、この凝縮液は導管１３に
よって水洗分離装置１のＡ槽に送り込まれる。
燥用洗剤は、気相乾燥装置ｌＯの内に配置した冷却器（
図示せず）によって凝縮され、この凝縮液は導管１３に
よって水洗分離装置１のＡ槽に送り込まれる。
水洗分離装置１のＡ槽とＢ槽は、仕切板１５によって仕
切られており、Ａ槽は導管１３から送られてくる凝縮液
を水洗するためのもので、Ｂ槽は水洗分離された気相乾
燥用洗浄剤６から水分を抽出するだめのものである。
切られており、Ａ槽は導管１３から送られてくる凝縮液
を水洗するためのもので、Ｂ槽は水洗分離された気相乾
燥用洗浄剤６から水分を抽出するだめのものである。
Ａ槽は、冷凍器（図示せず）に連結された冷却管２と水
洗水を噴出しうる透孔４を設けた水洗用シャリ−管３を
配置している。水洗用シャリ−管３は、水洗水が冷却管
２やその近傍に向けて噴出する様に透孔４を配置してお
き、しかも冷却された水洗水が導管１３から送られてく
る凝縮液との接触界面を多くするために微細な例えば０
．５ｍｍ〜２．０ｍｍ好ましくは、０．７ｍｍＮ１．ｏ
ｍｍの直径を有する透孔４を多数設けておくことが有効
である。透孔４から噴出した水洗水は、冷却管２とその
近傍の冷却雰囲気に接して０°Ｃ−１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０°Ｃまでに冷却される。導管１３から送ら
れてくる凝縮液に１７°Ｃ〜２０℃以上の水洗水を接触
させると凝縮液よりアルコールを完全に抽出することが
できず、気相乾燥用洗浄剤がアルコールを含む水洗水と
ともにオーバーフローされてしまう。
洗水を噴出しうる透孔４を設けた水洗用シャリ−管３を
配置している。水洗用シャリ−管３は、水洗水が冷却管
２やその近傍に向けて噴出する様に透孔４を配置してお
き、しかも冷却された水洗水が導管１３から送られてく
る凝縮液との接触界面を多くするために微細な例えば０
．５ｍｍ〜２．０ｍｍ好ましくは、０．７ｍｍＮ１．ｏ
ｍｍの直径を有する透孔４を多数設けておくことが有効
である。透孔４から噴出した水洗水は、冷却管２とその
近傍の冷却雰囲気に接して０°Ｃ−１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０°Ｃまでに冷却される。導管１３から送ら
れてくる凝縮液に１７°Ｃ〜２０℃以上の水洗水を接触
させると凝縮液よりアルコールを完全に抽出することが
できず、気相乾燥用洗浄剤がアルコールを含む水洗水と
ともにオーバーフローされてしまう。
導管１３から送られてくる凝縮液は、一般に毎分当り５
１〜１０１であり、この時水洗用シャリ−管２から噴出
される水洗水は、毎分Ｉｆ〜５１が適当である。導管１
３から送られて（る凝縮液は、冷却管２とその近傍の冷
却雰囲気によって冷却された水洗水と接触して、アルコ
ール洗浄剤を含む水相５と気相乾燥用洗浄剤相６とに分
離され、この分離された気相乾燥用洗浄剤が水に較べて
比重が大きいので、Ａ槽の下部に溜まることができる。
１〜１０１であり、この時水洗用シャリ−管２から噴出
される水洗水は、毎分Ｉｆ〜５１が適当である。導管１
３から送られて（る凝縮液は、冷却管２とその近傍の冷
却雰囲気によって冷却された水洗水と接触して、アルコ
ール洗浄剤を含む水相５と気相乾燥用洗浄剤相６とに分
離され、この分離された気相乾燥用洗浄剤が水に較べて
比重が大きいので、Ａ槽の下部に溜まることができる。
水洗分離装置１の底板１６は、水洗分離された気相乾燥
用洗浄剤相６がＢ槽へ速やかに移動する様に、テーパー
を設けておくことが好適である。この際、仕切板６は、
底板１６との間に間隙をもって配置するか、あるいは適
当な透孔を設けておくことが好ましい。アルコール洗浄
剤を含む水相５は、オーバーフロー口１７より排出させ
て、槽内の水位を一定に保つ様にしておくことができる
。
用洗浄剤相６がＢ槽へ速やかに移動する様に、テーパー
を設けておくことが好適である。この際、仕切板６は、
底板１６との間に間隙をもって配置するか、あるいは適
当な透孔を設けておくことが好ましい。アルコール洗浄
剤を含む水相５は、オーバーフロー口１７より排出させ
て、槽内の水位を一定に保つ様にしておくことができる
。
Ｂ槽には、冷凍器（図示せず）に連結された冷却管７が
仕切板１５と底板１６との間の間隙を通して流下されて
溜まった気相乾燥用洗浄相９の中に配置される様になっ
ている。冷却管７は、気相乾燥用洗浄剤相９をＯ’Ｃ−
１５℃、好ましくは５°Ｃ〜１０℃に冷却することがで
きる。冷却された気相乾燥用洗浄剤相９から残留してい
る水洗水が抽出されて、水相８が形成される。
仕切板１５と底板１６との間の間隙を通して流下されて
溜まった気相乾燥用洗浄相９の中に配置される様になっ
ている。冷却管７は、気相乾燥用洗浄剤相９をＯ’Ｃ−
１５℃、好ましくは５°Ｃ〜１０℃に冷却することがで
きる。冷却された気相乾燥用洗浄剤相９から残留してい
る水洗水が抽出されて、水相８が形成される。
水洗水およびアルコール洗浄剤を除去した気相乾燥用洗
浄剤は、導管１４を通して気相乾燥装置１゜に送られ、
そこで再び気相乾燥に利用される。導管１４には、バル
ブ１１やフィルター１２を設けてお（ことが一層有効で
ある。
浄剤は、導管１４を通して気相乾燥装置１゜に送られ、
そこで再び気相乾燥に利用される。導管１４には、バル
ブ１１やフィルター１２を設けてお（ことが一層有効で
ある。
また、仕切板１５は、Ａ槽とＢ槽を仕切る他に、Ａ槽に
配置した水洗用シャリ−管３よりの噴出水洗水によって
生じる乱流のＢ槽への影響を防止することができる。
配置した水洗用シャリ−管３よりの噴出水洗水によって
生じる乱流のＢ槽への影響を防止することができる。
本発明によれば、第１に水洗水の量が少なくて済み、第
２に水洗時に流出する気相乾燥用洗浄剤の量を最小限に
することができる。さらに第３に水洗水の混入により生
じる気相乾燥用洗浄剤の沸点上昇を有効に防止すること
ができる。
２に水洗時に流出する気相乾燥用洗浄剤の量を最小限に
することができる。さらに第３に水洗水の混入により生
じる気相乾燥用洗浄剤の沸点上昇を有効に防止すること
ができる。
以下、本発明を実施例に従って説明する。
実施例１
第１図に示す水洗分離装置を用いて気相乾燥用洗浄剤を
循環使用した。この際、気相乾燥用洗浄剤としてフレオ
ン２２（米国デュポン社製）を使用した。
循環使用した。この際、気相乾燥用洗浄剤としてフレオ
ン２２（米国デュポン社製）を使用した。
被洗浄物としては、前工程でアルコール洗浄されたレン
ズを用い、上述のフレオン２２によって気相乾燥を施し
、水洗分離装置では毎分２１で水温約２０℃の水洗水を
水洗用シャリ−管３より噴出せしめ、冷却管２および７
にはそれぞれ冷凍器を連結させ、導管１３より送られて
きた凝縮液に水温５°Ｃ〜１０℃までに冷却された水洗
水が接触する様に冷却管２を設定し、さらに気相乾燥用
洗浄剤相９の温度が５°Ｃ〜１０°Ｃとなる様に冷却管
７をセットした。
ズを用い、上述のフレオン２２によって気相乾燥を施し
、水洗分離装置では毎分２１で水温約２０℃の水洗水を
水洗用シャリ−管３より噴出せしめ、冷却管２および７
にはそれぞれ冷凍器を連結させ、導管１３より送られて
きた凝縮液に水温５°Ｃ〜１０℃までに冷却された水洗
水が接触する様に冷却管２を設定し、さらに気相乾燥用
洗浄剤相９の温度が５°Ｃ〜１０°Ｃとなる様に冷却管
７をセットした。
この様にして気相乾燥用洗浄剤を循環使用して、気相乾
燥を繰り返し実施した。この時、水洗分離装置ｌからオ
ーバーフローされた水洗水のフレオン２２の含有量を測
定したところ、フレオン２２の存在は全く確認されなか
った。
燥を繰り返し実施した。この時、水洗分離装置ｌからオ
ーバーフローされた水洗水のフレオン２２の含有量を測
定したところ、フレオン２２の存在は全く確認されなか
った。
従って、本例においてはフレオン２２の補充は全く必要
としなかった。また、水洗分離装置ｌにより再生された
フレオン２２は、繰り返し気相乾燥に適用しても、気相
乾燥に何ら支障は生じないことが判明した。
としなかった。また、水洗分離装置ｌにより再生された
フレオン２２は、繰り返し気相乾燥に適用しても、気相
乾燥に何ら支障は生じないことが判明した。
実施例２
前記実施例１で用いた水洗分離装置を使用した。
但し、Ｂ槽に配置した冷却管７は、冷凍器に連結しなか
った。この水洗分離装置を用いて実施例１と同様の方法
によって気相乾燥および水洗分離を実施した。
った。この水洗分離装置を用いて実施例１と同様の方法
によって気相乾燥および水洗分離を実施した。
コノ結果、オーバーフローされた水洗水には全くフレオ
ン２２の存在は確認されなかった。また、再生されたフ
レオン２２は、沸点上昇を生じていたが、気相乾燥装置
におけるフレオン２２の気化装置の温度を若干上昇させ
た他は、実施例１と同様に実施できた。
ン２２の存在は確認されなかった。また、再生されたフ
レオン２２は、沸点上昇を生じていたが、気相乾燥装置
におけるフレオン２２の気化装置の温度を若干上昇させ
た他は、実施例１と同様に実施できた。
比較例１
前記実施例１で用いた水洗分離装置を使用した。
但し、Ａ槽およびＢ槽に配置した各冷却管２および７は
冷凍器に連結しなかった。この水洗分離装置を用いて実
施例１と同様の方法によって気相乾燥および水洗分離を
実施した。
冷凍器に連結しなかった。この水洗分離装置を用いて実
施例１と同様の方法によって気相乾燥および水洗分離を
実施した。
この結果、オーバーフローされた水洗水には１５重量％
のフレオン２２の存在が確認された。従って、本比較例
では繰り返し使用においてフレオン２２の減少量を逐次
補充する必要があった。また、気相乾燥装置においては
、フレオン２２が気化された後の被洗浄物には、水分の
被膜が形成されていて好ましいものではなかった。
のフレオン２２の存在が確認された。従って、本比較例
では繰り返し使用においてフレオン２２の減少量を逐次
補充する必要があった。また、気相乾燥装置においては
、フレオン２２が気化された後の被洗浄物には、水分の
被膜が形成されていて好ましいものではなかった。
実施例３
前記実施例１で使用したフレオン２２に代えてフレオン
１２（米国デュポン社製）を使用した他は、同様の方法
で気相乾燥および水洗分離を繰り返し実施したが、実施
例１と全く同様の結果が得られた。
１２（米国デュポン社製）を使用した他は、同様の方法
で気相乾燥および水洗分離を繰り返し実施したが、実施
例１と全く同様の結果が得られた。
前記実施例１〜３より明らかな様に、本発明の方法およ
び装置を用いることによって、気相乾燥用洗浄剤の補充
が全く不必要で、好ましくは気相乾燥における熱効率の
低下を有効に防止することができる。
び装置を用いることによって、気相乾燥用洗浄剤の補充
が全く不必要で、好ましくは気相乾燥における熱効率の
低下を有効に防止することができる。
第１図は本発明の水洗分離装置の断面図である。
１・・・・・・水洗分離装置、
２・・・・・・冷却管、
３・・・・・・ 水洗用シャリ−管、
４・・・・・・ 透孔、
５．８・・・・ 水相、
６．９・・・・ 気相乾燥用洗浄剤相、７・・・・・・
冷却管、 １０・・・・・・気相乾燥装置、 １１・φや・・・バルブ、 １２・・・・・・ フィルター、 １３・・・・・・導管、 １４・・・・・・導管、 １５・・・・・・仕切板、 １６・・・・・・底板、 １７・・・・・・オーバーフロー口。
冷却管、 １０・・・・・・気相乾燥装置、 １１・φや・・・バルブ、 １２・・・・・・ フィルター、 １３・・・・・・導管、 １４・・・・・・導管、 １５・・・・・・仕切板、 １６・・・・・・底板、 １７・・・・・・オーバーフロー口。
Claims (2)
- （１）前工程の洗浄剤を付着した被洗浄物を気相乾燥す
ることによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気相乾
燥用洗浄剤に水洗水を噴射する水洗用シヤリー管と上記
水洗用シヤリー管から噴出される水洗水を冷却する冷却
装置若しくは管を少なくとも配置したことを特徴とする
水洗分離装置。 - （２）前工程の洗浄剤を付着した被洗浄物を気相乾燥す
ることによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気相乾
燥用洗浄剤に水洗水を噴射する水洗用シヤリー管、上記
水洗用シヤリー管から噴出される水洗水を冷却する冷却
装置若しくは管と水洗分離された気相乾燥用洗浄剤相を
冷却する冷却装置若しくは管を少なくとも配置したこと
を特徴とする水洗分離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13143286A JPS6287203A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 気相乾燥用洗浄剤の水洗分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13143286A JPS6287203A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 気相乾燥用洗浄剤の水洗分離装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16600280A Division JPS5791705A (en) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Method and apparatus for water-washing and separating vapor phase dry cleaning agent |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287203A true JPS6287203A (ja) | 1987-04-21 |
| JPS6241762B2 JPS6241762B2 (ja) | 1987-09-04 |
Family
ID=15057821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13143286A Granted JPS6287203A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 気相乾燥用洗浄剤の水洗分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6287203A (ja) |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP13143286A patent/JPS6287203A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6241762B2 (ja) | 1987-09-04 |
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