JPS628764B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS628764B2 JPS628764B2 JP3604682A JP3604682A JPS628764B2 JP S628764 B2 JPS628764 B2 JP S628764B2 JP 3604682 A JP3604682 A JP 3604682A JP 3604682 A JP3604682 A JP 3604682A JP S628764 B2 JPS628764 B2 JP S628764B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- laminated piezoelectric
- fabry
- electrode
- optical modulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフアブリペロ型光学変調器に関するも
のである。
のである。
一般にフアブリペロ型光学変調器は、第１図
ａ，ｂに示すように、２枚の透明平板１，２のう
ち１枚の平板２を積層圧電素子３で３点保持し、
面間隔をその積層圧電素子３の厚さ変動で変調す
る構成になつている。ここで、４は保持台、５は
電源である。しかしこの構造では、各積層圧電素
子３からの３組のリード線を引きまわす必要があ
り、また平板１，２は平行平面を形成するため、
直径の1/6以上の厚さが必要になる。
ａ，ｂに示すように、２枚の透明平板１，２のう
ち１枚の平板２を積層圧電素子３で３点保持し、
面間隔をその積層圧電素子３の厚さ変動で変調す
る構成になつている。ここで、４は保持台、５は
電源である。しかしこの構造では、各積層圧電素
子３からの３組のリード線を引きまわす必要があ
り、また平板１，２は平行平面を形成するため、
直径の1/6以上の厚さが必要になる。
本発明はこのような欠点を解消するためになさ
れたもので、積層圧電素子を環状にし、透明平板
の周縁すべてを固定するようにして、リード線の
数を減らすとともに、透明平板の厚さも薄くして
重量、寸法を小さくすることが可能なフアブリペ
ロ型光学変調器を提供するものである。
れたもので、積層圧電素子を環状にし、透明平板
の周縁すべてを固定するようにして、リード線の
数を減らすとともに、透明平板の厚さも薄くして
重量、寸法を小さくすることが可能なフアブリペ
ロ型光学変調器を提供するものである。
以下図面を用いてその一実施例を詳細に説明す
る。第２図は本発明によるフアブリペロ型光変調
器の一実施例を示す。図において１１，１２は透
明平板で、各々その周縁部においてリング状の積
層圧電素子１３，１４により保持台１５に固定さ
れる。２つのリング状積層圧電素子１３，１４は
互いに電気的に接続され、各々電源１６に接続さ
れる。各リング状積層圧電素子１３，１４への通
電は通電時に互いに反対方向に同期して変動する
ように加えられる。したがつて平行面間隔は各平
面の変位の和になり、変調度は、同一印加電圧、
同一積層枚数であれば当然大きくなる。又周囲温
度変化による圧電素子１３，１４の厚さ変動によ
る誤差は両平板１１，１２とも同じような積層圧
電素子１３，１４にマウントされているので、互
に相殺され、両者のバランスをとることにより、
ほゞ温度による誤差をゼロに近づけることが可能
である。
る。第２図は本発明によるフアブリペロ型光変調
器の一実施例を示す。図において１１，１２は透
明平板で、各々その周縁部においてリング状の積
層圧電素子１３，１４により保持台１５に固定さ
れる。２つのリング状積層圧電素子１３，１４は
互いに電気的に接続され、各々電源１６に接続さ
れる。各リング状積層圧電素子１３，１４への通
電は通電時に互いに反対方向に同期して変動する
ように加えられる。したがつて平行面間隔は各平
面の変位の和になり、変調度は、同一印加電圧、
同一積層枚数であれば当然大きくなる。又周囲温
度変化による圧電素子１３，１４の厚さ変動によ
る誤差は両平板１１，１２とも同じような積層圧
電素子１３，１４にマウントされているので、互
に相殺され、両者のバランスをとることにより、
ほゞ温度による誤差をゼロに近づけることが可能
である。
第３図は積層圧電素子１３，１４を構成する一
枚のリング状圧電素子の電極構造を示す図で、
ａ，ｂは各々表裏面に相当する。図において、２
１はリング状圧電材料、２２は表面電極、２３は
裏面電極である。各電極２２，２３はリング状圧
電材料２１の表裏面にほぼ全面に形成され、一部
に切欠部２４，２５が形成され、この切欠部の側
面には反対側の電極が延長している。電極２２，
２３は蒸着、メツキその他種々の方法で形成可能
である。
枚のリング状圧電素子の電極構造を示す図で、
ａ，ｂは各々表裏面に相当する。図において、２
１はリング状圧電材料、２２は表面電極、２３は
裏面電極である。各電極２２，２３はリング状圧
電材料２１の表裏面にほぼ全面に形成され、一部
に切欠部２４，２５が形成され、この切欠部の側
面には反対側の電極が延長している。電極２２，
２３は蒸着、メツキその他種々の方法で形成可能
である。
このように圧電材料２１の表裏両面に電極２
２，２３を形成したリング状の圧電素子を第４図
に示すように多数積層して積層圧電素子を構成す
る。Ａは接着前の状態、Ｂは接着した状態を示
す。第４図の各圧電素子は第３図のＸ−X′線断
面から見た図である。重ね合わせは接着剤で行な
い、両側面に出ている電極を一括してリードに電
気的接続を行なう。電気的接続の様子は第５図に
示す通りになる。必要であれば側面電極の電気的
接続は側面に導電性接着剤を塗布して実現するこ
ともできる。
２，２３を形成したリング状の圧電素子を第４図
に示すように多数積層して積層圧電素子を構成す
る。Ａは接着前の状態、Ｂは接着した状態を示
す。第４図の各圧電素子は第３図のＸ−X′線断
面から見た図である。重ね合わせは接着剤で行な
い、両側面に出ている電極を一括してリードに電
気的接続を行なう。電気的接続の様子は第５図に
示す通りになる。必要であれば側面電極の電気的
接続は側面に導電性接着剤を塗布して実現するこ
ともできる。
第５図に示すように、各圧電素子を交互に重ね
合わせ、各々の圧電素子１枚毎に並列に電圧を印
加することにより各層が同時に厚さが縮むか増大
するように動作する。しかも、このように薄い圧
電素子を重ね合せることにより、低い電圧で素子
を動作させることができる。したがつて、この積
層圧電素子を第２図に示すように２つの透明平板
１１，１２に対して互いに逆方向に接続すれば、
平板１１，１２は互いに逆方向に移動する。
合わせ、各々の圧電素子１枚毎に並列に電圧を印
加することにより各層が同時に厚さが縮むか増大
するように動作する。しかも、このように薄い圧
電素子を重ね合せることにより、低い電圧で素子
を動作させることができる。したがつて、この積
層圧電素子を第２図に示すように２つの透明平板
１１，１２に対して互いに逆方向に接続すれば、
平板１１，１２は互いに逆方向に移動する。
ところで、この積層圧電素子の製法において、
各電圧ウエハが薄い場合、例えば0.1mm程度の場
合環状に打ち抜いたものを重ね合わせるのは、か
なり困難である。その場合、円板状のウエハの周
辺部に第３図に示すようにリング状の形状に電極
を形成し、しかるのち接着剤で重ね合わせて、積
層状態を実現したあと、環状に打ち抜くことによ
り容易に、環状積層圧電素子を製造できる。
各電圧ウエハが薄い場合、例えば0.1mm程度の場
合環状に打ち抜いたものを重ね合わせるのは、か
なり困難である。その場合、円板状のウエハの周
辺部に第３図に示すようにリング状の形状に電極
を形成し、しかるのち接着剤で重ね合わせて、積
層状態を実現したあと、環状に打ち抜くことによ
り容易に、環状積層圧電素子を製造できる。
上記構成の本発明においては、電極からのリー
ド線の数を減らすことができ、かつ平板を周縁全
て固定しているので、平板の厚さが1/12程度でも
平行度（λ／100；λは対象とする光の波長）を
達成することができ、従来の約1/2の厚さの平板
ですむので、重量、寸法各々約２割〜３割削減で
きることになる。
ド線の数を減らすことができ、かつ平板を周縁全
て固定しているので、平板の厚さが1/12程度でも
平行度（λ／100；λは対象とする光の波長）を
達成することができ、従来の約1/2の厚さの平板
ですむので、重量、寸法各々約２割〜３割削減で
きることになる。
この効果は、遠赤外領域では更に吸収による光
損失の軽減、高価な光学材料の節約につながり、
本発明の効果は更に大きくなる。
損失の軽減、高価な光学材料の節約につながり、
本発明の効果は更に大きくなる。
以上のように、本発明は同心円状に配置された
環状積層圧電素子の各々に透明平板を保持固定さ
せ、両平板のなす平行面間隔を変調するようにし
たフアブリペロ型光学変調器であり、従来型にく
らべ、リードの本数が少くてすみ、重量、寸法が
削減でき、温度変化による誤差が少く、かつ、赤
外領域で使用する場合高価な光学材料が節約でき
吸収による光学損失も少ないという優位性を有す
る。
環状積層圧電素子の各々に透明平板を保持固定さ
せ、両平板のなす平行面間隔を変調するようにし
たフアブリペロ型光学変調器であり、従来型にく
らべ、リードの本数が少くてすみ、重量、寸法が
削減でき、温度変化による誤差が少く、かつ、赤
外領域で使用する場合高価な光学材料が節約でき
吸収による光学損失も少ないという優位性を有す
る。
第１図ａ，ｂは従来のフアブリペロ型光変調器
の断面側面図および平面図、第２図ａ，ｂは本発
明の一実施例におけるフアブリペロ型光変調器の
断面側面図および平面図、第３図ａ，ｂは本発明
に使用される圧電素子の平面図および底面図、第
４図ａ，ｂは本発明に使用される積層圧電素子の
製造方法を説明する断面図、第５図は本発明に使
用される積層圧電素子の電気的結線図である。 １１，１２……透明平板、１３，１４……積層
圧電素子、１５……保持台、１６……電源、２１
……圧電材料、２２，２３……電極、２４，２５
……切欠。
の断面側面図および平面図、第２図ａ，ｂは本発
明の一実施例におけるフアブリペロ型光変調器の
断面側面図および平面図、第３図ａ，ｂは本発明
に使用される圧電素子の平面図および底面図、第
４図ａ，ｂは本発明に使用される積層圧電素子の
製造方法を説明する断面図、第５図は本発明に使
用される積層圧電素子の電気的結線図である。 １１，１２……透明平板、１３，１４……積層
圧電素子、１５……保持台、１６……電源、２１
……圧電材料、２２，２３……電極、２４，２５
……切欠。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ２枚の透明な平板の各周縁部を環状積層圧電
素子で保持し、各環状積層圧電素子を同必円状に
配置させたことを特徴とするフアブリペロ型光学
変調器。 ２ 各環状積層圧電素子を互に反対方向に同期し
て振動するよう通電させた特許請求の範囲第１項
記載のフアブリペロ型光学変調器。 ３ 環状積層圧電素子を構成する一枚の圧電素子
は、環状の圧電材料の一方の面に形成された第１
の電極と、他方の面に形成された第２の電極とを
有し、第１の電極および第２の電極の一部は前記
圧電材料の側面に延びており、この側面に延びた
電極部分よりリードをとり出すことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のフアブリペロ型光学
変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57036046A JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57036046A JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58152201A JPS58152201A (ja) | 1983-09-09 |
| JPS628764B2 true JPS628764B2 (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=12458764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57036046A Granted JPS58152201A (ja) | 1982-03-08 | 1982-03-08 | フアブリペロ型光学変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58152201A (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04116878A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-17 | Ricoh Co Ltd | ヒータ付半導体レーザ素子 |
| JPH0786829A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | Nec Corp | 反射鏡アンテナ |
| US7324148B2 (en) | 2002-04-26 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit used therefor having a sealing structure between a dust proofing member and an image pick up device |
| US7324149B2 (en) | 2002-05-20 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| JP2003348462A (ja) | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | カメラ及び撮像素子ユニット |
| JP2004064554A (ja) | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Olympus Corp | カメラ及びこれに用いる撮像素子ユニット |
| JP4296974B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2009-07-15 | 株式会社村田製作所 | ファブリペロー型波長可変フィルタおよび多チャンネルファブリペロー型波長可変フィルタ |
| JP5123492B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2013-01-23 | オリンパス株式会社 | 分光画像観察用光学装置 |
| NO336140B1 (no) * | 2009-09-18 | 2015-05-26 | Sintef | Aktuator for mikro optisk enhet |
| CN109884837A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-06-14 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 光波滤波器 |
| CN110032020A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-19 | 昆山锐芯微电子有限公司 | 温度自适应的稳频光波滤波器及其工作方法 |
-
1982
- 1982-03-08 JP JP57036046A patent/JPS58152201A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58152201A (ja) | 1983-09-09 |
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