JPS6288250A - イオン収集装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は支量−分析器等のイオンの収集に関する装置で
ある。

（従来の技術） 従来の技術としては、２枚の電極板のうち、一方に穴を
あけておき、電極板間に電圧をかけ、イオンに速度を与
えて、前記の穴を通過させる方法を用いていた。

（発明が解決しようとする問題点） 従来の装置では、２枚の電極板間の電界は一様であった
ため、発生したイオンのうち電極板の穴を通過しないで
、電極板に直接衝突するものかあるという問題点があっ
た。

（問題点を解決するための手段） 上記の問題点を解決するため、複数本の電極棒から成る
カソードと、それらとアノ−どの間の電圧とを独立に制
御する装置とを設けて電極板間の電界を制御して、発生
したイオンを効率よく収集することにした。

（作用） 電極棒とイオン発生の電極板との間の電圧を制御装置で
独立に制御できるようになっているため、電極板間の電
界を自由に制御でき、イオンの進行方向を穴に集中する
作用をもっている。

（実施例） 本発明のイオン収集装置の実施例を第１図（側面図）に
示して説明する。

制御用電極棒１に取出したいイオンと同種の電圧（＋ま
たは−）をかけ、イオンの進行方向を穴付′Ｅｉ極板３
の穴に集中させる。その際に各電極棒にか−る電圧を制
御装置２で少しずつ変えてやり、穴に対する微妙なズレ
を補正してやる。

なお、４は電極、４、ジーである。第２図はイオン通過
穴と電極棒を正面から見た図である。

（発明の効果） 発生したイオンの多くを穴を通過させることができるた
め、質量分析装置の感度が高まり、また装置自体の汚染
が少なくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明のイオン収集装置の説明図で、
それぞれ側面図、イオン通過穴と電極棒を正面から見た
図である。 １・・・制御用電極棒、２・・・制御装置、３・・・電
極板（穴付）、４・・・電極板。 第１図 ４電務抜 才２０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、複数本の電極棒から成るカソードと、それらとアノ
   ード間の電圧とを独立に制御する装置とから成ることを
   特徴とするイオン収集装置。