JPS6291874A - 磁気デイスクの平坦性検査方法

Info

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔概要〕磁気ディスクの検査の一環として実施する平坦性検査方
法であって、全トラックに一定周期の磁化反転信号を書
き込み、その読取り出力の変動によって可否を判定する
ことにより、検査能率の向ヒを図ったもの。

〔産業上の利用分野〕

本発明は磁気ディスクの検査方法、特にその平坦性の検
査方法に関するものである。

磁気ディスクは１通常、精密研削によって仕１−げた軽
合金円盤の表面に、スピンコーティング等の方法によっ
て、＆Ｐｔ性酸化鉄粉等の磁気記録膜を約１ミクロンの
厚さに塗布し、そのあとラッピングによって仕、ヒげら
れる。

しかし、スピンコーティングを施した磁気記録ＷＭＢ％
表面には、同心円状の凹凸あるいは半ｉ％方向のうねり
が生ずることがあり、ラッピングを施しても完全に取り
除くことは困難である。

このような凹凸があると、磁気ヘッドと磁気ディスクと
の接触による損傷、あるいは読取りデータの誤り等が発
生ずる恐れがある。

このため、磁気ディスク装置への組込みに先立って、そ
の平坦性あるいは粗さの検査を実施しているが、この際
、検査が確実かつ能率的に行われることが望ましい。

〔従来の技術〕

磁気ディスクの平坦性の検査は、従来、触針法あるいは
音響検出法等によって実施していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記方法のうち、触針法は、触針によって磁気ディスク
面をトレースし２機械的に凹凸の高さを測定するもので
ある。このため、全面を検査する抜取検査によって行わ
ざるを得ないという問題点がある。

また音響検出法は、磁気ヘッドに代わりに検査用のへラ
ドを用い、これと磁気ディスク面上の凸部との接触によ
衝撃音を検出するものであるが。

たとえば四部を検出することができないという問題点が
ある。

本発明は、全数検査が可能であり、確実かつ能率的な検
査方法を提案することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明の原理図であり。

１は、検査対象の磁気ディスクの全トラックに対し、検
査信号として一定周期の磁化反転信号を書き込むための
書込み工程。

２は、書込み工程ｌによって検査信号を書き込まれた磁
気ディスクから、トラック毎の平均読取り出力を、トラ
ック単位に連続して測定する測定工程。

３は、測定工程２によって得られた平均読取り出力のト
ラック単位の変化特性を、正常な磁気ディスクから予め
測定した基準の変化特性と照合することによって、検査
対象磁気ディスクの良否を判定する判定工程である。

〔作用〕

前述のように、磁気ディスクの凹凸は同心円状に生じ易
いことに着目し、トラック毎の平均の読取り出力の半径
方向の変化特性によって、これを。

凹凸のない磁気ディスクから予め求めた変化特性と比較
することによって、検査対象磁気ディスク可否を判定す
るものである。

第２図（ａ）および（ｂｌは、それぞれ、測定工程２に
よって得られたトラック毎の平均読取り出力のトラック
単位の変化特性の例、および、凹凸のない正常な磁気デ
ィスクから予め測定した基準の変化特性を示す図であり
、縦軸は読取り出力（ｍＶｐｐ）　。

横軸はトラック番号である。

たとえば半径方向に０．２ミクロンの凹凸がある場合に
は、その前後で約０．５ｍＶｐｐの出力の変動が生ずる
ので、これを測定することによって凹凸の量を推定する
ものである。

〔実施例〕

磁気ディスクを磁気ディスク装置に組み込んだ状態で１
次ぎに述べる手順によって１面ずつ検査をおこなう。

１、書込み工程ｌでは１通常と同様な書込み動作によっ
て、ｆＩｉ＋気ディ大デイスクラックに対し８メガヘル
ツの周期の磁化反転信号を書き込む。

ｉｉ　、測定工程２では１通常の読取り動作と同様な手
順によって、磁気ヘッドをインナートラックからアウタ
トラックにステップ送りしながら、トラック毎の平均読
取り出力を測定し、　ＸＹレコーダに横軸をトラック番
号とし縦軸を出力として記録する。

なお、　ＸＹレコーダの記録用紙として、第３図に示す
ように、正常な磁気ディスクから予め測定した基準の変
化特性（実線）と、その許容上限値および許容下限値（
点線）とを印刷したものを使用して記録する（第３図参
照）。

ｉｉｉ　、判定工程では、ｘＹレコーダによって記録用
紙に記録された変化特性を、予め記録用紙−トに印刷し
である許容上限値あるいは許容下限値と比較し、目視に
よって合否を判定する。

上記実施例では、測定装置としてＸＹレコーダを用いる
だけであり、特殊な装置を使用する必要がない。

その他、測定工程によって得られた変化特性と予め準備
した基準の変化特性とを１画像処理技術によって照合す
ることによって２合否の判定を自動的に行うこともでき
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように９本発明によれば、磁気ディスクの
平坦性が許容限界を越えるか否かの検査を、全数検査に
よって確実かつ能率的に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図。第２図は作用の説明図。第３図は実施例の説明図である。図中。ｌは書込み工程、　　　２は測定工程。