JPS629325Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、ウエハの処理に用いる反応管（石
英管）の取付装置に関するもので、更に述べる
と、鍔のないプラズマ処理用石英管などの取付装
置に関するものである。

従来の技術 一般にウエハのプラズマ処理は、第２図の様に
支柱１〜３により軸方向に支持された石英管４
に、図示しないウエハを挿入し、蓋５により石英
管４を密閉した後に、プラズマ放電を行いウエハ
を処理するものであるが、この処理においては、
石英管４が完全にシールされることが重要であ
る。

そこで、従来、第３図の様に石英管４の開口部
４ａに鍔６を設け、この鍔６をシリコンゴムなど
のシールリング７で覆い、シール効果の向上を図
るものがある。

考案が解決しようとする問題点 しかし、従来例では、石英管４を取りつけた
り、又は、取り外したりする場合、鍔６が邪魔に
なり、その作業に多くの時間を必要とする。その
上、地盤変化などにより支柱１〜３の位置が変化
すると、石英管４の開口部４ａと蓋５との間に隙
間が発生し、大気が石英管内に侵入するおそれが
ある。又、鍔付石英管は、コストが高いという問
題もある。

本考案は、上記の点に鑑み、反応管の取付又
は、取外しを容易に行うことを目的とする。

他の目的は、シール性の良い反応管の取付装置
を提供することである。

問題点を解決するための手段 本考案は、反応管のリング状枠体に、反応管の
直筒端部を遊嵌合し、前記反応管とリング状枠体
との間に、第１弾性リングと第２弾性リングで挾
んだＯリングを設け、該リング状枠体に前記第２
弾性リングを調整ねじで圧着したことを特徴とす
る反応管の取付装置である。

作 用 本考案は、反応管の直筒端部とリング状枠体と
の間に第１弾性リング、Ｏリング、第２弾性リン
グを順次配設してシールし、かつ第２弾性リング
を調整ねじでリング状枠体に圧着し、Ｏリングを
押圧し、変形させて完全なシールを行う。又、弾
性リングおよびＯリングを取り外して反応管を軸
方向に移動させ、端部が直筒である反応管をリン
グ状枠体に出し入れして交換する。

実施例 本考案の実施例を添附図面について説明する。

第１図において４は、反応管例えば石英管で、
その端部４ｂは、鍔を有しない直筒端部である。

８は、反応管４の直筒端部４ｂの外周に設けた
リング状枠体で、リング状枠体８と直筒端部４ｂ
との隙間には、テフロン製の第１弾性リング９と
第２弾性リング１０が、Ｏリング１１を挾むよう
に配設され、第２弾性リング１０の後端には、リ
ング押圧板１２が固定されている。このリング押
圧板１２は調整ねじ１３を介して、間隔ｌをおい
てリング状枠体８に連結されている。

なお、図において１４は、蓋用Ｏリングであ
る。

次に、本実施例の作動につき説明する。

ねじ１３を回転させて、リング押え板１２を矢
印Ａ１３方向に移動させ、間隔ｌを縮少せしめる
と、第２弾性リング１０は、リング押え板１２に
押されて、同方向に移動し、Ｏリング１１を押圧
する。この時、Ｏリング１１は、断面円形から
略々断面四角形に変形し、石英管の直筒端部４ｂ
とリング状枠体８との間を完全にシールする。

リング９，１０，１１は、弾性体で変形するの
で、例えば石英管４が、地盤変化などにより矢印
Ａ４方向に移動して石英管の中心線が変化して
も、それに応じて、リングも変形する。従つて、
石英管４に無理な力が加わることなく、気密が保
持される。

又、石英管４を矢印Ａ４ａ方向に移動してリン
グ状枠体８から取り外す場合、ねじ１３を操作し
て第２弾性リング１０を矢印Ａ１３方向と逆方向
に移動させ、石英管４を矢印Ａ４ａ方向に引くと
簡単に抜ける。

リング状枠体８に石英管４を取り付ける場合
は、前記と逆の操作を行なえばよい。

考案の効果 本考案は、反応管のリング状枠体に反応管の直
筒端部を遊嵌合したので、従来例のような鍔の付
いた反応管と比較し、反応管の取付け又は取外し
作業が容易であり、作業時間の短縮を図ることが
できる。

又、本考案は、反応管とリング状枠体との間に
第１弾性リングと第２弾性リングで挾んだＯリン
グを設け、該リング状枠体に前記第２弾性リング
を調整ねじで圧着したので、第２弾性リングはＯ
リングを押圧し、半径方向に変形させ、反応管と
リング状枠体間との間隙を完全にシールせしめ
る。

従つて、蓋をして、反応管を密閉した場合、反
応管内を一定の真空度に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す要部縦断面
図、第２図は、反応管の取付状態を示す図で、断
面部は第１図に相当する部分である。第３図は、
従来例を示す一部断面図である。 ４……反応管、８……リング状枠体、９，１０
……弾性リング、１１……Ｏリング、１３……調
整ねじ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 反応管のリング状枠体に反応管の直筒端部を遊
   嵌合し、前記反応管とリング状枠体との間に第１
   弾性リングと第２弾性リングで挾んだＯリングを
   設け、該リング状枠体に前記第２弾性リングを調
   整ねじで圧着したことを特徴とする反応管の取付
   装置。