JPH08979Y2 - 反応管の保持装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造装置などに用いられる反応管
の保持装置に関するものである。

従来の技術 半導体製造装置の反応管は、パッキンを介してスカベ
ンジャ（マニホルド）に接続されているが、この反応管
は、石英ガラスなどの脆い材料で形成されているので、
支持台に強固に固定すると破損してしまう。

そこで、上記事故を防止するため、従来、第５図に示
すような反応管の保持装置が用いられている。

即ち、反応管１の接続部1aにＯリング２を嵌着し、該Ｏ
リング２に袋ナット３を被せ、該袋ナット３を金属製マ
ニホルド４の端部4aの外周面に螺合して前記Ｏリング２
を押圧し、このＯリング２の摩擦力により反応管１の矢
印A1方向への移動を防止している。なお、図において、
６は、反応管１の支持台、７は、マニホルド４の支持
台、８は排気パイプ９に設けた圧力センサである。

考案が解決しようとする問題点 従来例の反応官の保持装置では、排気パイプ９の詰ま
りや圧力センサの故障等により反応管１内の圧力が、所
定圧を越えると、反応管１はＯリングの摩擦力に抗して
矢印A1方向に移動し反応管１とマニホルド４との間に隙
間が生じ段差ができる。

また、更に反応管内の圧力が大きくなると、反応管１
が袋ナット３から飛び出して破損してしまう。

この考案は、上記事情に鑑み反応管の軸方向への移動
を防止することを目的にする。

問題点を解決するための手段 この考案は、石英管などの脆い材料で形成された反応
管と、該反応管の接続部が挿入されたマニホルドの端部
と、該反応管の接続部の外周面とマニホルドの端部内面
との間に挿着されたＯリングと、該反応管の接続部に嵌
着され、前記Ｏリングを押圧しながらマニホルドの端部
の外周面に螺合する袋ナットと、を備えた反応管の保持
装置において；前記反応管の接続部端面とマニホルドと
の間にパッキンが設けられ、前記マニホルドに挿入され
ている反応管の接続部の外周面に突部が設けられ、前記
Ｏリングの両側にカラーが配設されていることを特徴と
する反応管の保持装置である。

作用 反応管内が異常高圧となると、反応管は軸方向に移動
せんとするが、反応管の接続部の突部が袋ナットにより
固定されているので、反応管は移動しない。

実施例 この考案の実施例を添付図面により説明すると第１図
において、10は、支持台（図示せず）に載置した石英反
応管で、この反応管の接続部11の端部に鍔状突部12が形
成されている。

石英反応管10は、パッキン13を介してマニホルド14に
直列に接続されている。

このパッキン13は、テフロンなどの合成樹脂により形成
され、シール材および緩衝材としての機能を有する。

マニホルド14は、ステンレス等の金属で形成されてお
り、支持台（図示せず）に強固に固定されている。

このマニホルド14の端部15の外周面には、ねじ部16が
形成されている。

反応管の接続部11とマニホルドの端部15の外周面との間
には、順次第１カラー17、Ｏリング18、第２カラー19が
設けられている。

袋ナット20は、反応管の接続部11に遊嵌合され、その
底部21は、第１カラー17を押圧し、また、そのねじ部22
は、マニホルドの端部15のねじ部16と螺合する。

次に、この実施例の作動について説明すると、石英反
応管10の接続部11に袋ナツト20を嵌合して20Aの状態に
した後該ナット20を所定方向に回転して第１カラ17を底
部21で押圧し、Ｏリング18をつぶしながら袋ナット20を
20Bの状態にする。

反応管内が異常高圧になると、反応管10は軸方向、即
ち、矢印A10方向に移動せんとするが、突部12が第１カ
ラー17、Ｏリング18、第２カラー19を介して袋ナットの
底部21に固定されているので、反応管10の同方向への移
動は阻止される。

この考案の実施例は、上記に限定されるものではな
く、例えば、第２図〜第４図に示すように実施しても良
い。

以下、これらの実施例につき説明するが、第１図と同
一図面符号はその名称も機能も同一である。

第２図に示す実施例は、パッキン13と第３カラー24と
の間にもＯリング23を設けシール性の向上が図られてい
る点、及び突部12が反応管10の接続部11の中央部に設け
られている点で第１図の実施例と異なる。

第３図に示す実施例は、突部12が石英反応管10の接続
部11の中央部に設けられている点で第１図の実施例と異
なる。

第４図に示す実施例は、パッキン13の外周にもＯリン
グ41を嵌合しシール性の向上を図っている点で第１図の
実施例と異なる。

考案の効果 この考案は、以上のように反応管の接続部の外周面に
突部を形成したので、反応管内が異常高圧となり反応管
が軸方向に移動せんとしても、袋ナットにより突部が固
定されている為その移動は、阻止される。

従って、従来例のように反応管とマニホルドとの間で
段差が生じたり、更には、反応管が飛び出したりする事
故を防止できる。

又、反応管の接続部端面とマニホルドとの間にパッキ
ンが設けられ、前記マニホルドに挿入されている反応管
の接続部の外周面に突部が設けられ、前記Ｏリングの両
側にカラーが配設されているので、反応管の内圧変化に
より、接続部に軸方向の変位力が加わっても、その力は
パッキンや両側をカラーにより挟まれているＯリングに
より吸収されるので、突部や接続部端面に大きな力が加
わることはない。従って、石英ガラス等で形成されてい
る石英管の接続部の破損事故を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の実施例を示す縦断面図、第２図〜
第４図は、各々他の実施例を示す縦断面図、第５図は、
従来例を示す一部断面正面図である。 11……石英反応管の接続部 12……突部 15……マニホルドの端部 18……Ｏリング 20……袋ナット

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】石英管などの脆い材料で形成された反応管
   と、該反応管の接続部が挿入されたマニホルドの端部
   と、該反応管の接続部の外周面とマニホルドの端部内面
   との間に挿着されたＯリングと、該反応管の接続部に嵌
   着され、前記Ｏリングを押圧しながらマニホルドの端部
   の外周面に螺合する袋ナットと、を備えた反応管の保持
   装置において； 前記反応管の接続部端面とマニホルドとの間にパッキン
   が設けられ、前記マニホルドに挿入されている反応管の
   接続部の外周面に突部が設けられ、前記Ｏリングの両側
   にカラーが配設されていることを特徴とする反応管の保
   持装置。
2. 【請求項２】突部が、鍔状であることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の反応管の保持装置。
3. 【請求項３】突部が、接続部の端部に形成されているこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の反
   応管の保持装置。
4. 【請求項４】突部が、接続部の中央部に形成されている
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   反応管の保持装置。