JPS6293371A - 連続材料の真空処理装置 - Google Patents
連続材料の真空処理装置Info
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- JPS6293371A JPS6293371A JP23249185A JP23249185A JPS6293371A JP S6293371 A JPS6293371 A JP S6293371A JP 23249185 A JP23249185 A JP 23249185A JP 23249185 A JP23249185 A JP 23249185A JP S6293371 A JPS6293371 A JP S6293371A
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- Japan
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- vacuum
- chambers
- chamber
- gas
- vacuum treatment
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、帯領、線材などの連続材料を真空処理室に
導入して、真空蒸着或は真空熱処理等を施す真空処理装
置に関するものである。
導入して、真空蒸着或は真空熱処理等を施す真空処理装
置に関するものである。
（従来の技術）
従来、帯鋼、線材などの連続材料を真空処理する装置と
しては、特公昭５５−１９３１４の如く帯鋼、線材をコ
イル状に巻いて、真空槽内に設置し、巻戻し乍ら真空処
理室に導き、真空処理したあとは再び真空槽内でコイル
状に巻取る装置や、真空処置室の前後に予備真空室を数
個備え各室の壁には巻戻した連続材料を通過させるため
のスリブ）ｆ設は所定の真空度を得る差圧排気法を採用
した装置などがある。また、特公昭４７−１８６４６の
如く、スリットよシの空気洩れを防ぐ意味でシール装置
として液体を充満させた装置などがあった。
しては、特公昭５５−１９３１４の如く帯鋼、線材をコ
イル状に巻いて、真空槽内に設置し、巻戻し乍ら真空処
理室に導き、真空処理したあとは再び真空槽内でコイル
状に巻取る装置や、真空処置室の前後に予備真空室を数
個備え各室の壁には巻戻した連続材料を通過させるため
のスリブ）ｆ設は所定の真空度を得る差圧排気法を採用
した装置などがある。また、特公昭４７−１８６４６の
如く、スリットよシの空気洩れを防ぐ意味でシール装置
として液体を充満させた装置などがあった。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、真空槽内で巻戻し、巻取る方式の装置では、真
空槽内に巻戻しコイルおよび巻取コイルを設置するため
、真空槽は大型となる許シでなく、次のコイルを入れる
ために真空槽を開かねばならない。そのため真空処理室
の真空度も完全になくなシ能率低下はまぬがれない。ま
た真空ポンプなども非常に大型のものを必要とする。
空槽内に巻戻しコイルおよび巻取コイルを設置するため
、真空槽は大型となる許シでなく、次のコイルを入れる
ために真空槽を開かねばならない。そのため真空処理室
の真空度も完全になくなシ能率低下はまぬがれない。ま
た真空ポンプなども非常に大型のものを必要とする。
予備真空室を備える方式のものでは、真空処理室に外部
のコイルについて入って来る粉塵を防ぐ意味で、また真
空室は常にスリットを介して大気と通じているだめ、多
くの予備真空室を設けて、真空度を維持する必要がある
。予備真空室が充分でない場合は、大容量の真空ポンプ
を必要とし、排気設備の費用が高くつくなどの欠点があ
った。
のコイルについて入って来る粉塵を防ぐ意味で、また真
空室は常にスリットを介して大気と通じているだめ、多
くの予備真空室を設けて、真空度を維持する必要がある
。予備真空室が充分でない場合は、大容量の真空ポンプ
を必要とし、排気設備の費用が高くつくなどの欠点があ
った。
またシール装置として液体を充満させる方式では、液体
充満用の装置、構成が複雑で、その設備は大型となシ、
設備費が高くつく欠点は一緒であった。
充満用の装置、構成が複雑で、その設備は大型となシ、
設備費が高くつく欠点は一緒であった。
この発明は、従来の問題点を解決し、装置の小型で安価
な真空処理装置を提供するものである。
な真空処理装置を提供するものである。
（問題点を解決するだめの手段）
この目的を達成するため妃、この発明は次のような構成
としている。
としている。
すなわち、連続材料のコイル全大気中に配置して、巻戻
した帯鋼全真空処理室に導入して金属蒸着或は熱処理等
の真空処理を行ない、再び大気中に出して巻取シコイル
を作る装置を基本とし、この発明では、真空処理室の前
および後に夫々１個または、複数個の予備真空室を備え
て真空処理室の真空度を確保すると共に、この予備真空
室の最も大気側に夫々１個または、複数個の加圧室を備
える。この加圧室には、窒素ガス或はアルゴンガスを送
シ込み大気圧よシや！高い圧力に加圧する。
した帯鋼全真空処理室に導入して金属蒸着或は熱処理等
の真空処理を行ない、再び大気中に出して巻取シコイル
を作る装置を基本とし、この発明では、真空処理室の前
および後に夫々１個または、複数個の予備真空室を備え
て真空処理室の真空度を確保すると共に、この予備真空
室の最も大気側に夫々１個または、複数個の加圧室を備
える。この加圧室には、窒素ガス或はアルゴンガスを送
シ込み大気圧よシや！高い圧力に加圧する。
加圧室に用いるガスは代表的には窒素ガスや、アルゴン
ガスであるが、その他酸素、水素、ヘリウムなど、単独
または混合ガスとして用いることも可能である。
ガスであるが、その他酸素、水素、ヘリウムなど、単独
または混合ガスとして用いることも可能である。
（作 用）
加圧室には、このようなガスを送シ込むのであるが、大
気圧よシ圧力かや＼高くなるように送るので、圧力差で
ガスが大気中に吐出する。大気中と接している場所とし
ては、連続材料の出入口のスリット部分のみであるから
、ガスはスリン１４通って大気中に噴出し、空気及び大
気中の粉塵の流入を防いでいる。
気圧よシ圧力かや＼高くなるように送るので、圧力差で
ガスが大気中に吐出する。大気中と接している場所とし
ては、連続材料の出入口のスリット部分のみであるから
、ガスはスリン１４通って大気中に噴出し、空気及び大
気中の粉塵の流入を防いでいる。
（実施例）
第１図に示す断面図は、この発明による一実施例である
。
。
連続材料の巻戻コイル７よシ巻戻された帯鋼６は、中央
の真空処理室ｌで処理され、処理済の帯鋼は再び巻取ら
れてコイル８となる。
の真空処理室ｌで処理され、処理済の帯鋼は再び巻取ら
れてコイル８となる。
真空処理室１の入口および出口に近接して予備真空室２
，３を備えておシ、予備真空室の夫々大気側に加圧室４
，５を備えている。それら各室の出入口に設けたスリッ
ト１４，１５，１６，１７．１８．１９を通って帯鋼が
出入すするようになっている。
，３を備えておシ、予備真空室の夫々大気側に加圧室４
，５を備えている。それら各室の出入口に設けたスリッ
ト１４，１５，１６，１７．１８．１９を通って帯鋼が
出入すするようになっている。
真空処理室には、真空排気装置１０があシ、所要の真空
度を得られているが、予備真空室にも真空排気装置９，
１１があシ真空度を一層確保するために役立っている。
度を得られているが、予備真空室にも真空排気装置９，
１１があシ真空度を一層確保するために役立っている。
従って、実施例では、予備真空室を前および後に夫々１
個完備えているが、複数個あっても差支えない。
個完備えているが、複数個あっても差支えない。
加圧室には、加圧ガスタンク１２，１３よシ送シ込まれ
たガスが充満しておシ、気圧も大気圧をや−超える圧力
に加圧されているから、加圧室のガスの一部はスリット
１４．１５の隙間を通って大気中に流出する。このとき
、ガス流によって空気の流入を阻止すると共に、大気中
の粉塵の流入を防ぐので、従って、圧力室に隣接してい
る予備真空室にも、更に隣接している真空処理室にも空
気および粉塵の流入する処はないのである。また、スリ
ブ）１４．１５は帯鋼の出入口であるが、そこに出来た
小さな隙間からガスが流出するので、ガス流が帯鋼に付
着している異物をも吹飛ばしてしまう。
たガスが充満しておシ、気圧も大気圧をや−超える圧力
に加圧されているから、加圧室のガスの一部はスリット
１４．１５の隙間を通って大気中に流出する。このとき
、ガス流によって空気の流入を阻止すると共に、大気中
の粉塵の流入を防ぐので、従って、圧力室に隣接してい
る予備真空室にも、更に隣接している真空処理室にも空
気および粉塵の流入する処はないのである。また、スリ
ブ）１４．１５は帯鋼の出入口であるが、そこに出来た
小さな隙間からガスが流出するので、ガス流が帯鋼に付
着している異物をも吹飛ばしてしまう。
予備真空室には、真空排気装置９，１１があシ、加圧室
からスリット１６．１７’ｅ通って流出して来るガスも
併せて真空排気する。しかし、そのために真空排気装置
が特に大型になることはない。
からスリット１６．１７’ｅ通って流出して来るガスも
併せて真空排気する。しかし、そのために真空排気装置
が特に大型になることはない。
しかも真空排気が空気の成分、例えば０２の除去を目的
として行われるときは、空気が加圧室の効果で予備真空
室に入って来ないので、排気能力を小さくすることが出
来る。このとき真空処理室内の圧力が高くても、除去し
たいＯ３の分圧は低くなるので加圧室を備えたことで真
空排気装置９，１０゜１１は小型にすることが出来る。
として行われるときは、空気が加圧室の効果で予備真空
室に入って来ないので、排気能力を小さくすることが出
来る。このとき真空処理室内の圧力が高くても、除去し
たいＯ３の分圧は低くなるので加圧室を備えたことで真
空排気装置９，１０゜１１は小型にすることが出来る。
（発明の効果）
この発明によれば、連続材料の巻戻しコイルおよび巻取
コイルを真空室に入れず、大気中に配置して加圧室を備
えたことによシ、従来の装置に比べ設備を大巾に小型化
出来たことは勿論、コイルが大気中にあるから次のコイ
ルを接続するなどの作業が真空処理中でも可能である。
コイルを真空室に入れず、大気中に配置して加圧室を備
えたことによシ、従来の装置に比べ設備を大巾に小型化
出来たことは勿論、コイルが大気中にあるから次のコイ
ルを接続するなどの作業が真空処理中でも可能である。
また、加圧室よシ流出するガスによって、大気中の粉塵
や真空処理に有害な空気の成分などの流入を防ぐことが
出来る許多でなく、加圧室より流出するガス流は帯鋼に
付着している異物も除去するので真空処理室内のクリー
ン度が向上する。そしてまた、真空排気が空気の成分の
例えば０□を目的に行なうとき、加圧室に送勺込むガス
をアルゴンか窒素ガスを用いることによって、０□が真
空室に入って来ない効果があるので、真空処理を低真空
度でも行なえ、真空排気装置も小型化出来るメリットが
ある。
や真空処理に有害な空気の成分などの流入を防ぐことが
出来る許多でなく、加圧室より流出するガス流は帯鋼に
付着している異物も除去するので真空処理室内のクリー
ン度が向上する。そしてまた、真空排気が空気の成分の
例えば０□を目的に行なうとき、加圧室に送勺込むガス
をアルゴンか窒素ガスを用いることによって、０□が真
空室に入って来ない効果があるので、真空処理を低真空
度でも行なえ、真空排気装置も小型化出来るメリットが
ある。
以上述べた如く加圧室の効果は大きく、実施例では帯鋼
の真空処理について述べたが、線材、管材など連続材料
の真空処理に利用出来て効果は大きい。
の真空処理について述べたが、線材、管材など連続材料
の真空処理に利用出来て効果は大きい。
第１図は、この発明の構成を示す全体図である。
Claims (1)
- 真空処理室と、その真空処理室の入口と出口にそれぞれ
１個または複数個の予備真空室を有する連続材料の真空
処理装置において、当該予備真空室の大気側に１個また
は複数個の加圧室を備え、その加圧室にガス供給し大気
圧以上に加圧し、加圧室と予備真空室を介して連続材料
を真空処理室に出入りさせることを特徴とする連続材料
の真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23249185A JPS6293371A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 連続材料の真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23249185A JPS6293371A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 連続材料の真空処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293371A true JPS6293371A (ja) | 1987-04-28 |
Family
ID=16940147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23249185A Pending JPS6293371A (ja) | 1985-10-17 | 1985-10-17 | 連続材料の真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293371A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025003821A1 (en) * | 2023-06-28 | 2025-01-02 | Arcelormittal | Productive coating process for a steel sheet, corresponding equipment, a metallic coated hot rolled steel sheet |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5385742A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-28 | Nippon Steel Corp | Continuous vacuum evaporation plating method of steel band |
-
1985
- 1985-10-17 JP JP23249185A patent/JPS6293371A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5385742A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-28 | Nippon Steel Corp | Continuous vacuum evaporation plating method of steel band |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025003821A1 (en) * | 2023-06-28 | 2025-01-02 | Arcelormittal | Productive coating process for a steel sheet, corresponding equipment, a metallic coated hot rolled steel sheet |
| WO2025003725A1 (en) * | 2023-06-28 | 2025-01-02 | Arcelormittal | Productive coating process for a steel sheet, corresponding equipment, a metallic coated hot rolled steel sheet |
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