JPS6294264A - 内周刃砥石 - Google Patents
内周刃砥石Info
- Publication number
- JPS6294264A JPS6294264A JP23279685A JP23279685A JPS6294264A JP S6294264 A JPS6294264 A JP S6294264A JP 23279685 A JP23279685 A JP 23279685A JP 23279685 A JP23279685 A JP 23279685A JP S6294264 A JPS6294264 A JP S6294264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base metal
- grindstone
- inner peripheral
- inner periphery
- abrasive grain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｒ１重重上上利用分野〕
本発明は、内周刃砥石に関する。
ｆ゛従従来技術
一般に、内周刃砥石の一例として、第７図および＠８ν
１に示す内周刃ダイヤモンド砥石が知られている。この
ものは、台金１の中央部にあけられた孔２の内周および
その近傍にダイヤモンド砥粒を主としてニッケルメッキ
によって固着して砥粒Ｊｆ１１３を形成した構成となっ
ており、シリコン、ガリウムヒ素、セラミックあるいは
石英材等をスライスしてウェハーをつくる場合に多？用
いられている。
１に示す内周刃ダイヤモンド砥石が知られている。この
ものは、台金１の中央部にあけられた孔２の内周および
その近傍にダイヤモンド砥粒を主としてニッケルメッキ
によって固着して砥粒Ｊｆ１１３を形成した構成となっ
ており、シリコン、ガリウムヒ素、セラミックあるいは
石英材等をスライスしてウェハーをつくる場合に多？用
いられている。
ところが、前記シリコン等の半導体素子として用いるウ
ェハーは高価であるため、ウェハー１枚を完成さ虻るの
に費すウェハー素材の量をできるだけ少なくすることが
杼費節減につながる。そして、ウェハーを１枚完成する
ために費す経費を節減するには、その一つとして切断鋸
（内周刃砥石）の厚さをできるだけ薄くすることが有効
であり、そのためＫは、切断鋸（内周刃砥石）の台金の
厚さをできるだけ薄くすると共に、この台金の内周側に
固着する砥粒を、台金の板厚方向においてできるだけ薄
くすることが必要であり、もう一つは。
ェハーは高価であるため、ウェハー１枚を完成さ虻るの
に費すウェハー素材の量をできるだけ少なくすることが
杼費節減につながる。そして、ウェハーを１枚完成する
ために費す経費を節減するには、その一つとして切断鋸
（内周刃砥石）の厚さをできるだけ薄くすることが有効
であり、そのためＫは、切断鋸（内周刃砥石）の台金の
厚さをできるだけ薄くすると共に、この台金の内周側に
固着する砥粒を、台金の板厚方向においてできるだけ薄
くすることが必要であり、もう一つは。
この板厚を薄くした状態で、しかも切断鋸（内周刃砥石
）の寿命が長くなるようにすることであり、それには、
切断鋸（内周刃砥石）の台金の内周端から、この台金の
内周側に固着する砥粒の内周端までの良さをできるだけ
畏くすることが必要である。
）の寿命が長くなるようにすることであり、それには、
切断鋸（内周刃砥石）の台金の内周端から、この台金の
内周側に固着する砥粒の内周端までの良さをできるだけ
畏くすることが必要である。
ところで、従来の内周刃砥石にあっては、前記台金の内
周端から、この台金の内周側に固着する砥粒の内周端ま
での長さが未だ十分とは云えず、その改善が要望されて
いた。
周端から、この台金の内周側に固着する砥粒の内周端ま
での長さが未だ十分とは云えず、その改善が要望されて
いた。
本発明は、従来のものがもつ以上のような問題点を解消
した内周刃砥石を提供することを目的とするっ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、前記目的を達成さ？るために次のような構成
としている。即ち、リング板状の台金の内周およびその
近傍に砥粒を固着してなる内周刃砥石において、前記台
金の２平面の内周側全域にそれぞれ内周側の板厚が外周
Ｉ１１の板厚より薄くなるようにテーパ面を形成し、前
記２平面の一方側の平面とテーパ面とのなす角度と、他
方側の平面とテーパ面とのなす角度を、互いに等しい１
°〜２０°の角１痰としている。
した内周刃砥石を提供することを目的とするっ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、前記目的を達成さ？るために次のような構成
としている。即ち、リング板状の台金の内周およびその
近傍に砥粒を固着してなる内周刃砥石において、前記台
金の２平面の内周側全域にそれぞれ内周側の板厚が外周
Ｉ１１の板厚より薄くなるようにテーパ面を形成し、前
記２平面の一方側の平面とテーパ面とのなす角度と、他
方側の平面とテーパ面とのなす角度を、互いに等しい１
°〜２０°の角１痰としている。
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図に基づいて
説明する。第１図中１１は台金であり、この台金１１は
、板厚Ｔ、が約１３０μの薄い円板の中心に孔１２があ
けられたリング板状のもので、孔１２の内周端縁部およ
びその近傍には、ダイヤモンドまたはＣＢＮの砥粒が主
としてニッケルメッキによって固着され、これにより砥
粒１層１３が形成されろう 砥粒層１３は、前述の経費節減上、台金１１の板厚Ｔ１
方向の厚さＴ、を薄くすること、即ち、Ｔ、−Ｔ、＝２
Ｔ、を薄（することが必要であり、かつ台金１１の内周
端から、この台金１１の内周側に固着する砥粒の内周端
までの長さり、＝Ｌ。
説明する。第１図中１１は台金であり、この台金１１は
、板厚Ｔ、が約１３０μの薄い円板の中心に孔１２があ
けられたリング板状のもので、孔１２の内周端縁部およ
びその近傍には、ダイヤモンドまたはＣＢＮの砥粒が主
としてニッケルメッキによって固着され、これにより砥
粒１層１３が形成されろう 砥粒層１３は、前述の経費節減上、台金１１の板厚Ｔ１
方向の厚さＴ、を薄くすること、即ち、Ｔ、−Ｔ、＝２
Ｔ、を薄（することが必要であり、かつ台金１１の内周
端から、この台金１１の内周側に固着する砥粒の内周端
までの長さり、＝Ｌ。
−Ｌ、 をできるだけ長くすることが必要であるっ即
ち、Ｉ、、／２Ｔ、を犬とすることが必要である。
ち、Ｉ、、／２Ｔ、を犬とすることが必要である。
そこで、この実施例においては、前記長さし。
を長くするために台金１１の内周端にテーパ面１４．１
５が形成されている。このテーパ面１４゜１５は台金１
１の２平面１６．１７の内周側全域に、それぞれ内周側
の板厚が外周側の板厚より薄くなるように形成されてい
るうなお、平面１６とテーパ面１４とのなす角度α’−
’ｔ １°〜２ｎ” とされ、平面１７とテーパ面１５
とのなす角度βは１゜〜２０° とされ、角度α、βは
互いに等しい角ＩＩとされているっ１２１１ち、テーパ
面１４とテーパ面１５とは、台金１１の板厚の中心線ｃ
に対し対称に形成されている。
５が形成されている。このテーパ面１４゜１５は台金１
１の２平面１６．１７の内周側全域に、それぞれ内周側
の板厚が外周側の板厚より薄くなるように形成されてい
るうなお、平面１６とテーパ面１４とのなす角度α’−
’ｔ １°〜２ｎ” とされ、平面１７とテーパ面１５
とのなす角度βは１゜〜２０° とされ、角度α、βは
互いに等しい角ＩＩとされているっ１２１１ち、テーパ
面１４とテーパ面１５とは、台金１１の板厚の中心線ｃ
に対し対称に形成されている。
このように台金１１の内周側にテーパ面１４゜１５を形
成して、孔１２の内周およびその近傍に砥粒をニッケル
メッキにより固着さぜると、砥粒層１３は第１図に示す
ように中心線Ｃに対して対称的に形成され、しかも長さ
Ｌｌが従来より大幅に長（形成される。ちなみにＴ、中
１３ｃ）μ＋Ｔｔ中ｚ、００ｔｔ、Ｔｓ中８５μ、７４
中ｊ’ｌＯμ、Ｔｓ中１５ｔｔ、 Ｌ、 中１００ａ
、 Ｌ、 ＝ｉ＝１３０〜１５０μＩＬ４中２．５門（
但しα＝６°のときり、中１３０μ、α＝１５°のとき
り、中１５０７！ ）である（従来の内周刃砥石の長さ
ＬｓＪＦ−１１０μである）。
成して、孔１２の内周およびその近傍に砥粒をニッケル
メッキにより固着さぜると、砥粒層１３は第１図に示す
ように中心線Ｃに対して対称的に形成され、しかも長さ
Ｌｌが従来より大幅に長（形成される。ちなみにＴ、中
１３ｃ）μ＋Ｔｔ中ｚ、００ｔｔ、Ｔｓ中８５μ、７４
中ｊ’ｌＯμ、Ｔｓ中１５ｔｔ、 Ｌ、 中１００ａ
、 Ｌ、 ＝ｉ＝１３０〜１５０μＩＬ４中２．５門（
但しα＝６°のときり、中１３０μ、α＝１５°のとき
り、中１５０７！ ）である（従来の内周刃砥石の長さ
ＬｓＪＦ−１１０μである）。
なお、台金１１のテーパ面１４．１５を形成するには、
台金１１の板厚Ｔ、が約１３０μと非常に薄いため手作
業によっては困難でおるので、第４図に示す治具２０を
用い、エツチングにより形成している。即ち、第４図に
示すように中心線。
台金１１の板厚Ｔ、が約１３０μと非常に薄いため手作
業によっては困難でおるので、第４図に示す治具２０を
用い、エツチングにより形成している。即ち、第４図に
示すように中心線。
に対し対称に設けられたゴムパツキン２１及びテーバ面
２２．２３を有する治具構成体２４ 、２５間に台金素
材２６を挾持させ、これをエツチング液中に浸してエツ
チング処理する（台金素材２６はテーパ面１４，１５が
形成されていないだけで、他の部分は台金１１と同じも
の）。治具構成体２４．２５は塩化ビ隼−ル材料がらな
り、リング板形に形成されているっテーパ面２２とテー
パ面２３とのなす角度ｒは５°〜２０°が良く、このよ
うにすると、エツチングにおける電流は台金素材２６の
内周端２６ａに集中し易（、台金素材２６の内周側に第
１図に示すようなテーパ面１４．１５が形成され、台金
１１ができ上る。この際、テーパ面２２．２３間の角度
γが小さ過ぎれば、第５図に示すようにエツチングにお
ける泡抜けは悪く。
２２．２３を有する治具構成体２４ 、２５間に台金素
材２６を挾持させ、これをエツチング液中に浸してエツ
チング処理する（台金素材２６はテーパ面１４，１５が
形成されていないだけで、他の部分は台金１１と同じも
の）。治具構成体２４．２５は塩化ビ隼−ル材料がらな
り、リング板形に形成されているっテーパ面２２とテー
パ面２３とのなす角度ｒは５°〜２０°が良く、このよ
うにすると、エツチングにおける電流は台金素材２６の
内周端２６ａに集中し易（、台金素材２６の内周側に第
１図に示すようなテーパ面１４．１５が形成され、台金
１１ができ上る。この際、テーパ面２２．２３間の角度
γが小さ過ぎれば、第５図に示すようにエツチングにお
ける泡抜けは悪く。
電流が台金素材２６の内周端に十分流れず、その結果、
形成された台金の角度α、βは小さ過ぎ、従って砥粒層
１３のＬ３の長さは短くなり、目的を達することができ
ず、また角度ｒが大き過ぎれば、第６図に示すようにエ
ツチングにおける泡抜けは良いものの、エツチングにお
ける電流は台金４゜素材２６の内周端のみならず液中に
浸された全面にわたり、台金素材２６の内周端側か段付
き状に薄ぐなり、適切な角度α、βは得られず、所望の
目的を達することができない。第５図中３１は泡を示す
っちなみに第４図中Ｍ、中３ｍｍ、Ｍｙ中１開である。
形成された台金の角度α、βは小さ過ぎ、従って砥粒層
１３のＬ３の長さは短くなり、目的を達することができ
ず、また角度ｒが大き過ぎれば、第６図に示すようにエ
ツチングにおける泡抜けは良いものの、エツチングにお
ける電流は台金４゜素材２６の内周端のみならず液中に
浸された全面にわたり、台金素材２６の内周端側か段付
き状に薄ぐなり、適切な角度α、βは得られず、所望の
目的を達することができない。第５図中３１は泡を示す
っちなみに第４図中Ｍ、中３ｍｍ、Ｍｙ中１開である。
以上説明したように本発明によれば、内周刃砥石の台金
の２平面の内周端側全域に、それぞれ内周側の板厚が外
周側の板厚より薄ぐなるようにテーパ面を形成し、前記
２平面の一方側の平面とテーパ面とのなす角度と、他方
側の平面とテーパ面とのなす角度を、互いに等しい１°
〜２０′の角度としたので、台金の内周端から、この台
金の内周及びその近傍に固着する砥粒の内周端までの長
さを従来より大幅に長くすることができ、これにより内
周刃砥石の寿命を従来品より大幅に長（することができ
、ひいてはウェハー作成における経費を大幅に節減する
ことができる。
の２平面の内周端側全域に、それぞれ内周側の板厚が外
周側の板厚より薄ぐなるようにテーパ面を形成し、前記
２平面の一方側の平面とテーパ面とのなす角度と、他方
側の平面とテーパ面とのなす角度を、互いに等しい１°
〜２０′の角度としたので、台金の内周端から、この台
金の内周及びその近傍に固着する砥粒の内周端までの長
さを従来より大幅に長くすることができ、これにより内
周刃砥石の寿命を従来品より大幅に長（することができ
、ひいてはウェハー作成における経費を大幅に節減する
ことができる。
第１図乃至第６図は本発明の一実施例を示すもので、第
１図は第３図の１内部の拡大断面図、第２図は平面図、
第５図は縦断面図、第４図は台金の内周側にテーパ面を
形成するための治具に台金素材をセットした状態を示す
断面図、第５図は治具のテーパ面間角度が小さい時のエ
ツチング処理状態を示す第４図同様の図、第６図は治具
のテーパ面間角度が大きい時のエツチング処理状態を示
す第４図同様の図、第７図は従来の内周刃砥石の一例を
示す平面図、第８図はその縦断面図である。 １１・・・・・・台金、１２・・・・・・孔、１卜・・
・・・砥粒層、１４．１５・・・・・・テーパ面、１６
．１７・・曲千面っ第 ５ 図
第 ６ 図第８図
１図は第３図の１内部の拡大断面図、第２図は平面図、
第５図は縦断面図、第４図は台金の内周側にテーパ面を
形成するための治具に台金素材をセットした状態を示す
断面図、第５図は治具のテーパ面間角度が小さい時のエ
ツチング処理状態を示す第４図同様の図、第６図は治具
のテーパ面間角度が大きい時のエツチング処理状態を示
す第４図同様の図、第７図は従来の内周刃砥石の一例を
示す平面図、第８図はその縦断面図である。 １１・・・・・・台金、１２・・・・・・孔、１卜・・
・・・砥粒層、１４．１５・・・・・・テーパ面、１６
．１７・・曲千面っ第 ５ 図
第 ６ 図第８図
Claims (1)
- リング板状の台金の内周およびその近傍に砥粒を固着し
てなる内周刃砥石において、前記台金の２平面の内周側
全域に、それぞれ内周側の板厚が外周側の板厚より薄く
なるようにテーパ面を形成し、前記２平面の一方側の平
面とテーパ面とのなす角度と、他方側の平面とテーパ面
とのなす角度を、互いに等しい１°〜２０°の角度とし
たことを特徴とする内周刃砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23279685A JPS6294264A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 内周刃砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23279685A JPS6294264A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 内周刃砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294264A true JPS6294264A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16944887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23279685A Pending JPS6294264A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 内周刃砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6294264A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005501986A (ja) * | 2001-09-06 | 2005-01-20 | ステユドール・ソシエテ・アノニム | 排水設備の圧力逃し装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651072A (en) * | 1979-10-01 | 1981-05-08 | Hitachi Ltd | Logic circuit |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23279685A patent/JPS6294264A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651072A (en) * | 1979-10-01 | 1981-05-08 | Hitachi Ltd | Logic circuit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005501986A (ja) * | 2001-09-06 | 2005-01-20 | ステユドール・ソシエテ・アノニム | 排水設備の圧力逃し装置 |
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