JPS6298626A - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
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- JPS6298626A JPS6298626A JP23819585A JP23819585A JPS6298626A JP S6298626 A JPS6298626 A JP S6298626A JP 23819585 A JP23819585 A JP 23819585A JP 23819585 A JP23819585 A JP 23819585A JP S6298626 A JPS6298626 A JP S6298626A
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- Japan
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- opening
- clamp
- clampers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はワークをａｉするステージを高さ方向に回転さ
せるボンディング装置に関する。
せるボンディング装置に関する。
［従来の技術］
例えばレーザダイオードにおいては、ワークの異なる面
にそれぞれチップやワイヤを接続する必要がある。この
ことを第７図によって説明する。
にそれぞれチップやワイヤを接続する必要がある。この
ことを第７図によって説明する。
レーザダイオードｌは、リード２Ａ、２Ｂ、２Ｃが植設
されたフランジ３にキャップ４が固定されたワーク５を
有し、前記フランジ３の水平なＬ面及び前記キャップ４
の垂直面にそれぞれチップ６Ａ、６Ｂがチップボンディ
ングされ、更にリード２Ａとチップ６Ａ及びリード２Ｂ
の側面とチップ６Ｂとにそれぞれワイヤ７Ａ、７Ｂがワ
イヤボンディングされている。
されたフランジ３にキャップ４が固定されたワーク５を
有し、前記フランジ３の水平なＬ面及び前記キャップ４
の垂直面にそれぞれチップ６Ａ、６Ｂがチップボンディ
ングされ、更にリード２Ａとチップ６Ａ及びリード２Ｂ
の側面とチップ６Ｂとにそれぞれワイヤ７Ａ、７Ｂがワ
イヤボンディングされている。
このように、両チップ６Ａ、６Ｂは相互にほぼ直交する
面にチップボンディングされる。またワイヤ７Ａがボン
ディングされる面とワイヤ７Ｂがボンディングされる面
とが前記チップボンディングと同様にほぼ直交する面に
それぞれワイヤボンディングされている。
面にチップボンディングされる。またワイヤ７Ａがボン
ディングされる面とワイヤ７Ｂがボンディングされる面
とが前記チップボンディングと同様にほぼ直交する面に
それぞれワイヤボンディングされている。
従って、かかるワーク５へのボンディングは、例えば特
開昭５９−１１７２２６号公報に示すように、ワーク５
をａ置するステージを高さ方向に回転させなければなら
ない。
開昭５９−１１７２２６号公報に示すように、ワーク５
をａ置するステージを高さ方向に回転させなければなら
ない。
［発明が解決しようとする問題点］
このように、かかるボンディング”ＡＩは、ステージを
高さ方向に回転させる必要があるので、ワーク５の供給
及び排出を自動的に行う自動装置とするには、ワーク５
のクランプ及びクランプ解除に１夫を要する。
高さ方向に回転させる必要があるので、ワーク５の供給
及び排出を自動的に行う自動装置とするには、ワーク５
のクランプ及びクランプ解除に１夫を要する。
本発明の目的は、ワークのクランプ及び解除を自動的に
行うことができるボンディング装置を提供することにあ
る。
行うことができるボンディング装置を提供することにあ
る。
［問題点を解決するための手段］
に記従来技術の問題点を解消するための本発明の構成を
実施例に対応する第１図乃至第６図によって説明する。
実施例に対応する第１図乃至第６図によって説明する。
高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンディング川
の窓１０ａが形成された基準プレートｌＯと、この基準
プレートｌＯを高さ方向に回転させるピニオン２０、ラ
ック２１等よりなる回転手段と、１ｉ１記基準プレート
ｌＯの下方に上下動０Ｔ俺に配設されワーク５を基準プ
レートｌＯの窓部１０ａの下面に押し付けるワーク吸着
ヘッド７０等よりなるワーク上下動り段と、前記基準プ
レー）１０の下面に押し付けられたワーク５をクランプ
するように前記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランパ３０．３１と、この一対のクランパ
３０．３１を閉じる方向に付勢するばね４４．４５と、
前記基準プレート１０の外側に配設され前記クランパ３
０．３１を開く方向に作動させるクランパ開閉部材４６
とを備えている。
の窓１０ａが形成された基準プレートｌＯと、この基準
プレートｌＯを高さ方向に回転させるピニオン２０、ラ
ック２１等よりなる回転手段と、１ｉ１記基準プレート
ｌＯの下方に上下動０Ｔ俺に配設されワーク５を基準プ
レートｌＯの窓部１０ａの下面に押し付けるワーク吸着
ヘッド７０等よりなるワーク上下動り段と、前記基準プ
レー）１０の下面に押し付けられたワーク５をクランプ
するように前記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランパ３０．３１と、この一対のクランパ
３０．３１を閉じる方向に付勢するばね４４．４５と、
前記基準プレート１０の外側に配設され前記クランパ３
０．３１を開く方向に作動させるクランパ開閉部材４６
とを備えている。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図により説明
する。基準プレート１０には、ワーク５にボンディング
を施すための窓１０ａが形成され、この窓１０ａ部の下
面側にはワーク５のフランジ３が当接する基準面１０ｂ
が形成されている。前記基準プレート１０の左右両側は
回転軸１１．１２にねじ１３で内定され、回転軸１１．
１２はベース板１４に固定されたブラケット１５．１６
に軸受１７．１８を介して回転自在に支承されている。
する。基準プレート１０には、ワーク５にボンディング
を施すための窓１０ａが形成され、この窓１０ａ部の下
面側にはワーク５のフランジ３が当接する基準面１０ｂ
が形成されている。前記基準プレート１０の左右両側は
回転軸１１．１２にねじ１３で内定され、回転軸１１．
１２はベース板１４に固定されたブラケット１５．１６
に軸受１７．１８を介して回転自在に支承されている。
１１１１記一方の回転軸１２の端部にはピニオン２０が
固定されており、このピニオン２０にはラック２１が噛
合している。ラック２１はガイド板２２．２３に沿って
ＩΔ示しないリニアモータでピニオン２０の軸心に直角
な方向に駆動させられる。
固定されており、このピニオン２０にはラック２１が噛
合している。ラック２１はガイド板２２．２３に沿って
ＩΔ示しないリニアモータでピニオン２０の軸心に直角
な方向に駆動させられる。
前記ビニオン２０の軸部２０ａ及び前記ガイド板２２に
はそれぞればね掛はビン２４．２５が固定されており、
これらばね掛はビン２４．２５にばね２６が掛けられ、
ビニオン２０は一方向に付勢されている。
はそれぞればね掛はビン２４．２５が固定されており、
これらばね掛はビン２４．２５にばね２６が掛けられ、
ビニオン２０は一方向に付勢されている。
前記基準プレートｌＯの下面には、回転軸１１．１２の
方向にｙｔｌ Ｏｃが形成されており、この溝１０ｃに
は窓１０ａの両側に相対向してクランパ３０．３１が摺
動自在に配設されている。また前記溝１０ｃの開放部を
覆うように、基準プレート１０の下面側には、２個の蓋
３２．３３が左右に配設され、ねじ３４によって２！ｉ
ｉ準プレー）１０に固定されている。更に蓋３２．３３
の下面に２個のクランパ作動レバー３５．３６が左右に
配設されており、前記クランパ作動レバー３５．３６は
基準プレートｌＯに螺合された支点軸３７によって回転
自在に支承されている。
方向にｙｔｌ Ｏｃが形成されており、この溝１０ｃに
は窓１０ａの両側に相対向してクランパ３０．３１が摺
動自在に配設されている。また前記溝１０ｃの開放部を
覆うように、基準プレート１０の下面側には、２個の蓋
３２．３３が左右に配設され、ねじ３４によって２！ｉ
ｉ準プレー）１０に固定されている。更に蓋３２．３３
の下面に２個のクランパ作動レバー３５．３６が左右に
配設されており、前記クランパ作動レバー３５．３６は
基準プレートｌＯに螺合された支点軸３７によって回転
自在に支承されている。
前記クランパ３０．３１には前記クランパ作動レバー３
５．３６の下面より下方に突出するばね掛はビン４０．
４１が固定されており、前記Ｍ３２．３３にはばね掛は
ビン４０．４１の部分にクランパ３０．３１の作動方向
に長溝３２ａ、３３ａが形成され、前記クランパ作動レ
バー３５．３６にもばね掛はビン４０．４１の部分に前
記長溝３２ａ、３３ａと直角方向に長溝３５ａ、３６ａ
が形成されている。前記Ｍ３２．３３にもばね掛はビン
４２．４３が固定されており、前記ばね掛はビン４０と
４２．４１と４３にはそれぞればね４４．４５が掛けら
れ、２個のクランパ３０．３１は閉じる方向に付勢され
ている。前記クランパ作動し八−３５，３６は近接した
部分に押圧部３５ｂ、３６ｂが外側に突出して形成され
ており、この押圧部３５ｂ、３６ｂに対向して図示しな
い駆動手段で矢印Ａ方向に駆動されるクランパ開閉部材
４６が配設されている。
５．３６の下面より下方に突出するばね掛はビン４０．
４１が固定されており、前記Ｍ３２．３３にはばね掛は
ビン４０．４１の部分にクランパ３０．３１の作動方向
に長溝３２ａ、３３ａが形成され、前記クランパ作動レ
バー３５．３６にもばね掛はビン４０．４１の部分に前
記長溝３２ａ、３３ａと直角方向に長溝３５ａ、３６ａ
が形成されている。前記Ｍ３２．３３にもばね掛はビン
４２．４３が固定されており、前記ばね掛はビン４０と
４２．４１と４３にはそれぞればね４４．４５が掛けら
れ、２個のクランパ３０．３１は閉じる方向に付勢され
ている。前記クランパ作動し八−３５，３６は近接した
部分に押圧部３５ｂ、３６ｂが外側に突出して形成され
ており、この押圧部３５ｂ、３６ｂに対向して図示しな
い駆動手段で矢印Ａ方向に駆動されるクランパ開閉部材
４６が配設されている。
前記基準プレートｌＯの−Ｆ面には、ワーク５のリ−Ｆ
２ Ｃを両側より支持する２個の支持チャック５０．
５１が配設されており、支持チャック５０．５１は、２
！準プレートｌＯに固定された支点軸５２に回転自在に
支承されている。前記支持チャック５０．５１にはばね
掛はビン５３．５４が固定されており、このばね掛はビ
ン５３．５４に掛けられたばね５５によって支持チャッ
ク５０゜５１は閉じる方向に付勢されている。また支持
チャック５０．５１に向い合った外側端面には斜面５０
ａ、５１ａが形成されており、この斜面５０ａ、５１ａ
に対向して図示しない駆動手段で矢印Ｂ方向に駆動され
る支持チャック開閉部材５６が配設されている。
２ Ｃを両側より支持する２個の支持チャック５０．
５１が配設されており、支持チャック５０．５１は、２
！準プレートｌＯに固定された支点軸５２に回転自在に
支承されている。前記支持チャック５０．５１にはばね
掛はビン５３．５４が固定されており、このばね掛はビ
ン５３．５４に掛けられたばね５５によって支持チャッ
ク５０゜５１は閉じる方向に付勢されている。また支持
チャック５０．５１に向い合った外側端面には斜面５０
ａ、５１ａが形成されており、この斜面５０ａ、５１ａ
に対向して図示しない駆動手段で矢印Ｂ方向に駆動され
る支持チャック開閉部材５６が配設されている。
前記回転軸１１の端部にはカセットヒータ６０が埋設さ
れている。また基準プレート１０のＥ面にはうずまき状
に巻回されたヒータ６１が配設されており、このヒータ
６１のＭＡ部は回転軸１２の中心を通って図示しない制
御部に接続されている。またヒータ６１ 、ｈにはヒー
タ押え板６３が配設され、このヒータ押え板６３はねじ
６４で基準プレート１０に固定されている。
れている。また基準プレート１０のＥ面にはうずまき状
に巻回されたヒータ６１が配設されており、このヒータ
６１のＭＡ部は回転軸１２の中心を通って図示しない制
御部に接続されている。またヒータ６１ 、ｈにはヒー
タ押え板６３が配設され、このヒータ押え板６３はねじ
６４で基準プレート１０に固定されている。
前記クランパ作動レバー３５．３６の下方には、２！準
プレート１０の窓１０ａに対応した部分にワーク５を移
送させるために、ワーク吸着ヘッド７０が上下動可能に
配設されている。前記ワーク吸着へラド７０は筒状に形
成されており、図示しない真空手段でワーク５を吸着す
るようになっている。またワーク５を下方位置にあるワ
ーク吸着へラド７０の上方に移送するために、ワーク吸
着ヘッド７０の両側にはワーク５がａ、置されたキャリ
ッジ７１をガイドする一対のガイドレール７２．７３が
配設されている。
プレート１０の窓１０ａに対応した部分にワーク５を移
送させるために、ワーク吸着ヘッド７０が上下動可能に
配設されている。前記ワーク吸着へラド７０は筒状に形
成されており、図示しない真空手段でワーク５を吸着す
るようになっている。またワーク５を下方位置にあるワ
ーク吸着へラド７０の上方に移送するために、ワーク吸
着ヘッド７０の両側にはワーク５がａ、置されたキャリ
ッジ７１をガイドする一対のガイドレール７２．７３が
配設されている。
なお、第１図及び第４図において、８０はワイヤ８１が
挿通されたキャピラリ、８２はキャピラーリ８０が一端
に固定されたボンディングアームを示す。
挿通されたキャピラリ、８２はキャピラーリ８０が一端
に固定されたボンディングアームを示す。
次に作用について説明する。今、１例として第７図に示
すワーク５にはチップ６Ａ、６Ｂがチップボンディング
されており、ワイヤ７Ａ、７Ｂをボンディングする場合
について説明する。基準プレート１０の下面にワーク５
がクランプされる前の状態は、クランパ開閉部材４６及
び支持チャック開閉部材５６が共に前進し、クランパ３
０．３１及び支持チャック５０．５１は開いた状ｙＡに
ある。即ち、クランパ開閉部材４６が前進すると、クラ
ンパ作動レバー３５．３６の押圧部３５ｂ。
すワーク５にはチップ６Ａ、６Ｂがチップボンディング
されており、ワイヤ７Ａ、７Ｂをボンディングする場合
について説明する。基準プレート１０の下面にワーク５
がクランプされる前の状態は、クランパ開閉部材４６及
び支持チャック開閉部材５６が共に前進し、クランパ３
０．３１及び支持チャック５０．５１は開いた状ｙＡに
ある。即ち、クランパ開閉部材４６が前進すると、クラ
ンパ作動レバー３５．３６の押圧部３５ｂ。
３６ｂが押され、クランパ作動レバー３５．３６は支点
軸３７を中心として、第２図において、クランパ作動レ
バー３５は時計方向に、クランパ作動し八−３６は反時
計方向にそれぞれ回動する。
軸３７を中心として、第２図において、クランパ作動レ
バー３５は時計方向に、クランパ作動し八−３６は反時
計方向にそれぞれ回動する。
これにより、クランパ作動レバー３５．３６の長溝３５
ａ、３６ａに係合しているばね掛はピン４０．４１を介
してクランパ３０はばね４４の付勢力に抗して基準プレ
ートＩＯの溝１０ｃに沿って左方向に、クランパ３１は
ばね４５の付勢力に抗して基準プレートｌＯの溝１０ｃ
に沿って右方向に移動し、クランパ３０．３１は開く、
また支持チャック開閉５６が前進すると、支持チャック
５０．５１の斜面５０ａ、５１ａが押され、支持チャッ
ク５０．５１は支点軸５２を中心として、支持チャック
５０は時計方向に、支持チャック５１は反時計方向に回
動し、支持チャック５０．５１は開く。
ａ、３６ａに係合しているばね掛はピン４０．４１を介
してクランパ３０はばね４４の付勢力に抗して基準プレ
ートＩＯの溝１０ｃに沿って左方向に、クランパ３１は
ばね４５の付勢力に抗して基準プレートｌＯの溝１０ｃ
に沿って右方向に移動し、クランパ３０．３１は開く、
また支持チャック開閉５６が前進すると、支持チャック
５０．５１の斜面５０ａ、５１ａが押され、支持チャッ
ク５０．５１は支点軸５２を中心として、支持チャック
５０は時計方向に、支持チャック５１は反時計方向に回
動し、支持チャック５０．５１は開く。
このようにクランパ３０．３１及び支持チャック５０，
５１が開いた状態で、ワーク５がａ置されたキでリッジ
７１がガイドレール７２．７３にガイドされてワーク吸
着ヘッド７０の上方に送られる。すると、ワーク吸着ヘ
ッド７０は２点鎖線で示す位置に上昇し、ワーク５を真
空吸着する。
５１が開いた状態で、ワーク５がａ置されたキでリッジ
７１がガイドレール７２．７３にガイドされてワーク吸
着ヘッド７０の上方に送られる。すると、ワーク吸着ヘ
ッド７０は２点鎖線で示す位置に上昇し、ワーク５を真
空吸着する。
ワーク吸着ヘッド７０がこの状態より更に上昇すると、
ワーク５はキャリッジ７１より取り出され、実線で示す
ようにワーク５のフランジ３の北面が基準プレート１０
の基準面１０ｂに当接させられる。
ワーク５はキャリッジ７１より取り出され、実線で示す
ようにワーク５のフランジ３の北面が基準プレート１０
の基準面１０ｂに当接させられる。
次にクランパ開閉部材４６及び支持チャック開閉部材５
６が後退する。これにより、クランパ３０．３１及び支
持チャック５０．５１は前記と逆にそれぞればね４４．
４５及び５５の付勢力で閉じる。即ち、クランパ３０．
３１によってワーク５のフランジ３の外周をクランプし
、支持チャック５０．５１によってワーク５のリード２
Ｃを挟持する。続いてワーク吸着ヘッド７０の真空が切
れ、ワーク吸着ヘッド７０は下降する。この状態でリー
ド２Ａとチップ６Ａとにワイヤ７Ａがキャピラリ８０に
よってワイヤボンディングが行われる。ここで、ボンデ
ィング前においては、キャピラリ８０はポンチインク位
置より左側に配設され、ボンディング位置の真−ヒには
ボンディング位置を検出するカメラ（図示せず）が配設
されている。そして、ボンディング時にキャピラリ８０
が図示しないボンディングヘッドによってＸ方向（ボン
ディング位置の真上）に移動してからワイヤボンディン
グを行う。
６が後退する。これにより、クランパ３０．３１及び支
持チャック５０．５１は前記と逆にそれぞればね４４．
４５及び５５の付勢力で閉じる。即ち、クランパ３０．
３１によってワーク５のフランジ３の外周をクランプし
、支持チャック５０．５１によってワーク５のリード２
Ｃを挟持する。続いてワーク吸着ヘッド７０の真空が切
れ、ワーク吸着ヘッド７０は下降する。この状態でリー
ド２Ａとチップ６Ａとにワイヤ７Ａがキャピラリ８０に
よってワイヤボンディングが行われる。ここで、ボンデ
ィング前においては、キャピラリ８０はポンチインク位
置より左側に配設され、ボンディング位置の真−ヒには
ボンディング位置を検出するカメラ（図示せず）が配設
されている。そして、ボンディング時にキャピラリ８０
が図示しないボンディングヘッドによってＸ方向（ボン
ディング位置の真上）に移動してからワイヤボンディン
グを行う。
次にラック２１が作動し、ピニオン２０は回動させられ
る。これにより５回転軸１１．１２と共に基準プレート
１０が回動し、ワーク５はクランパ３０．３１にクラン
プされた状態で回動する。
る。これにより５回転軸１１．１２と共に基準プレート
１０が回動し、ワーク５はクランパ３０．３１にクラン
プされた状態で回動する。
そして、ワーク５のリード２Ｂのボンディング面及びチ
ップ６Ｂが水平状態にさせられる。この状態でリード２
Ｂとチップ６Ｂとにワイヤ７Ｂがキャピラリ８０によっ
てワイヤボンディングが行われる。
ップ６Ｂが水平状態にさせられる。この状態でリード２
Ｂとチップ６Ｂとにワイヤ７Ｂがキャピラリ８０によっ
てワイヤボンディングが行われる。
このワイヤ７Ｂをボンディングする時、リード２Ｂは支
持チャック５０．５１によって支持されているので、リ
ード２Ｂへのボンディングが良好に行われる。この支持
チャック５０．５１の機構は、リード２Ｂの剛性が弱い
場合に効果的である。もし、リード２Ｂが適度の剛性を
有する場合には、支持チャック５０．５１の機構は設け
なくてもよい。
持チャック５０．５１によって支持されているので、リ
ード２Ｂへのボンディングが良好に行われる。この支持
チャック５０．５１の機構は、リード２Ｂの剛性が弱い
場合に効果的である。もし、リード２Ｂが適度の剛性を
有する場合には、支持チャック５０．５１の機構は設け
なくてもよい。
ワイヤボンディングが終了すると、ラック２１は前記と
逆方向に作動し、基準プレート１０は元の水平状態に位
置させられる０次に再びワーク吸着ヘッド７０がＪ：′
Ａシてワーク５に当接し、ワーク５を真空吸着する。そ
の後クランパ開閉部材４６及び支持チャック開閉部材５
６が前進する。これによってクランパ３０．３１及び支
持チャック５０．５１は開く、続いてワーク吸着へラド
７０は下降する。これにより、ワーク５はキャリッジ７
１にａ２？される０次にキャリッジ７１が１ピッチ送ら
れ、次のワーク５がワーク吸着ヘッド７０の上方に位置
させられる０以上で一連の作動が終了する。以後前記動
作を繰返し、順次ワーク５にボンディングが行われる。
逆方向に作動し、基準プレート１０は元の水平状態に位
置させられる０次に再びワーク吸着ヘッド７０がＪ：′
Ａシてワーク５に当接し、ワーク５を真空吸着する。そ
の後クランパ開閉部材４６及び支持チャック開閉部材５
６が前進する。これによってクランパ３０．３１及び支
持チャック５０．５１は開く、続いてワーク吸着へラド
７０は下降する。これにより、ワーク５はキャリッジ７
１にａ２？される０次にキャリッジ７１が１ピッチ送ら
れ、次のワーク５がワーク吸着ヘッド７０の上方に位置
させられる０以上で一連の作動が終了する。以後前記動
作を繰返し、順次ワーク５にボンディングが行われる。
前記ワイヤ７Ａ、７Ｂのボンディング時には。
基準プレートｌＯはヒータ６０．６１によって加熱され
ているので、これによってワーク５も加熱され、良好な
ボンディングが行われる。しかし、ヒータ６０．６１は
ワーク５の種類によっては設けなくてもよい。
ているので、これによってワーク５も加熱され、良好な
ボンディングが行われる。しかし、ヒータ６０．６１は
ワーク５の種類によっては設けなくてもよい。
なお、上記実施例においては、ワイヤボンディングの場
合について説明したが、チップボンディングの場合にも
同様に適用できることはいうまでもない。
合について説明したが、チップボンディングの場合にも
同様に適用できることはいうまでもない。
［発明の効果］
以」−の説明から明らかなように、本発明によれば、高
さ方向に回転可崗に支承され中央部にボンディング用の
窓が形成された基準プレートと、この基準プレートを高
さ方向に回転させる回転手段と、前記基準プレートの下
方に上下動可能に配設されワークを基準プレートの窓部
の下面に押し付けるワーク１−下動手段と、前記基準プ
レートの下面に押し付けられたワークをクランプするよ
うに＋ｉｉｉ記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランパと、この一対のクランパを閉じる方
向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設さ
れ前記クランパを開く方向に作動させるクランパ開閉部
材とを備えてなるので、ワークのクランプ及び解除を自
動的に行うことができる。
さ方向に回転可崗に支承され中央部にボンディング用の
窓が形成された基準プレートと、この基準プレートを高
さ方向に回転させる回転手段と、前記基準プレートの下
方に上下動可能に配設されワークを基準プレートの窓部
の下面に押し付けるワーク１−下動手段と、前記基準プ
レートの下面に押し付けられたワークをクランプするよ
うに＋ｉｉｉ記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランパと、この一対のクランパを閉じる方
向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設さ
れ前記クランパを開く方向に作動させるクランパ開閉部
材とを備えてなるので、ワークのクランプ及び解除を自
動的に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す正面断面図。
第２図は第１図の平面図、第３図は第１図のＣ−Ｃ線矢
視図、第４図は第２図のＤ−Ｄ線断面図、第５図は第２
図のＥ−Ｅ線断面図、第６図は第２図のＦ−Ｆ線断面図
、第７図はワークの一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ
）は拡大平面図である。 ２Ａ、２Ｂ、２Ｃ：リード、 ５：ワーク、１０：
基準プレート、 １０ａ ：窓。 ２０：ビニオン、 ２１ニラツク、３０．３１
：クランパ、 ４４．４５：ばね、４６：クランパ開
閉部材、 ５０．５１：支持チャック、 ５５：ばね、 ５６：支持チャック開閉部材、 ６０．６１：ヒータ、 ７０：ワーク吸着ヘッド。 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 （ｂ）
視図、第４図は第２図のＤ−Ｄ線断面図、第５図は第２
図のＥ−Ｅ線断面図、第６図は第２図のＦ−Ｆ線断面図
、第７図はワークの一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ
）は拡大平面図である。 ２Ａ、２Ｂ、２Ｃ：リード、 ５：ワーク、１０：
基準プレート、 １０ａ ：窓。 ２０：ビニオン、 ２１ニラツク、３０．３１
：クランパ、 ４４．４５：ばね、４６：クランパ開
閉部材、 ５０．５１：支持チャック、 ５５：ばね、 ５６：支持チャック開閉部材、 ６０．６１：ヒータ、 ７０：ワーク吸着ヘッド。 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 （ｂ）
Claims (3)
- （１）高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンディ
ング用の窓が形成された基準プレートと、この基準プレ
ートを高さ方向に回転させる回転手段と、前記基準プレ
ートの下方に、上下動可能に配設されワークを基準プレ
ートの窓部の下面に押し付けるワーク上下動手段と、前
記基準プレートの下面に押し付けられたワークをクラン
プするように前記基準プレートの下面に開閉自在に配設
された一対のクランパと、この一対のクランプを閉じる
方向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設
され前記クランプを開く方向に作動させるクランプ開閉
部材とを備えたことを特徴とするボンデイング装置。 - （２）高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンディ
ング用の窓が形成された基準プレートと、この基準プレ
ートを高さ方向に回転させる回転手段と、前記基準プレ
ートの下方に上下動可能に配設されワークを基準プレー
トの窓部の下面に押し付けるワーク上下動手段と、前記
基準プレートの下面に押し付けられたワークをクランプ
するように前記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランプと、この一対のクランパを閉じる方
向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設さ
れ前記クランプを開く方向に作動させるクランプ開閉部
材と、前記基準プレートの上面に配設されワークの立上
つたリードを支持する支持チャックと、この支持チャッ
クが前記リードに圧接するように付勢するばねと、前記
基準プレートの外側に配設され前記支持チャックが前記
リードより離れる方向に作動させる支持チャック開閉部
材とを備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のボンディング装置。 - （３）高さ方向に回転可能に支承され中央部にボンディ
ング用の窓が形成された基準プレートと、この基準プレ
ートを高さ方向に回転させる回転手段と、前記基準プレ
ートの下方に上下動可能に配設されワークを基準プレー
トの窓部の下面に押し付けるワーク上下動手段と、前記
基準プレートの下面に押し付けられたワークをクランプ
するように前記基準プレートの下面に開閉自在に配設さ
れた一対のクランプと、この一対のクランパを閉じる方
向に付勢するばねと、前記基準プレートの外側に配設さ
れ前記クランプを開く方向に作動させるクランプ開閉部
材と、前記基準プレートもしくはこの基準プレートを支
持する回転軸に取付けたヒータとを備えたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238195A JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238195A JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6298626A true JPS6298626A (ja) | 1987-05-08 |
| JPH0680692B2 JPH0680692B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=17026569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60238195A Expired - Lifetime JPH0680692B2 (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680692B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5793200U (ja) * | 1980-11-29 | 1982-06-08 | ||
| JPS5834734U (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置 |
| JPS59117226A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | ボンデイング装置 |
| JPS59195756U (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-26 | 東芝精機株式会社 | 発光素子取付装置 |
| JPS6098633A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60238195A patent/JPH0680692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5793200U (ja) * | 1980-11-29 | 1982-06-08 | ||
| JPS5834734U (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置 |
| JPS59117226A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | ボンデイング装置 |
| JPS59195756U (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-26 | 東芝精機株式会社 | 発光素子取付装置 |
| JPS6098633A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0680692B2 (ja) | 1994-10-12 |
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Legal Events
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