JPS6310060U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の分解斜視図、第２
図はその要部の縦断面図、第３図は従来例の縦断
面図である。 １……研磨治具、３……底板、５……テンプレ
ート、６……位置決め穴。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 底板と、ワークを位置決めする位置決め穴
   が貫設されているテンプレートとを積層して互い
   に固着し、上記底板が少なくとも位置決め穴の底
   面を構成する部分で所定の表面摩擦係数を有する
   ように構成したことを特徴とする、半導体ウエハ
   等の研磨治具。 (2) 表面摩擦係数が０．１以上である実用新案
   登録請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハ等の
   研磨治具。 (3) 上記底板が０．１以上の表面摩擦係数を有
   する部材で形成されている実用新案登録請求の範
   囲第１項に記載の半導体ウエハ等の研磨治具。 (4) 上記底板が０．１を下回る表面摩擦係数を
   有する部材で形成され、その少なくとも位置決め
   穴の底面を構成する部分の表面にグロー放電また
   はスパツタエツチングにより形成された起毛部が
   設けられている実用新案登録請求の範囲第１項に
   記載の半導体ウエハ等の研磨治具。 (5) 上記底板が０．１を下回る表面摩擦係数を
   有する部材で形成され、少なくともその位置決め
   穴の底面を構成する部分の表面にエツチングによ
   り形成された凹凸が形成されている実用新案登録
   請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハ等の研磨
   治具。