JPS62103246U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62103246U JPS62103246U JP19354085U JP19354085U JPS62103246U JP S62103246 U JPS62103246 U JP S62103246U JP 19354085 U JP19354085 U JP 19354085U JP 19354085 U JP19354085 U JP 19354085U JP S62103246 U JPS62103246 U JP S62103246U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- support
- groove
- support rods
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
Description
第１図ａは本考案の半導体基板保持治具で第１
図ｂはそのＢ１―Ｂ２断面図、第２図はその時の
基板挿入図であり、第３図はこの考案に係る従来
の半導体基板保持治具で第３図ｂはそのＡ１―Ａ
２断面図、第３図ｃはその時の基板断面図である
。 １，１―１，１―２，１―ｎは半導体基板、４
１，４２，４３，４４は溝切り支持棒、４１ｂ，
４２ｂ，４３ｂ，４４ｂは溝以外の残し部分、４
１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａは溝切り部分、１
ｓ，１ａ，１ｂ，１ｃは半導体基板、ａ―ａ′は
基板中心線、４５は補助棒、２は上面支持板、８
は吊り枠、３は底面支持板。
図ｂはそのＢ１―Ｂ２断面図、第２図はその時の
基板挿入図であり、第３図はこの考案に係る従来
の半導体基板保持治具で第３図ｂはそのＡ１―Ａ
２断面図、第３図ｃはその時の基板断面図である
。 １，１―１，１―２，１―ｎは半導体基板、４
１，４２，４３，４４は溝切り支持棒、４１ｂ，
４２ｂ，４３ｂ，４４ｂは溝以外の残し部分、４
１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａは溝切り部分、１
ｓ，１ａ，１ｂ，１ｃは半導体基板、ａ―ａ′は
基板中心線、４５は補助棒、２は上面支持板、８
は吊り枠、３は底面支持板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板を保持するための複数の溝を有し、
この基板の直径方向の線上でこの基板を支える第
１及び第２の支持棒と、 上記基板の直径方向からはずれた他の位置でこ
の基板を支える第３の支持棒と、 上記第１と第２の支持棒との間に、上記溝毎に
これら第１と第２の支持棒を結ぶとともに、上面
の高さが上記溝の高さと同じにした補助棒とを有
する半導体基板保持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19354085U JPS62103246U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19354085U JPS62103246U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103246U true JPS62103246U (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=31149655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19354085U Pending JPS62103246U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103246U (ja) |
-
1985
- 1985-12-18 JP JP19354085U patent/JPS62103246U/ja active Pending