JPS6333633U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6333633U JPS6333633U JP1986127504U JP12750486U JPS6333633U JP S6333633 U JPS6333633 U JP S6333633U JP 1986127504 U JP1986127504 U JP 1986127504U JP 12750486 U JP12750486 U JP 12750486U JP S6333633 U JPS6333633 U JP S6333633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- semiconductor wafer
- wafer support
- semiconductor
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造治具の平面図
であり、第２図は第１図の線―に沿う横断面
図である。また第３図は在来の半導体製造治具の
略示斜視図である。 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ……第１の半導体ウエ
ーハ支持部材、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ……半導
体ウエーハの嵌装支持溝、１２ａ，１２ｂ，１２
ｃ……半導体ウエーハの嵌装支持溝、１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ……第２の半導体ウエーハ支持部材
、２０ａ……第１の半導体ウエーハ、２１ａ……
第２の半導体ウエーハ。
であり、第２図は第１図の線―に沿う横断面
図である。また第３図は在来の半導体製造治具の
略示斜視図である。 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ……第１の半導体ウエ
ーハ支持部材、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ……半導
体ウエーハの嵌装支持溝、１２ａ，１２ｂ，１２
ｃ……半導体ウエーハの嵌装支持溝、１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ……第２の半導体ウエーハ支持部材
、２０ａ……第１の半導体ウエーハ、２１ａ……
第２の半導体ウエーハ。
Claims (1)
- 所定間隔で半導体ウエーハの嵌装支持溝を整列
形成した第１の半導体ウエーハ支持部材と、該第
１の半導体ウエーハ支持部材と同一の間隔で半導
体ウエーハの嵌装支持溝を整列形成した第２の半
導体ウエーハ支持部材とからなり、第１の半導体
ウエーハ支持部材および第２の半導体ウエーハ支
持部材を両者の半導体ウエーハの嵌装支持溝が接
近または離隔するよう相対的にスライド可能に構
成したことを特徴とする半導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986127504U JPS6333633U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986127504U JPS6333633U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6333633U true JPS6333633U (ja) | 1988-03-04 |
Family
ID=31022319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986127504U Pending JPS6333633U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6333633U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006086243A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用ボート |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP1986127504U patent/JPS6333633U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006086243A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用ボート |