JPS63102848A - 真空吸着台 - Google Patents
真空吸着台Info
- Publication number
- JPS63102848A JPS63102848A JP61247687A JP24768786A JPS63102848A JP S63102848 A JPS63102848 A JP S63102848A JP 61247687 A JP61247687 A JP 61247687A JP 24768786 A JP24768786 A JP 24768786A JP S63102848 A JPS63102848 A JP S63102848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- plate
- valve
- vacuum
- suction hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体ウニ八−やガラスマスクなどの薄板
体を真空吸着して保持する真空吸着台に関するものであ
る。
体を真空吸着して保持する真空吸着台に関するものであ
る。
半導体を製造する際に用いられるレジスト塗布装置、ス
ピンドライヤー、マスクアライナ−、パターン検査装置
などには、半導体ウニ八−やガラスマスク等の薄板体を
真空吸着して保持する真空吸着台が使用されている。
ピンドライヤー、マスクアライナ−、パターン検査装置
などには、半導体ウニ八−やガラスマスク等の薄板体を
真空吸着して保持する真空吸着台が使用されている。
第２図は従来の真空吸着台の一例を示すもので、Ａは平
面図、ＢはＡのＢ−Ｂｌの断面図である。
面図、ＢはＡのＢ−Ｂｌの断面図である。
図において、１は台板、ＩＩＬはその凹部で、円形状の
横断面形状を有する。２ば円形状の板状体からなり、上
記凹部１ａの開口端部側を覆うように台板１に固着され
る吸着板で、その上に真空吸着する薄板体（図示せず）
が載置される。３は１ｍ程度の直径を有し吸着板２を貫
通するように複数個形成された吸着孔で、吸着板２の上
面に載置された薄板体（図示せず）を真空吸着する。４
は一端が台板１の側壁を貫通して固着され、他端が真空
装置（図示せず）に接続されるニップルである。
横断面形状を有する。２ば円形状の板状体からなり、上
記凹部１ａの開口端部側を覆うように台板１に固着され
る吸着板で、その上に真空吸着する薄板体（図示せず）
が載置される。３は１ｍ程度の直径を有し吸着板２を貫
通するように複数個形成された吸着孔で、吸着板２の上
面に載置された薄板体（図示せず）を真空吸着する。４
は一端が台板１の側壁を貫通して固着され、他端が真空
装置（図示せず）に接続されるニップルである。
次に、この従来の真空吸着台の動作を第３図Ａで説明す
る。図に示すように、吸着板２の上面に全部の吸着孔３
を閉鎖することができる横断面形状を有する薄板体５ａ
をＭｆｅ！した場合は、凹部１ａ内をニップル４を通じ
て真空にすることができるので、吸着板２の上面に薄板
体５ａを真空吸着して保持することができる。
る。図に示すように、吸着板２の上面に全部の吸着孔３
を閉鎖することができる横断面形状を有する薄板体５ａ
をＭｆｅ！した場合は、凹部１ａ内をニップル４を通じ
て真空にすることができるので、吸着板２の上面に薄板
体５ａを真空吸着して保持することができる。
ところが以上に示した従来の真空吸着台では、第３図Ａ
の様に吸着板２の吸着孔３の全てを塞ぐ様な薄板体５ａ
であれば、上記の様に吸着板２の上面に完全に真空吸着
でき保持することができるが、第３図Ｂに示すような吸
着板２の上面の全部の吸着孔３を塞ぐことができない横
１ｔｌｒ面形状を有する薄板体５ｂが載置された場合に
は、薄板体５ｂによって塞がれていない吸着孔３を通じ
て外気が凹部１ａ内に流入し、凹部１ａ内を真空状態に
保つことができなくなるため、吸着板２の上面に載置さ
れた薄板体５ｂを真空吸着して保持することが不可能で
あるという問題があった。
の様に吸着板２の吸着孔３の全てを塞ぐ様な薄板体５ａ
であれば、上記の様に吸着板２の上面に完全に真空吸着
でき保持することができるが、第３図Ｂに示すような吸
着板２の上面の全部の吸着孔３を塞ぐことができない横
１ｔｌｒ面形状を有する薄板体５ｂが載置された場合に
は、薄板体５ｂによって塞がれていない吸着孔３を通じ
て外気が凹部１ａ内に流入し、凹部１ａ内を真空状態に
保つことができなくなるため、吸着板２の上面に載置さ
れた薄板体５ｂを真空吸着して保持することが不可能で
あるという問題があった。
そこでこの問題点を解決する方法として、第４図に示す
真空吸着台が提案されている。即ち、吸着孔３の直下に
弁室２ａを設けるとともに、成る角度θで曲げられた板
状弁６が弁受け７に第２の吸着孔８を塞ぐように設けら
れている。
真空吸着台が提案されている。即ち、吸着孔３の直下に
弁室２ａを設けるとともに、成る角度θで曲げられた板
状弁６が弁受け７に第２の吸着孔８を塞ぐように設けら
れている。
この様に形成した真空吸着台を用いて薄板体５ｂを真空
吸着すると、吸着板２上に載置された薄板体５ｂによっ
て吸着孔３が塞がれている場合には、板状弁６を押し下
げる力が作用しないので、弁室２ａと第２の吸着孔８は
通じており、薄板体５ｂを真空吸着できる。一方、第４
図Ａの左半分に示す様に、吸着板２の吸着孔３が閉鎖さ
れていない場合には、吸着孔３を通して弁室２ａ内へ流
入する外気の圧力によって、板状弁６ａが弁受け７へ押
し付けられて外気の流路を閉鎖するので、第３図Ａに示
した真空吸着台の様に台板１の凹部１ａ内の真空状態を
保つことができるというものである。
吸着すると、吸着板２上に載置された薄板体５ｂによっ
て吸着孔３が塞がれている場合には、板状弁６を押し下
げる力が作用しないので、弁室２ａと第２の吸着孔８は
通じており、薄板体５ｂを真空吸着できる。一方、第４
図Ａの左半分に示す様に、吸着板２の吸着孔３が閉鎖さ
れていない場合には、吸着孔３を通して弁室２ａ内へ流
入する外気の圧力によって、板状弁６ａが弁受け７へ押
し付けられて外気の流路を閉鎖するので、第３図Ａに示
した真空吸着台の様に台板１の凹部１ａ内の真空状態を
保つことができるというものである。
ここで、板状弁６の材質としては、ｔｏ、０５〜０．１
臘程度のシリコンゴム板等が用いられており、これらシ
リコンゴム等の薄板を一定の角度θで曲げ加工するのは
非常に困難で、角度θが大きくなると板状弁６が第２の
吸着孔８を塞ぐことができなくなるため、薄板体５ｂを
真空吸着することができない。又、角度θが小さ過ぎる
と、第２の吸着孔８が常に塞がった状態となるため、同
様に薄板体５ｂを真空吸着することができない等板状弁
６の曲げ角度θをきびしくコント党−ルする必要があり
、量産性の低いものであった。
臘程度のシリコンゴム板等が用いられており、これらシ
リコンゴム等の薄板を一定の角度θで曲げ加工するのは
非常に困難で、角度θが大きくなると板状弁６が第２の
吸着孔８を塞ぐことができなくなるため、薄板体５ｂを
真空吸着することができない。又、角度θが小さ過ぎる
と、第２の吸着孔８が常に塞がった状態となるため、同
様に薄板体５ｂを真空吸着することができない等板状弁
６の曲げ角度θをきびしくコント党−ルする必要があり
、量産性の低いものであった。
この発明は、上記従来の問題点を解決するためのもので
、吸着板の吸着孔を全て塞ぐことのできない横断面形状
を有する薄板体でも真空吸着して、確実に保持できるよ
うにした真空吸着台を提供するものである。
、吸着板の吸着孔を全て塞ぐことのできない横断面形状
を有する薄板体でも真空吸着して、確実に保持できるよ
うにした真空吸着台を提供するものである。
この発明による真空吸着台は、吸着孔の全てに、吸着孔
が開放状態になった時流入する外気によって閉鎖状態に
なる板状弁を設けるとともに、この板状弁の弁受は部分
に板状弁の角度を一定に保つための突起を設けたもので
ある。
が開放状態になった時流入する外気によって閉鎖状態に
なる板状弁を設けるとともに、この板状弁の弁受は部分
に板状弁の角度を一定に保つための突起を設けたもので
ある。
この発明における突起により、板状弁の角度を一定にで
きるため、薄板体の大小にかかわらず確実に真空吸着す
ることができるようになる。
きるため、薄板体の大小にかかわらず確実に真空吸着す
ることができるようになる。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、図に
おいて、１〜８は第４図に示したものと同様のものであ
り、９は弁受け７上の第２の吸着孔８の周りに設けられ
た突起である。
おいて、１〜８は第４図に示したものと同様のものであ
り、９は弁受け７上の第２の吸着孔８の周りに設けられ
た突起である。
この様に形成した真空吸着台を用いて薄板体５ｂを真空
吸着すると、吸着板２上に載置された薄板体５ｂによっ
て吸着孔３が塞がれている場合には、板状弁６を押し下
げる力が作用しないので、弁室２ａと第２の吸着孔８は
通じており、薄板体５ｂを真空吸着できる。一方、第１
図Ａの左半分に示す様に、吸着板２の吸着孔３が閉鎖さ
れていない場合には、吸着孔３を通して弁室２ａ内へ流
入する外気の圧力によって、板状弁６ａのように弁受け
７へ押し付けられて外気の流路を閉鎖するので、台板１
の凹部１ａ内の真空状態を保つことができる。
吸着すると、吸着板２上に載置された薄板体５ｂによっ
て吸着孔３が塞がれている場合には、板状弁６を押し下
げる力が作用しないので、弁室２ａと第２の吸着孔８は
通じており、薄板体５ｂを真空吸着できる。一方、第１
図Ａの左半分に示す様に、吸着板２の吸着孔３が閉鎖さ
れていない場合には、吸着孔３を通して弁室２ａ内へ流
入する外気の圧力によって、板状弁６ａのように弁受け
７へ押し付けられて外気の流路を閉鎖するので、台板１
の凹部１ａ内の真空状態を保つことができる。
ここで従来の真空吸着台では、板状弁６の角度θが一定
でないため薄板体５ｂを真空吸着できない場合が生じた
カ一本発明の真空吸着台では、板状弁６の角度θが、全
て一定になるため、薄板体５ｂを確実に吸着することが
できる。
でないため薄板体５ｂを真空吸着できない場合が生じた
カ一本発明の真空吸着台では、板状弁６の角度θが、全
て一定になるため、薄板体５ｂを確実に吸着することが
できる。
なお突起９の高さ、幅等は、板状弁６の材質、厚さ又は
希望する角度θにより決めれば良い。
希望する角度θにより決めれば良い。
以上説明したように、この発明の真空吸着台では、薄板
体を真空吸着する吸着板の吸着孔が薄板体によって塞が
れているとき、板状弁は開放状態になり、塞がれていな
いときには吸着孔を通して流入する外気の圧力によって
閉鎖状態になる板状弁を設け、かつ弁受は部に板状弁の
角度を一定に保つ突起を設けたもので、吸着板の吸着孔
の全部を塞ぐことができない横断面形状を有する薄板体
や、そり又はうね鴫のある薄板体でも一部が吸着口を閉
鎖すれば、真空吸着することができるとともに、板状弁
の角度を全く無調整で、単に組立てるだけで常に一定に
なるｔこめ、非常に量産性の高い真空吸着台が得られる
効果がある。
体を真空吸着する吸着板の吸着孔が薄板体によって塞が
れているとき、板状弁は開放状態になり、塞がれていな
いときには吸着孔を通して流入する外気の圧力によって
閉鎖状態になる板状弁を設け、かつ弁受は部に板状弁の
角度を一定に保つ突起を設けたもので、吸着板の吸着孔
の全部を塞ぐことができない横断面形状を有する薄板体
や、そり又はうね鴫のある薄板体でも一部が吸着口を閉
鎖すれば、真空吸着することができるとともに、板状弁
の角度を全く無調整で、単に組立てるだけで常に一定に
なるｔこめ、非常に量産性の高い真空吸着台が得られる
効果がある。
第１図Ａはこの発明の一実施例を示す断面図、第１図、
ＢはＡ図の一部の拡大図、第２図は従来の真空吸着台を
示すもので、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−ＢＩ３断面図、
第３図Ａ、Ｂはその作用説明図、第４図は他の従来例を
示すもので、Ａは断面図、Ｂは一部の拡大図である。 図中、１は白板、２は吸着板、２ａは弁室、３は吸着孔
、５ｂは薄板体、６，６ａは板状弁、７は弁受け、８は
第２の吸着孔、９は突起である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
ＢはＡ図の一部の拡大図、第２図は従来の真空吸着台を
示すもので、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−ＢＩ３断面図、
第３図Ａ、Ｂはその作用説明図、第４図は他の従来例を
示すもので、Ａは断面図、Ｂは一部の拡大図である。 図中、１は白板、２は吸着板、２ａは弁室、３は吸着孔
、５ｂは薄板体、６，６ａは板状弁、７は弁受け、８は
第２の吸着孔、９は突起である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 薄板体を真空吸着する複数個の吸着孔が形成された吸
着板を有する真空吸着台であって、上記吸着孔の全てに
、それぞれ該吸着孔に連通し該吸着孔が上記薄板体によ
って塞がれている時には開放状態となり、塞がれていな
い時には上記吸着孔を通して流入する外気によって閉鎖
状態になる板状弁を有する真空吸着台において、上記板
状弁の弁受け部分に上記板状弁の角度を一定に保つため
の突起を設けたことを特徴とする真空吸着台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61247687A JPS63102848A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 真空吸着台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61247687A JPS63102848A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 真空吸着台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102848A true JPS63102848A (ja) | 1988-05-07 |
Family
ID=17167150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61247687A Pending JPS63102848A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 真空吸着台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63102848A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5749614A (en) * | 1995-12-04 | 1998-05-12 | Motorola, Inc. | Vacuum pickup tool for placing balls in a customized pattern |
| US6139079A (en) * | 1997-10-20 | 2000-10-31 | Motorola, Inc. | Universal transport apparatus |
| US6202292B1 (en) * | 1998-08-26 | 2001-03-20 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for removing carrier film from a semiconductor die |
| JP2002350483A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
| WO2007114331A1 (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Miraial Co., Ltd. | 薄板収納容器 |
| JP2007281053A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Miraial Kk | 薄板収納容器 |
| CN110919038A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-03-27 | 盐城服务业集聚区投资有限公司 | 一种新型板材加工设备 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP61247687A patent/JPS63102848A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5749614A (en) * | 1995-12-04 | 1998-05-12 | Motorola, Inc. | Vacuum pickup tool for placing balls in a customized pattern |
| US6139079A (en) * | 1997-10-20 | 2000-10-31 | Motorola, Inc. | Universal transport apparatus |
| US6202292B1 (en) * | 1998-08-26 | 2001-03-20 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for removing carrier film from a semiconductor die |
| US6505395B1 (en) | 1998-08-26 | 2003-01-14 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for removing carrier tape from a singulated die |
| US6658718B2 (en) | 1998-08-26 | 2003-12-09 | Micron Technology, Inc. | Method for removing carrier film from a singulated die |
| US6751853B2 (en) | 1998-08-26 | 2004-06-22 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and system for removing carrier film from a singulated die |
| JP2002350483A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
| WO2007114331A1 (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Miraial Co., Ltd. | 薄板収納容器 |
| JP2007281053A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Miraial Kk | 薄板収納容器 |
| CN110919038A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-03-27 | 盐城服务业集聚区投资有限公司 | 一种新型板材加工设备 |
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