JPS63103064A - 膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、少なくとも真空蒸着によって、あるいは真
空蒸着とイオンビーム照射を併用することによって、試
料の表面に膜を形成する膜形成装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図および第３図は、それぞれ、従来の膜形成装置の
例を示す概略図であり、いずれも真空蒸着とイオンビー
ム照射を併用可能なものである。

即ち、図示しない真空ポンプによって真空引きされる真
空容器２内に、回転式のホルダ４に装着されて試料６が
収納されており、当該試料６に対して、真空容器２内に
収納された蒸発源８からの蒸発物質１０の蒸着と、真空
容器２に取り付けられたイオン源１２からのイオンビー
ム１４の照射を併用することによって、試料６の表面に
膜を形成するようにしている。

（発明が解決しようとする問題点〕 ところが上記のような従来の膜形成装置においては、次
のような問題点がある。

■　蒸発源８からの蒸発物質１０の付着によって、真空
容器２内の殆ど全体が汚れてしまう。ちなみにこれを放
置しておくと、付着物質からのアウトガスにより真空度
が悪化したり、付着物質の剥離混入によってイオン源１
２や蒸発源８において放電等のトラブルが発生したりす
る。

■　真空容器２が分割できない等のために、真空容器２
内部の清掃等の保守作業が困難である。

またその作業の際に真空容器２内の付着物質が塵埃とな
って外部に拡散する恐れがあるため、当該膜形成装置が
通常設置されるクリーンルーム内では清掃作業ができず
、これが保守作業を一層困難にしている。

そこでこの発明は、真空容器内の汚れを最小限に抑える
と共に、その内部の清掃等の保守作業が容易に行えるよ
うにした膜形成装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の膜形成装置は、真空容器を試料を収納する試
料室側と蒸発源を収納した蒸発源室側とに分割して蒸発
源室側を取り外し可能にし、かつ両室間に蒸発源からの
蒸発物質を試料に輸送するための開口部を有する仕切板
であって蒸発源室と共に取り外し可能なものを設け、更
に少なくとも仕切仮にそれの冷却手段を設けていること
を特徴とする。

〔作用〕

蒸発源室内の蒸発源による試料室内の試料に対する真空
蒸着は、両室間に設けられた仕切板の開口部を通して行
われる。従って、試料室内の蒸発物質による汚れを最小
限に抑えることができる。

また、蒸発源室を取り外し可能にしているため、真空容
器内部の清掃等の保守作業を容易に行うことができる。

〔実施例〕

第１図は、この発明の一実施例に係る膜形成装置を示す
概略図である。第２図あるいは第３図と同等部分には同
一符号を付し、以下においては従来例との相違点を主に
説明する。

この実施例においては、真空容器２を、試料６をホルダ
４に装着して収納する試料室１６側と、この例では２台
の蒸発源８ａ、８ｂを収納した蒸発源室１８側とに分割
して蒸発源室工８側を取り外し可能にしており、かつ両
室１６．１８間にそこを仕切るための仕切板２０を設け
ている。１７．１９は分割構造のためのフランジであり
、その部分は図示しないＯリング等によって真空シール
されている。また仕切板２０は、フランジ１９あるいは
蒸発源室１８に固定されていて蒸発源室１８と共に取り
外しできるようにされている。

ところでこの例では、試料室１６の左右に高エネルギー
（例えばＬＫｅＶ〜５ＱＫｅＶ程度の範囲）のイオンビ
ーム１４ａを発生し得る高エネルギーイオン源１２ａと
、低エネルギー（例えば５０ｅＶ〜ＩＫｅＶ程度の範囲
）のイオンビームＩ４ｂを発生し得る低エネルギーイオ
ン源１２ｂを配置して、ホルダ駆動装置２６によってホ
ルダ４を矢印Ａのように回転させて両イオン源１２ａ、
１２ｂおよび両蒸発源８ａ、８ｂの使い分けを可能にし
ており、そのために仕切仮２０には、高エネルギーイオ
ン源１２ａ側に向けられた試料６に蒸発源８ａからの蒸
発物質１０ａを輸送して蒸着させるための開口部２２ａ
と、低エネルギーイオンｍ１Ｚｂ側に向けられた試料６
に蒸発ｒＡａｂからの蒸発物質１０ｂを輸送して蒸着さ
せるための開口部２２ｂを設けている。

この場合、両開口部２２ａ、２２ｂは、必要最小限の大
きさ、例えば、少なくとも蒸発物質１０ａ、１０ｂを試
料６およびその近傍に設けられた膜厚モニタ（図示省略
）に輸送するのに必要最小限の大きさ、あるいはそれに
加えて試料室１６の外側から蒸着中の蒸発源８ａ、８ｂ
の観察をも行うのに必要最小限の大きさにするのが好ま
しい。

もっとも必要があれば、開口部２２ａ、２２ｂを上記の
ような目的に応じてそれぞれ複数の開口部に分けても良
い。

また仕切板２０には、蒸発源３ａ、８ｂからの輻射熱に
よる温度上昇を抑えるために、それの冷却手段として冷
却水配管２４を設けている。更に、蒸発源８ａ、８ｂが
蒸発源室１８の側壁の近くに設けられている場合は、こ
の例のように蒸発源室１８の側壁にも冷却水配管２４を
設けるのが好ましい。

尚、この例では、試料室１６側を図示しない架台に固定
し、蒸発源室１８側は試料室１６側にぷら下がるような
構造としている。

上記装置においては、真空容器２を試料室６と蒸発源室
１８とに分けて両室間を必要最小限の開口部２２ａ、２
２ｂを有する仕切板２０で仕切っているため、蒸発物質
ｔＯａ、１０ｂによる試料室１６内の汚れを最小限に抑
えることができる。

また、蒸発源室１８側を取り外し可能にしているため、
真空容器２の内部、即ち試料室１６および蒸発源室１８
の内部の清掃等の保守作業を容易に行うことができる。

しかも、従来の装置ではクリーンルーム外でしか内部の
保守作業ができなかったけれども、この装置では試料室
１６内は殆ど汚れないため、汚れ易い蒸発源室１８側の
みを仕切板２０で蓋をした状態でクリーンルーム以外の
場所へ移動させてそこで保守作業をすれば良く、この点
からも保守作業が一層容易となる。

更に、仕切板２０や更には蒸発源室１日の側壁をも冷却
できるようにしているため、それらからのアウトガスが
抑えられて良好な膜形成が可能であると共に、それらに
対する付着物質の密着性が阻害されるため付着物質の除
去も容易となる。

また、この実施例のように高エネルギーイオン源１２ａ
と低エネルギーイオン源１２ｂを設けて、同一の試料６
に対する膜形成の初期においては前者を、それ以降にお
いては後者を用いれば、単一のイオン源では困難であっ
た密着力が良好でしかも照射損傷の少ない膜を試料６の
表面に形成することができる。

尚、上記実施例はイオン源および蒸発源がそれぞれ２台
ずつの場合を例示したが、それらの台数はそれに限られ
るものではなく任意である。

また、単に真空蒸着によって試料６に膜形成するのであ
れば、膜形成手段としては少なくとも蒸発源を備えてお
れば良く、イオン源は必ずしも設けなくても良い。

〔発明の効果〕

以゛上のようにこの発明によれば、真空容器内の蒸発物
質による汚れを最小限に抑えることができると共に、真
空容器内部の清掃等の保守作業が容易に行えるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例に係る膜形成装置を示す
概略図である。第２図および第３図は、それぞれ、従来
の膜形成装置の例を示す概略図である。 ２・・・真空容器、６・・・試料、３ａ、３ｂ・・・蒸
発源、１０ａ、１０ｂ・−・蒸発物質、１２ａ。 １２ｂ・・・イオン源、１６・・・試料室、１８・・・
蒸発源室、２０・・・仕切板、２２ａ、２２ｂ・・・開
口部、２４・・・冷却水配管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器およびその中に収納される試料に対する
   膜形成手段として少なくとも蒸発源を備える膜形成装置
   において、真空容器を試料を収納する試料室側と蒸発源
   を収納した蒸発源室側とに分割して蒸発源室側を取り外
   し可能にし、かつ両室間に蒸発源からの蒸発物質を試料
   に輸送するための開口部を有する仕切板であって蒸発源
   室と共に取り外し可能なものを設け、更に少なくとも仕
   切板にそれの冷却手段を設けていることを特徴とする膜
   形成装置。