JPS63104301A - 感温抵抗器の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一般の民生、産業機器に利用される感温抵抗
器の製造方法に関するものである。

従来の技術 従来、感温抵抗器用薄膜を製作する際、所定の抵抗温度
係数を得るためには、蒸着材料の組成調整や膜厚調整、
その他蒸着条件の調整で行なっていた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の方法では、同一材料で任意の抵抗温度
係数をもつ薄膜を生成したり、逆に合金材料を使用した
場合、複数ロットの同一温度係数をもつ薄膜を生成する
ことが困難であるという問題がある。

本発明はこのような問題点を解決するもので、種々の温
度係数を有する薄膜を効率的に生成することを目的とし
たものである。

問題点を解決するだめの手段 本発明は上記問題点を解決するため、真空蒸着。

スパンタリング法を用いて薄膜を生成する際、二層構造
とし、下層側に低温度係数の薄膜を生成し、上層側に高
温度係数の薄膜を生成させるようにしたものである。

作用 この方法により、下層側の低温度係数薄膜の膜厚を変え
て広範囲の抵抗温度係数をもつ薄膜を生成することがで
きる。また、上層側に蒸気圧差の大きい材料組成の合金
材料を用いた場合でも同様にして抵抗温度係数の違う薄
膜や同一の薄膜を複数ロット生成することができる。

実施例 下層側の材料としてＮｉＣｒ　（Ｎｉ　　；　ｓｏωｔ
％・Ｃｒ：２０ωｔつ）を使用し、上層側の材料として
Ｎｉ　（純度９９−９９　’？ｉ　）を使用して、Ｎｉ
Ｃｒの膜厚を変えて試料を製作した。

第１図は膜厚モニターによりＮｉＣｒの膜厚を５０人、
１００人、１５０人にした場合の抵抗温度係数を３０ツ
トづつ示したものである。第１図よりわかるように、下
層側の低温度係数膜を操作することにより全体の抵抗温
度係数を制御することができる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、低抵抗温度係数の膜（下
層側）と高抵抗温度係数の膜（上層側）の二層構造によ
り、種々の抵抗温度係数を有する薄膜を効率的に生成す
ることができるっ

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例におけるＮｉＣｒ　（Ｎｉ；８０
ωｔ％、Ｃｒ：２ｏωｔ％）と純Ｎｉ（純度９９．９９
％）の二層構造にした場合のＮｉＣｒ膜厚に対する抵抗
温度係数を示す特性図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　感温抵抗器用薄膜を蒸着法、スパッタ法等で形成する
   際、下層側に低温度係数をもつ薄膜を形成し、上層に高
   温度係数の薄膜を重ねて形成して温度係数を調整するこ
   とを特徴とする感温抵抗器の製造方法。