JPS6310546A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS6310546A JPS6310546A JP15551086A JP15551086A JPS6310546A JP S6310546 A JPS6310546 A JP S6310546A JP 15551086 A JP15551086 A JP 15551086A JP 15551086 A JP15551086 A JP 15551086A JP S6310546 A JPS6310546 A JP S6310546A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center
- semiconductor element
- lid member
- ultraviolet
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 16
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体素子を内部に収蔵するパッケージの張
部材に、紫外線透過窓が設けられた、紫外線消去型プロ
グラム可能読出し専用メモリ(UVPROM)などの半
導体装置に関する。
部材に、紫外線透過窓が設けられた、紫外線消去型プロ
グラム可能読出し専用メモリ(UVPROM)などの半
導体装置に関する。
この種の従来のUVPROMは、第2図(a)の断面図
、同図(b)の平面図に示すように、絶縁基体lの中央
のキャビティ2に半導体素子3を固着した後、素子3の
電極と内部リード4との間を金属細線で接続し、つぎに
、絶縁基体1と外周縁を一致させてかぶせる絶縁体の蓋
板9の中心部、すなわち、絶縁基体1上の半導体素子3
の真上に位置する部分に、紫外線透過ガラス窓10が設
けられた絶縁体の蓋部材8を、その下面に付着させであ
る封止材11を用いて封止していた。
、同図(b)の平面図に示すように、絶縁基体lの中央
のキャビティ2に半導体素子3を固着した後、素子3の
電極と内部リード4との間を金属細線で接続し、つぎに
、絶縁基体1と外周縁を一致させてかぶせる絶縁体の蓋
板9の中心部、すなわち、絶縁基体1上の半導体素子3
の真上に位置する部分に、紫外線透過ガラス窓10が設
けられた絶縁体の蓋部材8を、その下面に付着させであ
る封止材11を用いて封止していた。
上述した従来のUVPROMタイプの半導体装置は、紫
外線透過ガラス窓が蓋部材の中心に取付けである為、集
積度が高くなり半導体素子も当然大きくなると、紫外1
M透過ガラス窓も大きくしなければならない。又半導体
素子上に形成する回路で、凡OM部分が端によっている
場合も同様に大きくしなければならない。絶縁体の蓋部
材に取付ける紫外線透過ガラス窓は、パッケージの形状
により必要以上に大きくすると蓋部材と紫外線透過ガラ
ス窓の熱膨張の違いKよりクラックが人たり、又は機械
的強度の劣化が起り、安定な品質を有するUVPR,0
Mタイプの半導体装置を提供する事が出来ない欠点があ
った。
外線透過ガラス窓が蓋部材の中心に取付けである為、集
積度が高くなり半導体素子も当然大きくなると、紫外1
M透過ガラス窓も大きくしなければならない。又半導体
素子上に形成する回路で、凡OM部分が端によっている
場合も同様に大きくしなければならない。絶縁体の蓋部
材に取付ける紫外線透過ガラス窓は、パッケージの形状
により必要以上に大きくすると蓋部材と紫外線透過ガラ
ス窓の熱膨張の違いKよりクラックが人たり、又は機械
的強度の劣化が起り、安定な品質を有するUVPR,0
Mタイプの半導体装置を提供する事が出来ない欠点があ
った。
本発明の半導体装置は、絶縁体の蓋部材に設けた紫外線
透過窓が蓋部材の中心より横方向にずれた位置に取付け
ている。これはとりもなおさず、この蓋部材を、半導体
素子が固着された絶縁基体にかぶせて封止した際に、前
記半導体素子の中心く対し横方向にずれた位ftKある
ことになる。
透過窓が蓋部材の中心より横方向にずれた位置に取付け
ている。これはとりもなおさず、この蓋部材を、半導体
素子が固着された絶縁基体にかぶせて封止した際に、前
記半導体素子の中心く対し横方向にずれた位ftKある
ことになる。
つぎに本発明を実施例により説明する。
第1図(a)は本発明の一実施例の断面図、同図(b)
は平面図である。これらの図において、これを第2図(
a) 、 (b)の従来例と比べた場合、蓋部材5の有
する紫外線透過ガラス窓7の位置が、絶縁基体1の中央
のキャビティ2に半導体素子3を固着し、絶縁基体1と
外周縁を一致させて蓋部材5をかぶせて封止した場合、
半導体素子3の中心C,テ対し、紫外線透過ガラス窓の
中心C2が横方向にdだけすれるように、これは蓋板6
の〒心に対しても同様にずらして、紫外線透過ガラス窓
7を蓋板6に取付けていることが従来例と違うところで
あってその他は同様である。なお、ずれ量dは、紫外線
透過ガラス窓7の直径以内であることが望ましい。
は平面図である。これらの図において、これを第2図(
a) 、 (b)の従来例と比べた場合、蓋部材5の有
する紫外線透過ガラス窓7の位置が、絶縁基体1の中央
のキャビティ2に半導体素子3を固着し、絶縁基体1と
外周縁を一致させて蓋部材5をかぶせて封止した場合、
半導体素子3の中心C,テ対し、紫外線透過ガラス窓の
中心C2が横方向にdだけすれるように、これは蓋板6
の〒心に対しても同様にずらして、紫外線透過ガラス窓
7を蓋板6に取付けていることが従来例と違うところで
あってその他は同様である。なお、ずれ量dは、紫外線
透過ガラス窓7の直径以内であることが望ましい。
以上説明した様に本発明は絶縁体の蓋板に取付ける紫外
線透過ガラス窓の中心位置をずらしである為、大型の半
導体素子の回路のR,0M9分を半導体素子の端部に回
路設計すれば、半導体素子の大きさに合せて紫外線透過
ガラス窓を大きくする必要がなくなる。
線透過ガラス窓の中心位置をずらしである為、大型の半
導体素子の回路のR,0M9分を半導体素子の端部に回
路設計すれば、半導体素子の大きさに合せて紫外線透過
ガラス窓を大きくする必要がなくなる。
従って、機械的強度及び気密性の劣化することな(UV
P几ONlタイプの半導体装置を提供する事が出来る。
P几ONlタイプの半導体装置を提供する事が出来る。
第1図(a)は本発明の一実施例の断面図、同図(b)
は平面図、第2図(a)は従来のU V P kLOM
の断面図、同図(b)は平面図である。 1・・・・・・絶縁基体、2・・・・・・キャビティ、
3・・・・・・半導体素子、4・・・・・・内部配線、
5,8・・・・・・蓋部材、6.9・・・・・・蓋板、
7,10・・・・・・紫外線透過窓、11・・・・・・
封止材。 珀 l 図 筋2図
は平面図、第2図(a)は従来のU V P kLOM
の断面図、同図(b)は平面図である。 1・・・・・・絶縁基体、2・・・・・・キャビティ、
3・・・・・・半導体素子、4・・・・・・内部配線、
5,8・・・・・・蓋部材、6.9・・・・・・蓋板、
7,10・・・・・・紫外線透過窓、11・・・・・・
封止材。 珀 l 図 筋2図
Claims (3)
- (1)絶縁基体のキャビティ底部に半導体素子を固着し
、紫外線透過窓が設けられた蓋部材を前記絶縁基体に重
ねて封止してなる半導体装置において、前記蓋部材の紫
外線透過窓の中心が前記絶縁基体の半導体素子の中心に
対し横方向にずれた位置にあることを特徴とする半導体
装置。 - (2)上記半導体素子の固着された絶縁基体のキャビテ
ィは上記絶縁基体の中央に位置し、かつ、上記蓋部材に
設けられた紫外線透過窓はこの蓋部材の中心からずれた
位置に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の半導体装置。 - (3)上記半導体素子と紫外線透過窓との間のずれ量は
前記紫外線透過窓の直径以内であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項または第2項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15551086A JPS6310546A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15551086A JPS6310546A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310546A true JPS6310546A (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15607627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15551086A Pending JPS6310546A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310546A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02119350U (ja) * | 1989-03-14 | 1990-09-26 | ||
| JP2008193401A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15551086A patent/JPS6310546A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02119350U (ja) * | 1989-03-14 | 1990-09-26 | ||
| JP2008193401A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
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