JPS63111455A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は超音波顕微鏡に関する。

〔従来の技術〕

超音波顕微鏡においては、数１００ＭＨｚ〜数Ｇ１１ｚ
の超音波を音響レンズを経て試料に投射するようにして
いるが、このような超音波は空気中では減衰が大きく、
殆ど伝播しないので、通常は音響レンズと試料との間に
音波を伝播するための液体（カプラ）を満たすようにし
ている。このカプラとしては水を用いることが多く、一
般にはこれを注射器やスポイト等を使って音響レンズと
試料との間に供給するようにしている。

このような超音波顕微鏡においては、超音波画像のＳ／
Ｎ比がカプラ中での音波の吸収に影響され、特にＩ　Ｃ
１１ｚ以上の音波を使用する場合には、水の音波吸収係
数が周波数の２乗に比例するため非常に重要な問題とな
る。

このような問題を解決するため、水の音波吸収係数が温
度の上昇により減衰するのを利用し、音響レンズにヒー
タを取付けたり、あるい本願人が特願昭６０−１０２０
３４号において既に提案したように試料台にヒータを取
付けて、音響レンズと試料との間に供給された水を加熱
することにより画像のＳ／Ｎ比の改善を図った超音波顕
微鏡が開発されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、・上述したように音響レンズや試料台に
ヒータを取付けて音響レンズと試料との間に供給された
カプラを加熱する場合には、カプラが暖まるまでに時間
がかかり、また加熱中は、蒸発も速いのでカプラを途中
で補充する場合には、補充用カブラの温度が低いので一
時的に温度が下がり、画像のＳ／Ｎ比が悪くなるなど、
安定した画像を得にくいという問題がある。

この発明は、このような問題点に着目してなされたもの
で、常にＳ／Ｎ比の良好な画像が得られるよう適切に構
成した超音波顕微鏡を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、この発明では音響レンズと試
料との間に供給する音波を伝播するカプラを収納する容
器を、所定の温度に維持して収納するカプラ容器収納部
を設ける。

〔作　用〕

このように、カプラ容器を所定の温度に維持して収納す
る収納部を設ければ、カプラ容器に収容されているカプ
ラも所定の温度に維持されるので、このカプラを音響レ
ンズと試料との間に供給することにより、常にＳ／Ｎ比
の良好な画像を得ることができる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の第１実施例を示すものである。この
実施例では、音響レンズ１を加振器２によって直線的に
往復移動させ、その往復移動方向と直交する方向にテー
ブルを移動させて、該テーブル３上の試料台４　（例え
ばゴニオメータ）に載置された試料５を、音響レンズ１
からの超音波によって水平面内でＸＹ方向に２次元的に
走査するものである。試料台４にはヒータ６および温度
センサ７を内臓して設け、温度センサ７の出力に基いて
温度コントローラ８によりヒータ６の作動を制御するこ
とによって、試料台４したって試料５と音響レンズ１と
の間に供給されたカプラ９の温度を所望の温度に制御す
るよう構成する。

また、試料台４の近傍のテーブル３にはカプラ９を収容
するカプラ容器１０を所望の温度に維持して収納するカ
プラ容器収納部１１を設ける。このカブラ容器収納部１
１には、カプラ容器１０を収納′ｓ＆ｌする凹部１２を
設けると共に、この凹部１２の近傍にヒータ１３および
温度センサ１４を内臓して設け、温度センサ１４の出力
に基いて温度コントローラ８によりヒータ１３の作動を
制御することによって、カプラ容器１０内のカプラ９の
温度を所望の温度、例えばヒータ６による試料５と音響
レンズ１との間のカプラ９の制御温度とほぼ等しい温度
に維持するようにする。

なお、カプラ容器１０内に収容されているカプラ９は、
カプラ補充用器具１５により容器内を高圧にすることに
よって、チューブ１６および加振器２に取付けたカプラ
補充用針１７を経て音響レンズ１と試料５との間に供給
するようにする。

この実施例によれば、音響レンズｌと試料５との間に供
給されたカプラ９と、カプラ容器収納部１１においてカ
プラ容器１０内に収容されているカプラ９とをほぼ等し
い温度に制御できるので、カプラ容器１０内のカプラ９
を音響レンズ１と試料５との間に補充する際にもその温
度変化を有効に抑えることができる。したがって、常に
Ｓ／Ｎ比の良好な画像を得ることができる。

第２図はこの発明の第２実施例の要部を示すものである
。この実施例においては、温度制御機能を有する試料台
４に補充用カプラ９を収容する注射器２１を収納する収
納部２２を設け、この収納部２２に収納された注射器２
１内のカプラ９の温度を、音響レンズ（図示せず）と試
料５との間に供給されたカプラ９を所望の温度に制御す
るヒータ６および温度センサ７によって同時にほぼ等し
い温度に制御するようにしたものである。

この実施例によれば、収納部２２内に収納された注射器
２１内のカプラ９は所望の温度に維持されるので、注射
器２１を取出してそのカプラ９を音響レンズと試料５と
の間に補充しても、これら音響レンズと試料５との間に
おけるカプラ９の温度変化を有効に抑えることができ、
したがって第１実施例と同様常にＳ／Ｎ比の良好な画像
を得ることができる。また、音響レンズと試料５との間
に供給されたカプラ９の温度制御と、注射器２１内のカ
プラ９の温度制御とを試料台４に内蔵したヒータ６およ
び温度センサ７によって同時に行うので、部品点数が少
なく、したがって安価にできると共に構成も簡単になる
。

なお、この発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば
上述した実施例では、音響レンズと試料台を＠置したテ
ーブルとを互いに直交する方向に移動させて試料を水平
面内で２次元的に走査するようにしたが、いずれか一方
を水平面内で２次元的に移動させて試料を走査するよう
にしてもよい。また、カプラを収容するカプラ容器の収
納部は、ステージや試料台に限らず任意の部位に設ける
ことができる。更に上述した各実施例においては、音響
レンズと試料との間に供給された力　゛プラの温度をも
制御する機能をもたせたが、この機能は必ずしも必要で
はなく、カプラ容器収納部において所望の温度に維持さ
れたカプラを供給するようにしても同様の効果を得るこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば音響レンズと試料
との間に供給するカプラを予じめ所望の温度に維持して
おくことができるので、常にＳ／Ｎ比の良好な画像を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例を示す図、第２図は同じ
く第２実施例を示す図である。 １・・・音響レンズ　　　２・・・加振器３・・・テー
ブル　　　　４・・・試料台５・・・試料　　　　　　
６・・・ヒータ７・・・温度センサ　　　８・・・温度
コントローラ９・・・カプラ　　　　　１０・・・カプ
ラ容器１１・・・カプラ容器収納部 １２・・・凹部　　　　　　１３・・・ヒータ１４・・
・温度センサ　　　１５・・・カプラ補充用器具１６・
・・チューブ　　　　１７・・・カプラ補充用針２１・
・・注射器　　　　　２２・・・収納部第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、音響レンズと試料との間に供給する音波を伝播する
   カプラを収納する容器を、所定の温度に維持して収納す
   るカプラ容器収納部を設けたことを特徴とする超音波顕
   微鏡。