JPH0324624B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0324624B2 JPH0324624B2 JP58072897A JP7289783A JPH0324624B2 JP H0324624 B2 JPH0324624 B2 JP H0324624B2 JP 58072897 A JP58072897 A JP 58072897A JP 7289783 A JP7289783 A JP 7289783A JP H0324624 B2 JPH0324624 B2 JP H0324624B2
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- JP
- Japan
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- sample
- medium
- acoustic lens
- ring
- microscope
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Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
- G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
- G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波顕微鏡、特に音波伝搬媒体の保
持手段を具備した超音波顕微鏡に関する。
持手段を具備した超音波顕微鏡に関する。
最初に超音波顕微鏡の動作原理を第１図を用い
て簡単に説明する。まずパルス発振器１により電
気信号を発生する。電気信号は音響レンズ２上面
に設けた圧電薄膜３により超音波４に変換され
る。超音波は音響レンズ内部を進み球面部２′で
絞られて試料５に焦点を結ぶ。試料に当つた超音
波は試料面や内部で反射し、試料の情報を持つた
超音波のエコーとなり同じ経路を逆にたどつて圧
電薄膜３に至り電気信号に変換される。そしてこ
の信号をモニター６上の２次元画像にするため
に、前記の動作を繰返しながらＸ、Ｙステージ
７，７′により試料を水平方向にスキヤンしてい
く。この時媒質８は、超音波を外へ逃がさず音響
レンズ２と試料５の間を効率良く伝搬する働きを
する。
て簡単に説明する。まずパルス発振器１により電
気信号を発生する。電気信号は音響レンズ２上面
に設けた圧電薄膜３により超音波４に変換され
る。超音波は音響レンズ内部を進み球面部２′で
絞られて試料５に焦点を結ぶ。試料に当つた超音
波は試料面や内部で反射し、試料の情報を持つた
超音波のエコーとなり同じ経路を逆にたどつて圧
電薄膜３に至り電気信号に変換される。そしてこ
の信号をモニター６上の２次元画像にするため
に、前記の動作を繰返しながらＸ、Ｙステージ
７，７′により試料を水平方向にスキヤンしてい
く。この時媒質８は、超音波を外へ逃がさず音響
レンズ２と試料５の間を効率良く伝搬する働きを
する。
従来の超音波顕微鏡の媒質（例えば水）８は、
第１図や第２図の様に表面張力でレンズ２と試料
５の間に保持されていた。また、給排水は第２図
のように注射器９を用い手作業で給水し、エアー
で吹き飛ばして排水する方法で行つていた。この
方法によると次のような欠点がある。
第１図や第２図の様に表面張力でレンズ２と試料
５の間に保持されていた。また、給排水は第２図
のように注射器９を用い手作業で給水し、エアー
で吹き飛ばして排水する方法で行つていた。この
方法によると次のような欠点がある。
１ 超音波顕微鏡の原理上、試料５をスキヤンす
る時水８がはじき飛ばされて水切れを起こすこ
とがある。
る時水８がはじき飛ばされて水切れを起こすこ
とがある。
超音波顕微鏡により試料を観察する場合、倍
率を低くして広い範囲を観察する時の方が試料
をスキヤンする幅が大きく、試料と音響レンズ
の相対速度も大きい。水切れはこのような時に
発生しやすい。
率を低くして広い範囲を観察する時の方が試料
をスキヤンする幅が大きく、試料と音響レンズ
の相対速度も大きい。水切れはこのような時に
発生しやすい。
２ 給水は手作業であるため、注射器９の針先
９′で試料５に傷を付ける心配がある。
９′で試料５に傷を付ける心配がある。
３ 排水時にエアーで吹き飛ばされた水８が飛び
散つて、試料や周辺機構部を汚染する。
散つて、試料や周辺機構部を汚染する。
４ 試料５の交換や、試料上の観察する場所を変
える時の移動に伴う給排水が煩わしい。
える時の移動に伴う給排水が煩わしい。
本発明の目的は、音波顕微鏡に不可欠な音波伝
搬の媒質となる液体（例えば水）を安定に保持す
る手段と、供給及び排出容易にする手段を具備し
た超音波顕微鏡を提供することにある。
搬の媒質となる液体（例えば水）を安定に保持す
る手段と、供給及び排出容易にする手段を具備し
た超音波顕微鏡を提供することにある。
本発明は試料と音響レンズ間の媒質に働く毛細
管現象による保持力を利用して、媒質の供給及び
排出を行なうことを特徴とする。
管現象による保持力を利用して、媒質の供給及び
排出を行なうことを特徴とする。
以下、本発明の一実施例を第３図により説明す
る。第３図は、本発明による超音波顕微鏡の音響
レンズ部分を示す。音響レンズ２の周辺にリング
１１を設け、両者間にわずかな〓間１０を形成す
る。前記〓間１０に開口する供給ポート１２と排
出ポート１３とをリング１１に設け、媒質タンク
１４を供給ポート１２に、真空発生器１５を排出
ポート１３にそれぞれ接続する。１６は、媒質タ
ンク１４と供給ポート１２との管路に設けられた
電磁弁である。上記真空発生器１５は、エヤー源
１７より圧力空気を電磁弁１８を介して導入し、
その噴流によつて真空を発生するものである。
る。第３図は、本発明による超音波顕微鏡の音響
レンズ部分を示す。音響レンズ２の周辺にリング
１１を設け、両者間にわずかな〓間１０を形成す
る。前記〓間１０に開口する供給ポート１２と排
出ポート１３とをリング１１に設け、媒質タンク
１４を供給ポート１２に、真空発生器１５を排出
ポート１３にそれぞれ接続する。１６は、媒質タ
ンク１４と供給ポート１２との管路に設けられた
電磁弁である。上記真空発生器１５は、エヤー源
１７より圧力空気を電磁弁１８を介して導入し、
その噴流によつて真空を発生するものである。
前記リング１１は音響レンズ２の長さに近い長
さに構成してある。超音波顕微鏡では、一般的に
音響レンズ２のレンズ面２′と試料５との間はわ
ずかの〓間しかないので、リング１１と試料５と
の間もわずかの〓間１０′が形成される。
さに構成してある。超音波顕微鏡では、一般的に
音響レンズ２のレンズ面２′と試料５との間はわ
ずかの〓間しかないので、リング１１と試料５と
の間もわずかの〓間１０′が形成される。
以上説明した構成において、電磁弁１６を開く
と媒質タンク１４内の媒体液が供給ポート１２か
ら〓間１０に流入し、次いで〓間１０から〓間１
０′に流入して拡がる。この際、媒質液は毛細管
現象によつて、〓間１０，１０′に保持されると
共に、〓間１０′内の媒質液は媒質液自体の表面
張力によつて、円状に収縮しようとするので、音
響レンズ２を中心とする円状に保持される。所要
の範囲まで媒質液を供給したときに電磁弁を閉じ
る。
と媒質タンク１４内の媒体液が供給ポート１２か
ら〓間１０に流入し、次いで〓間１０から〓間１
０′に流入して拡がる。この際、媒質液は毛細管
現象によつて、〓間１０，１０′に保持されると
共に、〓間１０′内の媒質液は媒質液自体の表面
張力によつて、円状に収縮しようとするので、音
響レンズ２を中心とする円状に保持される。所要
の範囲まで媒質液を供給したときに電磁弁を閉じ
る。
電磁弁１８を開くと、真空発生器１５に低圧が
発生し、〓間１０，１０′内の媒質液は排出ポー
ト１３から吸引され排出される。この際、〓間１
０′内の媒質液には上述したように毛細管現象と
共に表面張力が働いているので、排出に従つて音
響レンズ２に向つて収縮して行き、更に〓間１０
内の媒質液も排出ポート１３の方に収縮して、き
れいに吸い出される。
発生し、〓間１０，１０′内の媒質液は排出ポー
ト１３から吸引され排出される。この際、〓間１
０′内の媒質液には上述したように毛細管現象と
共に表面張力が働いているので、排出に従つて音
響レンズ２に向つて収縮して行き、更に〓間１０
内の媒質液も排出ポート１３の方に収縮して、き
れいに吸い出される。
なお、上記実施例では供給ポートと排出ポート
を別個に設けてあるが、１個ポートで供給と排出
を兼用し、この給排ポートにタンク１４と真空発
生器１５とを切換え接続してもよい。
を別個に設けてあるが、１個ポートで供給と排出
を兼用し、この給排ポートにタンク１４と真空発
生器１５とを切換え接続してもよい。
本発明によれば、媒質の保持、供給、排出を効
率良く行うことができるので、次のような種々の
効果がある。
率良く行うことができるので、次のような種々の
効果がある。
１ 毛細管現象により媒質を安定に保持できるた
め、媒質の切れがなく連続観察ができる。
め、媒質の切れがなく連続観察ができる。
２ 従来のように給排を手作業で行う必要がない
ので試料に傷を付ける心配がない。
ので試料に傷を付ける心配がない。
３ 真空発生器により容易に吸取つて排出するこ
とができるので媒質が飛び散らず、試料や周辺
機構部を汚染することがない。
とができるので媒質が飛び散らず、試料や周辺
機構部を汚染することがない。
４ 媒質を安定に保持できるようになつたため、
媒質にアルコール等の揮発性の媒質を使う場合
も長時間安定に観察ができる。
媒質にアルコール等の揮発性の媒質を使う場合
も長時間安定に観察ができる。
第１図は、超音波顕微鏡の原理を説明する図、
第２図は、超音波顕微鏡の音響レンズ周辺の拡大
図、第３図は、本発明による一実施例の要部の縦
断面である。 ２…音響レンズ、５…試料、８…媒質、１０…
〓間、１０′…〓間、１１…リング、１２…供給
ポート、１３…排出ポート、１４…タンク、１５
…真空発生器、１６…電磁弁、１７…エアー源、
１８…電磁弁。
第２図は、超音波顕微鏡の音響レンズ周辺の拡大
図、第３図は、本発明による一実施例の要部の縦
断面である。 ２…音響レンズ、５…試料、８…媒質、１０…
〓間、１０′…〓間、１１…リング、１２…供給
ポート、１３…排出ポート、１４…タンク、１５
…真空発生器、１６…電磁弁、１７…エアー源、
１８…電磁弁。
Claims (1)
- １ 音響レンズによつて音波を所定試料を照射
し、上記試料からのじよう乱音波を映像化する超
音波顕微鏡において、上記レンズの周辺にリング
を配置し、上記リングと音響レンズの間に〓間を
形成し、前記リングに媒質の供給・排出のポート
を前記〓間に開口して設けたことを特徴とする超
音波顕微鏡。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58072897A JPS59198352A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 超音波顕微鏡 |
| GB08410533A GB2140249B (en) | 1983-04-27 | 1984-04-25 | Acoustic microscope |
| DE3415618A DE3415618C2 (de) | 1983-04-27 | 1984-04-26 | Akustisches Mikroskop |
| US06/603,937 US4563900A (en) | 1983-04-27 | 1984-04-26 | Acoustic microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58072897A JPS59198352A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59198352A JPS59198352A (ja) | 1984-11-10 |
| JPH0324624B2 true JPH0324624B2 (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=13502596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58072897A Granted JPS59198352A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4563900A (ja) |
| JP (1) | JPS59198352A (ja) |
| DE (1) | DE3415618C2 (ja) |
| GB (1) | GB2140249B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5627320A (en) * | 1988-03-23 | 1997-05-06 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for automated non-destructive inspection of integrated circuit packages |
| DE4237378C1 (de) * | 1992-11-05 | 1994-04-28 | Mpv Ingenieurbuero Dipl Ing Go | Verfahren und Vorrichtung zur Ankopplung eines ersten Körpers an einen zweiten Körper |
| US5469744A (en) * | 1994-06-16 | 1995-11-28 | Iowa State University Research Foundation Inc. | Apparatus for acoustically inspecting a workpiece |
| US5948985A (en) * | 1996-05-31 | 1999-09-07 | Ormet Corporation | Method and apparatus for ultrasonic testing of aluminum billet |
| DE19909095C1 (de) * | 1999-03-02 | 2000-06-29 | Heinz Gros | Dickenmessung an Hohlkammerplatten |
| WO2004092779A2 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-28 | Sonoscan, Inc. | An improved tray-fed scanning acoustic microscope system and method primarily for immobilizing parts during inspection |
| US7637163B2 (en) * | 2006-02-02 | 2009-12-29 | The Boeing Company | Thin-film ultrasonic probe |
| JP5963929B1 (ja) * | 2015-09-04 | 2016-08-03 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置、超音波検査システム、及び超音波検査方法 |
| DE102022125468A1 (de) * | 2022-10-04 | 2024-04-04 | Pva Tepla Analytical Systems Gmbh | Transduceraufsetzkörper für einen wenigstens einen Transducer und eine Linse aufweisenden Prüfkopf eines akustischen Mikroskops, insbesondere Ultraschallrastermikroskop, sowie akustisches Mikroskop, insbesondere Ultraschallrastermikroskop |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648A (en) * | 1979-06-13 | 1981-01-06 | Olympus Optical Co Ltd | Counter memory circuit |
| GB2110052B (en) * | 1981-04-16 | 1985-01-30 | Nat Res Dev | Acoustic coupling device |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP58072897A patent/JPS59198352A/ja active Granted
-
1984
- 1984-04-25 GB GB08410533A patent/GB2140249B/en not_active Expired
- 1984-04-26 DE DE3415618A patent/DE3415618C2/de not_active Expired
- 1984-04-26 US US06/603,937 patent/US4563900A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59198352A (ja) | 1984-11-10 |
| DE3415618A1 (de) | 1984-10-31 |
| US4563900A (en) | 1986-01-14 |
| GB2140249A (en) | 1984-11-21 |
| GB2140249B (en) | 1987-02-25 |
| DE3415618C2 (de) | 1986-04-24 |
| GB8410533D0 (en) | 1984-05-31 |
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