JPS63114034U - - Google Patents

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JPS63114034U
JPS63114034U JP563887U JP563887U JPS63114034U JP S63114034 U JPS63114034 U JP S63114034U JP 563887 U JP563887 U JP 563887U JP 563887 U JP563887 U JP 563887U JP S63114034 U JPS63114034 U JP S63114034U
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JP
Japan
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rails
table body
semiconductor manufacturing
manufacturing line
pair
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JP563887U
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Publication date
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【図面の簡単な説明】
第１図Ａ，Ｂは本考案の実施例の半導体製造ラ
イン用搬送装置のターンテーブルを示すもので、
同図Ａはその平面図及び同図Ｂはその断面図、第
２図は従来の半導体製造ライン用搬送装置の一構
成例を示す断面図、第３図は従来の半導体製造ラ
イン用搬送装置の交差部分を示す斜視図、第４図
Ａ，Ｂは第３図の交差部分のターンテーブルを示
すもので、同図Ａはその平面図及び同図Ｂはその
断面図、第５図ａ〜ｇは従来のターンテーブルと
搬送車との相互の動作関係を示すターンテーブル
動作図、第６図ａ〜ｇは本考案のターンテーブル
と搬送車との相互の動作関係を示すターンテーブ
ル動作図である。 ２１……ターンテーブル、２２……直線搬送レ
ール、２３……レール、２４……テーブル本体、
２６……連結用レール、２７……切欠き、２８…
…メインステーシヨン、２９……サブステーシヨ
ン、３０，３１……搬送車。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ほぼ直交して敷設された２条１対の複数のレー
    ルと、前記レール上を被搬送物を搭載して走行す
    る搬送車と、前記レールの交差箇所に回転自在に
    設けられたテーブル本体及びそのテーブル本体上
    に敷設された連結用レールを有するターンテーブ
    ルとを備えた半導体製造ライン用搬送装置におい
    て、 前記テーブル本体上の前記連結用レールにほぼ
    直交して２条１対の他の連結用レールを該テーブ
    ル本体上に設け、かつそれらのほぼ直交箇所に切
    欠きを設けたことを特徴とする半導体製造ライン
    用搬送装置。
JP563887U 1987-01-19 1987-01-19 Pending JPS63114034U (ja)

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JP563887U JPS63114034U (ja) 1987-01-19 1987-01-19

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JP563887U JPS63114034U (ja) 1987-01-19 1987-01-19

Publications (1)

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JPS63114034U true JPS63114034U (ja) 1988-07-22

Family

ID=30787409

Family Applications (1)

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JP563887U Pending JPS63114034U (ja) 1987-01-19 1987-01-19

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JP (1) JPS63114034U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101172589B1 (ko) 2010-05-10 2012-08-08 주식회사 케이씨텍 이동식 화학 기계적 연마시스템 및 기판 이송 방법
KR101188540B1 (ko) 2010-04-30 2012-10-05 주식회사 케이씨텍 화학 기계식 연마시스템 및 이의 기판 이송 시스템
KR101188579B1 (ko) 2010-05-10 2012-10-05 주식회사 케이씨텍 화학 기계식 연마시스템 및 이의 기판 이송 시스템

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