JPH0486612U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0486612U JPH0486612U JP13082790U JP13082790U JPH0486612U JP H0486612 U JPH0486612 U JP H0486612U JP 13082790 U JP13082790 U JP 13082790U JP 13082790 U JP13082790 U JP 13082790U JP H0486612 U JPH0486612 U JP H0486612U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate transfer
- engaging
- transport device
- transfer tables
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Chain Conveyers (AREA)
Description
第１図は、本考案による基板搬送装置の一実施
例を示す概略図、第２図は第１図の実施例にて使
用される基板搬送台を示す概略斜視図、第３図は
第２図とは異なる構成の基板搬送台を示す概略斜
視図、第４図は従来の基板搬送装置の例を示し、
Ａ及びＢはそれぞれ概略図、第５図は第４図の基
板搬送装置により搬送されるべき基板の概略平面
図である。 １０……基板搬送装置、１１……搬送ベルト、
１２……基板搬送台、１２ａ……ピン、１２ｂ…
…フランジ部、１３……基板、１３ａ……孔。
例を示す概略図、第２図は第１図の実施例にて使
用される基板搬送台を示す概略斜視図、第３図は
第２図とは異なる構成の基板搬送台を示す概略斜
視図、第４図は従来の基板搬送装置の例を示し、
Ａ及びＢはそれぞれ概略図、第５図は第４図の基
板搬送装置により搬送されるべき基板の概略平面
図である。 １０……基板搬送装置、１１……搬送ベルト、
１２……基板搬送台、１２ａ……ピン、１２ｂ…
…フランジ部、１３……基板、１３ａ……孔。
Claims (1)
- 搬送手段に対して、所定の間隔で基板搬送台が
取り付けられており、該基板搬送台が、それぞれ
搬送すべき基板に設けられた孔に係合し得る係合
部を備えていることを特徴とする、基板搬送装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13082790U JPH0486612U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13082790U JPH0486612U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0486612U true JPH0486612U (ja) | 1992-07-28 |
Family
ID=31878141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13082790U Pending JPH0486612U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0486612U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01119100A (ja) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Toshiba Corp | 基板搬送装置 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP13082790U patent/JPH0486612U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01119100A (ja) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Toshiba Corp | 基板搬送装置 |