JPS63121013A - ガルバノ・ミラ−装置の自励共振回路 - Google Patents
ガルバノ・ミラ−装置の自励共振回路Info
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- JPS63121013A JPS63121013A JP61266627A JP26662786A JPS63121013A JP S63121013 A JPS63121013 A JP S63121013A JP 61266627 A JP61266627 A JP 61266627A JP 26662786 A JP26662786 A JP 26662786A JP S63121013 A JPS63121013 A JP S63121013A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
近年、レーザーの使用する頻度が多くなり、そのレーザ
ー・スキャナも種々のものが考案されている。本発明は
、レーザー・スキャナとしてのガルバノ・ミラー装置の
自励共振回路に関するものである。
ー・スキャナも種々のものが考案されている。本発明は
、レーザー・スキャナとしてのガルバノ・ミラー装置の
自励共振回路に関するものである。
第５図はガルバノ・ミラー装置の斜視図で、２００はヨ
ーク、２０２はミラー、２０６はトーション・バー、２
０４は駆動コイルである。
ーク、２０２はミラー、２０６はトーション・バー、２
０４は駆動コイルである。
第５図に示すようなヨーク２００の電磁引力とトーショ
ン・バー２０６の弾性体応力の復帰力で振動するガルバ
ノ・ミラー装置の自励共振は、ミラー２０，２の振動運
動を検出し、これを電気信号に変換して駆動信号とする
ことにより行われる。
ン・バー２０６の弾性体応力の復帰力で振動するガルバ
ノ・ミラー装置の自励共振は、ミラー２０，２の振動運
動を検出し、これを電気信号に変換して駆動信号とする
ことにより行われる。
従来のミラー振動の検出方法は、速度センサや電磁相互
誘導で行っている。第３図に示すようにこれらの検出信
号に基づいて作成した駆動信号の位相角ψ２はミラー振
動の位相角ψ１に対応している。両者の位相角差をψ。
誘導で行っている。第３図に示すようにこれらの検出信
号に基づいて作成した駆動信号の位相角ψ２はミラー振
動の位相角ψ１に対応している。両者の位相角差をψ。
とお（。
ここで、位相角差ψ０が変化するとミラーの最大振幅角
θｍａｘ は変化する。従って最大振幅角θｍａｘを
一定にするためには位相角差ψ。を一定にすればよいと
いうことになる。
θｍａｘ は変化する。従って最大振幅角θｍａｘを
一定にするためには位相角差ψ。を一定にすればよいと
いうことになる。
しかしながら、逆に最大振幅角θｒｎａｘがθ’ｍａｘ
に変化しても位相角差ψ。は変化しない。これは、位相
角差ψ。により最大振幅角θｍａｘを決定する方法はθ
ｍａｘの変動に対処できないということを意味する。
に変化しても位相角差ψ。は変化しない。これは、位相
角差ψ。により最大振幅角θｍａｘを決定する方法はθ
ｍａｘの変動に対処できないということを意味する。
本発明の目的は、位相角差ψ。を決定すればミラーの最
大振幅角θｍａｘが決定でき、且つθｗａｘの変動がな
いガルバノ・ミラー装置の自励共振回路を提供するもの
である。
大振幅角θｍａｘが決定でき、且つθｗａｘの変動がな
いガルバノ・ミラー装置の自励共振回路を提供するもの
である。
本発明は、ガルバノ拳ミラーより走査される光を検出す
る検出手段と該検出手段からの信号を入力するフリップ
フロップ回路と該クリップフロップ回路からの出力を増
幅する駆動アンプよりなり、該駆動アンプからの信号の
位相と前記ガルバノ・ミラーの振動位相とを常に一定に
することによりガルバノ・ミラーの振幅を一定に保持す
ることな可能とした。
る検出手段と該検出手段からの信号を入力するフリップ
フロップ回路と該クリップフロップ回路からの出力を増
幅する駆動アンプよりなり、該駆動アンプからの信号の
位相と前記ガルバノ・ミラーの振動位相とを常に一定に
することによりガルバノ・ミラーの振幅を一定に保持す
ることな可能とした。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例で、ガルバノ・ミラー装置の
自励共振回路図である。第２図は光検出器として２個の
フォト拳センサを使用した第１図の自励共振回路の模式
図であり、これに基づいて本発明の自励共振回路の動作
を説明する。
自励共振回路図である。第２図は光検出器として２個の
フォト拳センサを使用した第１図の自励共振回路の模式
図であり、これに基づいて本発明の自励共振回路の動作
を説明する。
ミラー２０２に当てたレーザー２０８の反射光の走査線
の振幅角２θはミラー振動の振幅角の２倍である。従っ
て、フォト・センサをそれぞれ２０Ａ、２θ、に相当す
る位置に設定すれば、各フォト・センサ２１０．２１２
をレーザー光軌跡が通過するときのミラー振動の振幅角
はθ、及びθ、である。２１６は駆動アンプであり、各
フォト・センサ２１０．２１２の検出信号を５Ｒ−ＦＦ
２１４のセット、リセット信号に用いることによりミラ
ー振動周波数に対応した矩形波信号を得ることができる
。この信号ハミラー振動の振幅角θがθ、のとき立上り
、θ、のとき立下がるので第４図に示すようにこれを駆
動信号とすることにより、駆動信号Ａとミラー撮動Ａと
の位相角差ψ。
の振幅角２θはミラー振動の振幅角の２倍である。従っ
て、フォト・センサをそれぞれ２０Ａ、２θ、に相当す
る位置に設定すれば、各フォト・センサ２１０．２１２
をレーザー光軌跡が通過するときのミラー振動の振幅角
はθ、及びθ、である。２１６は駆動アンプであり、各
フォト・センサ２１０．２１２の検出信号を５Ｒ−ＦＦ
２１４のセット、リセット信号に用いることによりミラ
ー振動周波数に対応した矩形波信号を得ることができる
。この信号ハミラー振動の振幅角θがθ、のとき立上り
、θ、のとき立下がるので第４図に示すようにこれを駆
動信号とすることにより、駆動信号Ａとミラー撮動Ａと
の位相角差ψ。
はψ２ となる。
次に第４図に基づいて、駆動信号によりミラー振動の最
大振幅角θｍｍＫが自動補正され、常に一定に保たれる
ことを示す。
大振幅角θｍｍＫが自動補正され、常に一定に保たれる
ことを示す。
ミラー振動Ａがミラー振動Ｂに変動した場合、ミラーの
最大振幅角θ−ＡＫはθ’ｍ ａ ｘに増大する。
最大振幅角θ−ＡＫはθ’ｍ ａ ｘに増大する。
この時、フォト・センサＡ２１０及びＢ２１２がレーザ
ー光を検出するタイミングが変化するため駆動信号Ａは
駆動信号Ｂとなる。この結果、位相角差ψＯはψ′Ｏに
なる。
ー光を検出するタイミングが変化するため駆動信号Ａは
駆動信号Ｂとなる。この結果、位相角差ψＯはψ′Ｏに
なる。
位相角差ψ０が変化するとミラーの最大振幅角θｍ＆Ｘ
が変化することは先にも述べたが、フォト・センサＡ２
１０、Ｂ２１２の設定位置により、位相角差ψ。を、ψ
′ｏくψ。でθｍａｗが減少する方向、ψ′ｏ〉ψＧで
θｍａｘが増大する方向に変化するように設定できる。
が変化することは先にも述べたが、フォト・センサＡ２
１０、Ｂ２１２の設定位置により、位相角差ψ。を、ψ
′ｏくψ。でθｍａｗが減少する方向、ψ′ｏ〉ψＧで
θｍａｘが増大する方向に変化するように設定できる。
従って、フォト・センサＡ２１０及びＢ２１２の位置を
上記の位相角差ψ。
上記の位相角差ψ。
を満足するように決定すれば、ミラー振動の最大振幅角
θＩＩＩＩＩＫは常に一定に保たれ、ψ。の変動に対し
ても自動的に補正される。
θＩＩＩＩＩＫは常に一定に保たれ、ψ。の変動に対し
ても自動的に補正される。
以上の説明で明らかなように、本発明によればミラー振
動の最大振幅角θｍａｘを一定に保ち、０ｍ５ｘの変動
を自動補正するガルバノ・ミラー装置の自励共振回路を
実現できる。
動の最大振幅角θｍａｘを一定に保ち、０ｍ５ｘの変動
を自動補正するガルバノ・ミラー装置の自励共振回路を
実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明のガルバノ・ミラー装置の自励共振回
路図。 第２図は、第１図の回路の模式図。 第３図は、従来の自励共振回路のミラー振動と駆動信号
の関係を示す波形図。 第４図は、本発明の自励共振回路のミラー振動と駆動信
号の関係を示す波形図。 第５図は、第１図で示す回路で駆動するガルバノ・ミラ
ーの斜視図である。 ２００・・・・・・ヨーク、 ２０２・・・・・・ミラー、 ２０４・・・・・・駆動コイル、 ２０６・・・・・・トーション・バー、２０８・・・・
・・レーザー、 ２１０・・・・・・フォトｅセンサＡ、２１２・・・・
・・フォト・センサＢ、２１６・・・・・・駆動アンプ
。
路図。 第２図は、第１図の回路の模式図。 第３図は、従来の自励共振回路のミラー振動と駆動信号
の関係を示す波形図。 第４図は、本発明の自励共振回路のミラー振動と駆動信
号の関係を示す波形図。 第５図は、第１図で示す回路で駆動するガルバノ・ミラ
ーの斜視図である。 ２００・・・・・・ヨーク、 ２０２・・・・・・ミラー、 ２０４・・・・・・駆動コイル、 ２０６・・・・・・トーション・バー、２０８・・・・
・・レーザー、 ２１０・・・・・・フォトｅセンサＡ、２１２・・・・
・・フォト・センサＢ、２１６・・・・・・駆動アンプ
。
Claims (2)
- （１）電磁的駆動手段と弾性体とからなるガルバノ・ミ
ラー装置に於て、該ガルバノ・ミラーにより走査される
光を検出する検出手段と該検出手段からの信号を入力す
るフリップフロップ回路と該フリップフロップ回路から
の出力を増巾する駆動アンプよりなり、該駆動アンプか
らの信号の位相と前記ガルバノ・ミラーの振動位相とを
常に一定にすることによりガルバノ・ミラーの振巾を一
定に保持することを特徴とするガルバノ・ミラー装置の
自励共振回路。 - （２）検出手段は２個以上有することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のガルバノ・ミラー装置の自励共
振回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266627A JPS63121013A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | ガルバノ・ミラ−装置の自励共振回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266627A JPS63121013A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | ガルバノ・ミラ−装置の自励共振回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63121013A true JPS63121013A (ja) | 1988-05-25 |
Family
ID=17433447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61266627A Pending JPS63121013A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | ガルバノ・ミラ−装置の自励共振回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63121013A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443726U (ja) * | 1990-08-09 | 1992-04-14 | ||
| JP2011095589A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Kyocera Mita Corp | 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置 |
| US8829422B2 (en) | 2009-10-30 | 2014-09-09 | Kyocera Document Solutions Inc. | Optical scanning apparatus using MEMS mirror and image forming apparatus provided with the same |
-
1986
- 1986-11-11 JP JP61266627A patent/JPS63121013A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443726U (ja) * | 1990-08-09 | 1992-04-14 | ||
| JP2011095589A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Kyocera Mita Corp | 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置 |
| US8829422B2 (en) | 2009-10-30 | 2014-09-09 | Kyocera Document Solutions Inc. | Optical scanning apparatus using MEMS mirror and image forming apparatus provided with the same |
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