JPS63122346U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63122346U JPS63122346U JP1987014323U JP1432387U JPS63122346U JP S63122346 U JPS63122346 U JP S63122346U JP 1987014323 U JP1987014323 U JP 1987014323U JP 1432387 U JP1432387 U JP 1432387U JP S63122346 U JPS63122346 U JP S63122346U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- shielding film
- photomask
- corners
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
Description
第１図ａ〜ｃは本考案の一実施例を示す平面図
、第２図ａ〜ｃは本考案の実施例の具体的なカツ
テイング形状を示す要部斜視図である。 １，１ａ，１ｂ，２，２ａ，２ｂ…ガラス基板
、３…遮光膜。
、第２図ａ〜ｃは本考案の実施例の具体的なカツ
テイング形状を示す要部斜視図である。 １，１ａ，１ｂ，２，２ａ，２ｂ…ガラス基板
、３…遮光膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ガラス基板の一主面に遮光膜を形成してなるホ
トマスクにおいて、 短形状のガラス基板の４コーナの内１乃至３個
所カツテイングしたことを特徴とするホトマスク
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987014323U JPS63122346U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987014323U JPS63122346U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63122346U true JPS63122346U (ja) | 1988-08-09 |
Family
ID=30804201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987014323U Pending JPS63122346U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63122346U (ja) |
-
1987
- 1987-02-03 JP JP1987014323U patent/JPS63122346U/ja active Pending