JPS63123668A - 研摩機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野ン 本発明は修正輪′ｊｐ）／ｂいは被加工物を貼着したプ
レートを研摩定盤面に回転保持するガイドローラを備え
、小形化し友研摩愼に関するものである。

（従来技術および発明が解決しようとする問題点り従来
から研Ｊｌｌ１機はＩ！３図に示す工９な修正輪をが広
く使われている。すなわち、ラップ皿。

ポリシャ等の研摩定盤１を回転させ、その上にリング状
の修正輪２を配置して、修正輪２の中に被加工’１１１
１＋３を貼着したプレート４を挿入配置する。被加工物
３は図面上プレート４の下面に゛適当な接看剤で貼着さ
れる。また、研摩機の外枠５にｔｌｊ２個のアーム６の
一端が固定され、それぞれのアーム６の他端にはガイド
ローラ７が回転自在に軸支され、研摩定盤１が図示され
ない動力源により矢印Ａ方向に回転するのに伴って修正
輪２が矢印入方向に移動するのを２個のガイドローラ７
によって受は止めるとともに、修正輪２が研摩定盤１の
外周側と内周側との周速の差によって矢印Ｂ方向に従動
回転するにつれて２個のガイドローラも回転する。修正
輪２の回転と同様にプレート４が回転し、研摩定盤１の
表面に研摩剤が供給され、プレート４の下面に貼看され
た被加工物３が研摩される。この場合、被加工物３０面
が均一に加工されるためには、研摩定盤１と修正輪２と
プレコト４とが同一回転数で回転することが理想である
。

しかし、従来のガイドローラを備え次研摩機では、ガイ
ドローラを支持するアームが長くなり、震動し、修正輪
お工びプレートの均一な回転が得られず、被加工物の研
摩面の仕上ｐ精度に影響を与えるとともに、一つの研摩
定盤上で複数個の修正輪（例えばｎ個）を使用する場合
。

２ｎ個のガイドローラを必要とし研摩機が大形となる欠
点がある。また、従来のガイドローラの配置では、研摩
定盤の中央部が利用されない欠点がある。

（発明の目的２ 本発明の目的は、小形にして高精度化を図るべく、ガイ
ドローラを最適に配置し次研摩機を提供することにある
。

（問題点ｆｉ″解決する九めの手段〕 本発明は上記の目的を達成する九めに回転する研摩定盤
上に被加工物を貼着し次プレートを配置して被加工物を
研摩する研摩機において、研摩機の外枠に一端が固定さ
扛他端に回転自在に第１のガイドローラを軸支した少く
とも１個以上のアームを備え、かつ前記第１のガイドロ
ーラとともに修正輪めるいはプレートの外周面と接して
前記１−正輪あるいはプレートを前記研摩定盤面上に回
転・保持する友め前記研摩定盤の中心に回転自在に軸支
さｔＬ次第２のガイドローラとを備えたことを特徴とす
る研Ｊ１ｉｌＩＦＩＡを要旨とするものである。

以下、図面を用いて本発明の実施？＋１を説明する。な
お、実施例は一つの例示であって、本発明の梢神を逸脱
しない範囲で傅々の変更あるいは改良を行いうろことは
言うｌでもない０第１図（ａ）および伽）は本発明の詳
細な説明する図で、図（ａ）は平向図、図Φ）は図（ａ
）のｘ　−ｘ’ｍ面図である。図において、１は研摩定
盤、２は修正輪、４は被加工物３を貼着したプレート、
５は研摩機の外枠であって、これらは従来の研摩機と同
様の機能を有するものである。さらに、８は一端が外枠
５にねじ止めあるいは適宜な手段で固定され、他端には
軸９が設けられた第１のガイドローラｌＯが軸９に回転
自在に軸支畜れている。また、研摩定！１１の中心には
軸１１が植設され１軸１１には第２のガイドローラνが
回転自在に軸支されている。以上の構成からなる研摩機
において、研摩定盤１が矢印入方向に１ｇ１転すると修
正輪２は第１および第２のガイドローラ１０．１２に受
は止められ、研摩定盤ｌの外周側と内周側との周速の差
により矢印Ｂ方向に従動回転する。すなわち、自転する
。

また、修正輪２の中に配置され友プレート４も同様に修
正輪２と同方向に回転し、研摩定盤１の表面に研摩剤が
供給され、プレート４の下面に貼着さｔＬ九被加工物３
が研摩てれる。

従来の研摩ａ１！は第３図のように、研摩定盤の中央部
はデッドスペースとなっており、ま次、外枠５に２個の
ガイドローラ用のアームを固定している次め、研摩機自
体が大きくなっていたが１本発明では第２のガイドロー
ラＵを中心部に１個配置することによってスペースヲ有
効に生かすことができる。ま尺、研摩定盤１０回転方向
に対してほぼ直角に第１および第２のガイドローラ１０
．１２を配置することになるので、修正輪ｔ−燕理なく
菓直に回転せしめることができ。

超精密研摩に適する。

また、第２図は本発明の他の実施例を説明する図であっ
て、中央に配置したガイドローラνを、複数の修正輪２
の保持と回転に共通して使用した例である。このように
４個の修正輪２を配置し、中央に１個の共通用のｍ２の
ガイドローラ化と外側の４個の第１のガイドローラｌＯ
で修正輪２を保持している。実際に被加工物を貼着し次
プレート４を修正輪２内に入れて所定の荷重をのせて研
摩を行ったところ、修正輪２はそれぞれスムースな回転
でまわり、超精密の研摩面が再現性よく得られた。これ
は、１個または２個の修正輪２の回転がスムースでなく
て感、他の修正輪２がスムースに回転していれば、中夫
のカイドローラルを共通に使用する結果、４個の修正輪
２のスムーズな回転となる工うに相互に助は合う効果で
ある。

なお、上述の実施例において、修正輪２の外径にほぼ等
して円盤を接層プＶ−）として、轟該プレートに被加工
物をそれぞれに貼着し、修正輪なしで研摩したところ、
同様の効果が得られることを確認している。

当然ながら、被加工物を貼着したプレートの入り九修正
輪もしくは被加工物を貼着し友接着プレートと、修正輪
のみを同時に研摩定盤上にのせて、研摩を行ってもよい
。これにより、とくにラッピングにおける研摩定盤の修
正効果を引き出すことができる。

（発明の効果り 以上説明し九ように、本発明によれば回転する研摩定盤
上に被加工物を貼着し九プレートを配置して被加工物を
研摩する研摩機において。

研摩機の外枠に一端が固定され他端に回転自在に第１の
ガイドローラを軸支した少くとも１個以上のアームを備
え、かつ前記第１のガイドローラとともに修正輪あるい
はプレートの外周面と接して前記修正輪あるいはプレー
トを前記研摩定盤面上に回転・保持するため前記研摩定
盤の中心に回転自在に軸支されに第２のガイドローラと
を備えたことにより、７フイドローラ１１固を回転する
研摩定盤の中央に配置してデッドスペースを活用し、研
摩機を小型にでき、かつ第２のガイドローラを保持する
アームがなく、研摩定盤の回転方向に対してほぼ直角方
向に配置できるので超精密研摩ができる利点がめる０な
お、第１のガイドローラのアームを短くすることができ
、震動の発生しない研摩機が実現できるＯ さらに、同時に多数の被加工物を研摩するとき、中央に
配置され九第２のガイドローラが共通使用讐ｊ゛る利点
がある。

【図面の簡単な説明】

第１１１（ａ）および伽）は本発明の詳細な説明する図
で１図（＆）は平面図１図Φ）は図（ａ）のｘ−ｘ’断
面図、第２図は本発明の他の実施例を説明する図、第３
図は従来の研摩機を説明する図である０１・・・・・・
・・・・・・研摩定盤 ２・・・・・・・・・・・・修正輪 ３・・・・・・・・・・・・被加工物 ４・・・・・・・・・・・・被加工物を貼着するプレー
ト５・・・・・・・・・・・・外枠 ６．８・・・・・・アーム ７・・・・・・・・・・・・ガイドローラ９．１１・・
・・・・軸 ｌＯ・・・・・・・・・・・・第１のガイドローラル・
・・・・・・・・・・・第２のガイドローラ第１　図 （Ｑ） （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転する研摩定盤上に被加工物を貼着したブレードを配
   置して被加工物を研摩する研摩機において、研摩機の外
   枠に一端が固定され他端に回転自在に第１のガイドロー
   ラを軸支した少くとも１個以上のアームを備え、かつ前
   記第１のガイドローラとともに修正輪あるいはプレート
   の外周面と接して前記修正輪あるいはプレートを前記研
   摩定盤面上に回転・保持するため前記研摩定盤の中心に
   回転自在に軸支された第２のガイドローラとを備えたこ
   とを特徴とする研摩機。