JPS63124637U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63124637U JPS63124637U JP1518487U JP1518487U JPS63124637U JP S63124637 U JPS63124637 U JP S63124637U JP 1518487 U JP1518487 U JP 1518487U JP 1518487 U JP1518487 U JP 1518487U JP S63124637 U JPS63124637 U JP S63124637U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shear type
- type gauges
- voltage
- output
- applying
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例を示すブロツク図、
第２図は本考案のうち剪断形ゲージの部分の他の
実施例の構成を示す構成図、第３図はマイクロプ
ロセツサを用いた本考案の１実施例の構成を示す
ブロツク図、第４図は従来の半導体圧力変換装置
のうちの圧力センサ部の構成を示す構成図、第５
図は第４図に示す圧力センサ部を用いた従来の半
導体圧力変換装置の構成を示すブロツク図である
。 １，１６……ダイヤフラム、８，１７，１８，
２１，２２……剪断形ゲージ、２３……アナログ
／デジタル変換器、２４……マイクロプロセツサ
、Ｖｓ……電源電圧、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ０……出力
電圧、Ｑ１〜Ｑ５……増幅器、Ｖｃ１，Ｖｃ１…
…制御信号。
第２図は本考案のうち剪断形ゲージの部分の他の
実施例の構成を示す構成図、第３図はマイクロプ
ロセツサを用いた本考案の１実施例の構成を示す
ブロツク図、第４図は従来の半導体圧力変換装置
のうちの圧力センサ部の構成を示す構成図、第５
図は第４図に示す圧力センサ部を用いた従来の半
導体圧力変換装置の構成を示すブロツク図である
。 １，１６……ダイヤフラム、８，１７，１８，
２１，２２……剪断形ゲージ、２３……アナログ
／デジタル変換器、２４……マイクロプロセツサ
、Ｖｓ……電源電圧、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ０……出力
電圧、Ｑ１〜Ｑ５……増幅器、Ｖｃ１，Ｖｃ１…
…制御信号。
Claims (1)
- 半導体のダイヤフラムの起歪部に形成された複
数個の剪断形ゲージと、電源端が直列に接続され
た前記各剪断形ゲージに電圧を印加する電圧印加
手段と、前記各剪断形ゲージの各出力端に得られ
る各出力電圧をバツフア増幅器を介して入力し加
算する加算手段とを具備することを特徴とする半
導体圧力変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1518487U JPS63124637U (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1518487U JPS63124637U (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63124637U true JPS63124637U (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=30805880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1518487U Pending JPS63124637U (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63124637U (ja) |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP1518487U patent/JPS63124637U/ja active Pending