JPH02135835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02135835U JPH02135835U JP4554789U JP4554789U JPH02135835U JP H02135835 U JPH02135835 U JP H02135835U JP 4554789 U JP4554789 U JP 4554789U JP 4554789 U JP4554789 U JP 4554789U JP H02135835 U JPH02135835 U JP H02135835U
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- shear type
- type gauge
- voltage
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例を示すブロツク図、
第２図は従来の半導体圧力変換装置のうちの圧力
センサ部の構成を示す構成図、第３図は第２図に
示す圧力センサ部を用いた従来の半導体圧力変換
装置の構成を示すブロツク図である。 １…ダイヤフラム、８…剪断形ゲージ、１６…
駆動電源、１７…アナログ／デジタル変換器、１
８…マイクロプロセツサ、ＶＳ…駆動電圧、Ｖ０
１，Ｖ０２…出力電圧、Ｑ１〜Ｑ３…増幅器、Ｓ
Ｔ…切換タイミング信号。
第２図は従来の半導体圧力変換装置のうちの圧力
センサ部の構成を示す構成図、第３図は第２図に
示す圧力センサ部を用いた従来の半導体圧力変換
装置の構成を示すブロツク図である。 １…ダイヤフラム、８…剪断形ゲージ、１６…
駆動電源、１７…アナログ／デジタル変換器、１
８…マイクロプロセツサ、ＶＳ…駆動電圧、Ｖ０
１，Ｖ０２…出力電圧、Ｑ１〜Ｑ３…増幅器、Ｓ
Ｔ…切換タイミング信号。
Claims (1)
- 半導体のダイヤフラムの起歪部に形成された剪
断形ゲージと、この剪断形ゲージの電源端に接続
され前記剪断形ゲージに駆動電圧を印加する電圧
印加手段と、前記剪断形ゲージの出力端に得られ
る出力電圧を増幅する増幅手段と、この増幅手段
の出力と前記駆動電圧とをデジタル信号に変換す
るアナログ／デジタル変換器と、このアナログ／
デジタル変換器の各出力を用いて前記駆動電圧と
前記増幅手段の出力との比率を演算する比率演算
手段とを具備することを特徴とする半導体圧力変
換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4554789U JPH02135835U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4554789U JPH02135835U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02135835U true JPH02135835U (ja) | 1990-11-13 |
Family
ID=31559823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4554789U Pending JPH02135835U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02135835U (ja) |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP4554789U patent/JPH02135835U/ja active Pending