JPS6312829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6312829U JPS6312829U JP10615386U JP10615386U JPS6312829U JP S6312829 U JPS6312829 U JP S6312829U JP 10615386 U JP10615386 U JP 10615386U JP 10615386 U JP10615386 U JP 10615386U JP S6312829 U JPS6312829 U JP S6312829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stand
- vapor phase
- phase growth
- growth apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Description
第１図Ａは本考案のウエハスタンドを示す平面
図、第１図Ｂは第１図Ａの矢視Ｃ―Ｃ、第１図Ｃ
は第１図Ａの矢視Ｄ―Ｄ、第２図は第１図Ａの溝
を示す詳細図、第３図は従来の溝と反応ガス流と
を示す図、第４図は気相成長装置を示し、第５図
Ａは、従来のウエハスタンドを示す平面図、第５
図Ｂは、第５図Ａの矢視Ａ―Ａ、第５図Ｃは、第
５図Ａの矢視Ｂ―Ｂ、第６図は、第２図の断面Ｅ
―Ｅ、第７図は、第６図に対応する第２実施例を
示す図。 ２：ウエハ、８ａ：薄膜、３４：バー、３５：
溝、４０：下端、４１：外流、４２：内流、４３
〜４４：流れ。
図、第１図Ｂは第１図Ａの矢視Ｃ―Ｃ、第１図Ｃ
は第１図Ａの矢視Ｄ―Ｄ、第２図は第１図Ａの溝
を示す詳細図、第３図は従来の溝と反応ガス流と
を示す図、第４図は気相成長装置を示し、第５図
Ａは、従来のウエハスタンドを示す平面図、第５
図Ｂは、第５図Ａの矢視Ａ―Ａ、第５図Ｃは、第
５図Ａの矢視Ｂ―Ｂ、第６図は、第２図の断面Ｅ
―Ｅ、第７図は、第６図に対応する第２実施例を
示す図。 ２：ウエハ、８ａ：薄膜、３４：バー、３５：
溝、４０：下端、４１：外流、４２：内流、４３
〜４４：流れ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ヒータに内包するように反応管を設けて反応
ガスを導入し、反応管内でウエハが反応ガス流に
対して直立するように静置するウエハスタンドに
おいて、ウエハスタンドを中空体のバーとし、定
間隔ににウエハを静置する溝を設け、バーの内周
域と外周域とに溝を介して反応ガス流通が自由な
ることを特徴とする気相成長装置用ウエハスタン
ド。 ２ バーは硬質ガラス、石英ガラス若しくは金属
とし、複数本を平行に設けることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第１項記載の気相成長装置
用ウエハスタンド。 ３ 溝はバー芯に対して略Ｖ字状とし、ウエハと
は点接触することを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項記載の気相成長装置用ウエハスタン
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10615386U JPS6312829U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10615386U JPS6312829U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6312829U true JPS6312829U (ja) | 1988-01-27 |
Family
ID=30981253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10615386U Pending JPS6312829U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6312829U (ja) |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10615386U patent/JPS6312829U/ja active Pending