JPS63133620A - 拡散炉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は拡散炉装置に関するものである。

〔従来の技術〕

この種の拡散炉装置は半導体基板の拡散処理用炉芯管と
、該炉芯管内に半導体基板を搬入搬出するローダ−機構
とを備え、ローダ−機構により半導体基板を炉芯管内に
搬入し該炉芯管内において基板に所望の不純物による拡
散処理を行い、拡散処理後、再び基板をローダ−機構に
より炉芯管外に搬出させている。ところで、炉芯管外に
搬出された半導体鋸板は該基板が搭載されているボート
から自動立替により離脱させられ、次工程に移送される
。そのため、ローダ−機構により半導体基板を所定位置
に停止させる必要がある。

従来、この種の拡散炉においてはローダ−機構のストッ
プポジションを視認することにより、半導体基板の搬出
後の停止位置を決定していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の拡散炉装置においては、ローダ−機構の
停止位置は正確に位置決めできたとしても、半導体基板
の搭載状態によっては、そのローダ−機構によって搬出
された半導体基板の停止位置は正確でなくなる。そのた
めに自動立替時に半導体基板が予定位置よりもずれてし
まうという精度的問題や、ソフトランディング拡散炉の
フォーク上の半導体基板を乗せているボートが熱による
フォークの膨張のため、ズしてしまい、処理サイクルの
繰り返しによってますますボート上の半導体栽板がズし
てしまうという問題がある。

本発明の目的は炉外に搬出される半導体基板を設定位置
に正確に停止させる機能を有する拡散炉装置を提供する
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は半導体基板の拡散処理用炉芯管と、前記炉芯管
内に半導体基板を搬入搬出するローダ−機構とを有する
拡散炉装置において、炉芯管内から管外に搬出される半
導体基板の搬出停止位置に対応して、搬出される半導体
基板を検出することにより前記ローダ−機構の駆動制御
信号を発するセンサを設けたことを特徴とする拡散炉装
置である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図によって説明する。

第１図において、７は炉芯管であり、炉芯管７の外部に
は、半導体基板３を搭載したボート４をフォーク５に支
持してこれを炉芯管７内に搬入搬出させるローダ−機構
６を設ける。該ローダ−機構６はネジ棒６ａの駆動速り
により図中左右に移動する。

本発明は対をなす発光索子１と受光素子２とからなるセ
ンサＳを、炉芯管７の管外に設定した半導体基板３の搬
出停止位置Ｔに対応して配設し、発光素子１と受光索子
２との間の光路Ｑを半導体基板３が遮光したときに半導
体基板３が停止位置′ｒに達したとしてセンサＳにより
ローダ−機構６の１ψ勅制御信号を発しその信号に基づ
いてローダ−機構６の駆動を停止するようにしたもので
ある。

実施例では発光素子１と受光素子２とを半導体基板３の
搬送路に沿い斜交させて配置し、ボート４に搭載される
半導体基板３のうち搬出時に先頭に位置する半導体基板
３ａにより光路Ｑを遮光させるようにしである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は半導体基板の位置を検知し
て半導体基板の停止位置を決めることにより、ローダ−
機構のズレやフォークとフォーク上のボートのズレなど
に関係なく、半導体基板を予定している停止位置に精度
よく停止でき、自動立替等の作業を正確に行うことがで
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の拡散炉装置の一実施例を示す概略図で
ある。 １・・・発光素子　　　　　　２・・・受光素子Ｓ・・
・センサ　　　　　　　３，３ａ・・・半導体基板４・
・・ボート　　　　　　　５・・・フォーク６・・・ロ
ーダ−機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体基板の拡散処理用炉芯管と、前記炉芯管内
   に半導体基板を搬入搬出するローダー機構とを有する拡
   散炉装置において、炉芯管の管外に設定した半導体基板
   の搬出停止位置に対応して、搬出される半導体基板を検
   知することにより前記ローダー機構の駆動制御信号を発
   するセンサを設けたことを特徴とする拡散炉装置。