JPS6313929A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPS6313929A JPS6313929A JP15665286A JP15665286A JPS6313929A JP S6313929 A JPS6313929 A JP S6313929A JP 15665286 A JP15665286 A JP 15665286A JP 15665286 A JP15665286 A JP 15665286A JP S6313929 A JPS6313929 A JP S6313929A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibration sensor
- actuator
- mounting plate
- output signals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、精密機器等を搭載し、外部からの振動が該精
密機器等へ伝達されないようにした除振装置に関する。
密機器等へ伝達されないようにした除振装置に関する。
灸釆扱権
第４図及び第５図は、従来の空気ばね式除振装置の一例
を説明するための構成図で、第３図は、空気ばね支持装
置の拡大断面図、第５図は、該空気ばね支持装置の一使
用例を示す側面図で、第５図において、１は精密機器或
いは精密加工機等が搭載される搭載板、１０は該搭載板
１を空気圧にて弾性支持している空気ばね支持装置であ
る。第４図は、上記空気ばね支持装置の拡大断面図で、
図中、１１は前記搭載板１を受ける受は部材。
を説明するための構成図で、第３図は、空気ばね支持装
置の拡大断面図、第５図は、該空気ばね支持装置の一使
用例を示す側面図で、第５図において、１は精密機器或
いは精密加工機等が搭載される搭載板、１０は該搭載板
１を空気圧にて弾性支持している空気ばね支持装置であ
る。第４図は、上記空気ばね支持装置の拡大断面図で、
図中、１１は前記搭載板１を受ける受は部材。
１２は圧縮空気が封入されている空気ばね室。
１３は補助空気室、１４は空気ばね室１２と補助空気室
１３とを連通する細径の連通孔、１５は空気供給バルブ
、１６はダイヤフラムで、周知のように、受は部材１１
の上に搭載板１を載置し、該搭載板１の上に精密機器或
いは精密加工機等を搭載して使用するものであるが、そ
の際、精密機器等に外部からの振動が伝達されないよう
に、或いは、精密加工機からの振動が外部へ伝達されな
いように搭載板１を空気ばね１ｏにて弾性支持している
。
１３とを連通する細径の連通孔、１５は空気供給バルブ
、１６はダイヤフラムで、周知のように、受は部材１１
の上に搭載板１を載置し、該搭載板１の上に精密機器或
いは精密加工機等を搭載して使用するものであるが、そ
の際、精密機器等に外部からの振動が伝達されないよう
に、或いは、精密加工機からの振動が外部へ伝達されな
いように搭載板１を空気ばね１ｏにて弾性支持している
。
而して、上記除振装置は、空気の圧縮性を利用するもの
であるため、小型化が難かしく、また、空気ばね装置が
ばね系であるため、固有振動周波数を有し、外来振動が
この固有振動周波数に等しい場合には除振することがで
きなかった。更には、長期間使用中、圧縮空気が漏洩す
る等して保守管理が大変であった。
であるため、小型化が難かしく、また、空気ばね装置が
ばね系であるため、固有振動周波数を有し、外来振動が
この固有振動周波数に等しい場合には除振することがで
きなかった。更には、長期間使用中、圧縮空気が漏洩す
る等して保守管理が大変であった。
上述のごとき実情に鑑みて、本出願人は、先に、小型で
、応答性が良く、固有振動を持たず、しかも、保守管理
の容易な除振装置について提案した。
、応答性が良く、固有振動を持たず、しかも、保守管理
の容易な除振装置について提案した。
第３図は、本出願人が先に提案した除振装置の一例を説
明するための図で、図中、２０は基板。
明するための図で、図中、２０は基板。
２１は多数枚の圧電素子が積層配設されたアクチュエー
タ、２２は搭載板（定盤）、２３は振動センサ、２４は
演算回路、２５は増幅回路で、振動センサ２３によって
検出した信号を逆相にしてアクチュエータ２１を駆動し
て定盤２２上の振動を小さくしようとするものである。
タ、２２は搭載板（定盤）、２３は振動センサ、２４は
演算回路、２５は増幅回路で、振動センサ２３によって
検出した信号を逆相にしてアクチュエータ２１を駆動し
て定盤２２上の振動を小さくしようとするものである。
しかし、実際には、アクチュエータ２１の駆動によって
発生する振動をも振動センサ２３で検出してしまうため
自励振動が発生しやすく調整が極めて難かしい欠点があ
った。
発生する振動をも振動センサ２３で検出してしまうため
自励振動が発生しやすく調整が極めて難かしい欠点があ
った。
１−一血
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、上述のごときアクチュエータ及び振動センサを使
用する除振装置において、除振しようとする方向に少な
くとも２つ以上の振動センサを用いることにより、アク
チュエータによって発生する振動の影響を小さくシ、自
動振動の発生をおさえた除振装置を提供することを目的
としてなされたものである。
特に、上述のごときアクチュエータ及び振動センサを使
用する除振装置において、除振しようとする方向に少な
くとも２つ以上の振動センサを用いることにより、アク
チュエータによって発生する振動の影響を小さくシ、自
動振動の発生をおさえた除振装置を提供することを目的
としてなされたものである。
碧−−−皮
第１図及び第２図は、それぞれ本発明による除振装置の
実施例を説明するための構成図で、図中。
実施例を説明するための構成図で、図中。
２０乃至２５は第３図に示した従来技術と同様の作用を
するもので、２０は基板、２１はアクチュエータ、２２
は搭載板、２３は振動センサ、２４は演算回路、２５は
増幅回路であり１本発明は、上記第３図に示した従来技
術に対して更に搭載板２２の上に第２の振動センサ３ｏ
を設け、この第２の振動センサ３０の出力信号と基板２
０上との第１の振動セどす２３の出力信号とを加算し、
この加算信号を前述のようにして演算、増幅してアクチ
ュエータ２１に印加するようにしたものである。なお、
第１図に示した実施例は、第１の振動センサ２３の出力
信号をインバータ３１で反転した後、差動増幅器３２に
供給し、′該差動増幅器３２において第２の振動センサ
３０からの出力信号と加算するようにしたものであり、
第２図に示した実施例は、第１の振動センサ２３の出力
信号と第２の振動センサ３ｏの出力信号を加算器３３に
より直接加算するようにしたものである。
するもので、２０は基板、２１はアクチュエータ、２２
は搭載板、２３は振動センサ、２４は演算回路、２５は
増幅回路であり１本発明は、上記第３図に示した従来技
術に対して更に搭載板２２の上に第２の振動センサ３ｏ
を設け、この第２の振動センサ３０の出力信号と基板２
０上との第１の振動セどす２３の出力信号とを加算し、
この加算信号を前述のようにして演算、増幅してアクチ
ュエータ２１に印加するようにしたものである。なお、
第１図に示した実施例は、第１の振動センサ２３の出力
信号をインバータ３１で反転した後、差動増幅器３２に
供給し、′該差動増幅器３２において第２の振動センサ
３０からの出力信号と加算するようにしたものであり、
第２図に示した実施例は、第１の振動センサ２３の出力
信号と第２の振動センサ３ｏの出力信号を加算器３３に
より直接加算するようにしたものである。
免−一来
以上の説明から明らかなように、本発明によると、
（イ）、振動センサあるいは位置センサによって検出し
た信号を逆相にしてアクチュエータを駆動するようにし
たので、振動の影響あるいは位置のずれを小さくするこ
とができる。
た信号を逆相にしてアクチュエータを駆動するようにし
たので、振動の影響あるいは位置のずれを小さくするこ
とができる。
（ロ）、振動の影響を取除こうとする方向に対して２つ
以上の振動センサを使用するようにしだので、振動セン
サ、増幅器、アクチュエータによって発生する自励振動
の影響を小さくすることができる。
以上の振動センサを使用するようにしだので、振動セン
サ、増幅器、アクチュエータによって発生する自励振動
の影響を小さくすることができる。
（ハ）、演算回路、増幅回路等を簡略化し、使用の際の
調整を容易にすることができる。
調整を容易にすることができる。
等の利点がある。
第１図及び第２図は、それぞれ本発明にょる除振装置の
実施例を説明するための構成図、第３図乃至第５図は、
従来の除振装置の例を説明するための図である。 ２０・・・基板、２１・・・アクチュエータ、２２・・
・搭載板、２３・・・振動センサ、２４・・・演算回路
、２５・・・増幅回路、３０・・・振動センサ、３１・
・・インバータ。 ３２・・・差動増幅器、３３・・・加算器。
実施例を説明するための構成図、第３図乃至第５図は、
従来の除振装置の例を説明するための図である。 ２０・・・基板、２１・・・アクチュエータ、２２・・
・搭載板、２３・・・振動センサ、２４・・・演算回路
、２５・・・増幅回路、３０・・・振動センサ、３１・
・・インバータ。 ３２・・・差動増幅器、３３・・・加算器。
Claims (1)
- 基板と、該基板上に積層配設された圧電素子板から成る
アクチュエータと、該アクチュエータ上に配設された搭
載板と、前記基板上に配設された第１の振動センサと、
前記搭載板上に配設された第２の振動センサとを具備し
、前記第１の振動センサの出力信号と第２の振動センサ
の出力信号とを加算演算処理して前記アクチュエータに
印加するようにしたことを特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15665286A JPS6313929A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15665286A JPS6313929A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6313929A true JPS6313929A (ja) | 1988-01-21 |
Family
ID=15632335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15665286A Pending JPS6313929A (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6313929A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018003494A1 (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構、及び荷電粒子線装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833123A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-02-26 | Fuji Electric Co Ltd | 超音波流量測定装置 |
| JPS60194536A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Hitachi Ltd | 防振台 |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP15665286A patent/JPS6313929A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833123A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-02-26 | Fuji Electric Co Ltd | 超音波流量測定装置 |
| JPS60194536A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Hitachi Ltd | 防振台 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018003494A1 (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構、及び荷電粒子線装置 |
| US10591018B2 (en) | 2016-06-27 | 2020-03-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Vibration-suppressing mechanism to be attached to charged particle beam device, and charged particle beam device |
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