JPS63149392A - 電解Niめつき方法 - Google Patents
電解Niめつき方法Info
- Publication number
- JPS63149392A JPS63149392A JP29490386A JP29490386A JPS63149392A JP S63149392 A JPS63149392 A JP S63149392A JP 29490386 A JP29490386 A JP 29490386A JP 29490386 A JP29490386 A JP 29490386A JP S63149392 A JPS63149392 A JP S63149392A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- electrolytic
- heat treatment
- strike
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、電解Niめっき方法に関する。
(従来の技術と発明が解決しようとする問題点)一般に
Mo上へのNiめっき等は、電子管部品で種々用いられ
ているが、最近、i4ワートランジスタ等のヒートシン
クに、Mo板がIC素子と熱膨張率の有利性から、Cu
板に代って使用され℃いる。
Mo上へのNiめっき等は、電子管部品で種々用いられ
ているが、最近、i4ワートランジスタ等のヒートシン
クに、Mo板がIC素子と熱膨張率の有利性から、Cu
板に代って使用され℃いる。
この場合、Mo板のヒートシンクにIC素子を半田マウ
ントするためには、電解Niめっき等の皮膜が必要であ
る。そし℃、半田マウントの信頼性を上げるためには、
ある程度以上のめっき厚が要求されMo板上の厚めつき
は、めっきのフクレ、剥れ等の密着不良が発生し、めっ
き方法とし℃安定したものではない。
ントするためには、電解Niめっき等の皮膜が必要であ
る。そし℃、半田マウントの信頼性を上げるためには、
ある程度以上のめっき厚が要求されMo板上の厚めつき
は、めっきのフクレ、剥れ等の密着不良が発生し、めっ
き方法とし℃安定したものではない。
この発明は、密着性の優れたNiめっき皮膜が得られる
電解Niめっき方法を提供することを目的とする。
電解Niめっき方法を提供することを目的とする。
[発明の構成コ
(問題点を解決するための手段)
この発明は、脱脂した後エツチングし、Niストライク
めっきを0.2〜1.0μm施した後、水素還元雰囲気
で850〜920℃で熱処理し、更に、Niストライク
めっき熱処理を行なった後、Niめっきを行なう電解N
iめつき方法である。
めっきを0.2〜1.0μm施した後、水素還元雰囲気
で850〜920℃で熱処理し、更に、Niストライク
めっき熱処理を行なった後、Niめっきを行なう電解N
iめつき方法である。
(作用)
この発明によれば、0.2〜1. OttmのNiスト
ライクめっき層は、850〜920℃の熱処理によF)
Mo上に拡散される。更に、同じ処理を繰り返すこと
により、Moの表面ではNi成分が多くなって、この上
にNiめっき皮膜を形成させることが可能となり、密着
性の良好なNiめつき皮膜が得られる。
ライクめっき層は、850〜920℃の熱処理によF)
Mo上に拡散される。更に、同じ処理を繰り返すこと
により、Moの表面ではNi成分が多くなって、この上
にNiめっき皮膜を形成させることが可能となり、密着
性の良好なNiめつき皮膜が得られる。
(実施例)
以下、図面を参照し℃、この発明の一実施例を詳細に説
明する。
明する。
この発明におい℃、めっきに供した試料は12m×12
■×厚さ1.2 txmのMo板であり、数量は5oo
o個である。
■×厚さ1.2 txmのMo板であり、数量は5oo
o個である。
先ず、トリクレン脱脂後、赤血塩3001/13、苛性
ソーダ1001!/lの水溶液でなるエツチング液で篭
で1分間処理し、表面をエツチングする。
ソーダ1001!/lの水溶液でなるエツチング液で篭
で1分間処理し、表面をエツチングする。
この後、塩酸30チ溶液で中和した後、水洗し、バレル
めっき装置に投入する。
めっき装置に投入する。
この後、ウッドのNiストライクめっき液で3v30〜
40Aで、30分間Niストライクめっきを行なう。
40Aで、30分間Niストライクめっきを行なう。
この後、水洗乾燥し、900℃の水素還元雰囲気で10
分間の熱処理を行なう。
分間の熱処理を行なう。
更に、塩酸処理後、同じNiストライクめっき全行ない
、更に熱処理を行なった。
、更に熱処理を行なった。
この前処理の終了したMo板を塩酸処理し、Niストラ
イクめっきを行ない、ワット浴のNiめっき液でバレル
めっき装置に℃電解Niめっ@を行ない、8〜9μmの
めっき厚を確保した。
イクめっきを行ない、ワット浴のNiめっき液でバレル
めっき装置に℃電解Niめっ@を行ない、8〜9μmの
めっき厚を確保した。
この後の900℃の耐熱テストでも、フクレ、剥れ等の
密着不良は起きなかった。
密着不良は起きなかった。
尚、この中間めっき層はNiに限らず、Cu、Auでも
よい。
よい。
[発明の効果]
この発明によれば、Mo板の表面にめっき皮膜と密着性
のよい中間層を拡散形成させているので、Niめっき厚
8〜9#lという厚いめっきを施しても、後工程で課せ
られる半田マウント等の熱に対して耐え得るNiめっき
皮膜を得ることができる。
のよい中間層を拡散形成させているので、Niめっき厚
8〜9#lという厚いめっきを施しても、後工程で課せ
られる半田マウント等の熱に対して耐え得るNiめっき
皮膜を得ることができる。
Claims (2)
- (1)Mo上にNiめっき皮膜を形成する電解Niめっ
き方法において、 先ず、上記Mo上にNiストライクめっき層を0.2〜
1.0μm形成した後、850〜920℃の水素還元雰
囲気で熱処理を施し、再度、同じ条件でNiストライク
めっき、熱処理を施した後、上記Niめっき皮膜を形成
することを特徴とする電解Niめっき方法。 - (2)上記Niストライクめっき、熱処理の工程を複数
回繰返す特許請求の範囲第1項記載の電解Niめっき方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29490386A JPS63149392A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 電解Niめつき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29490386A JPS63149392A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 電解Niめつき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149392A true JPS63149392A (ja) | 1988-06-22 |
Family
ID=17813745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29490386A Pending JPS63149392A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 電解Niめつき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149392A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001118848A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-04-27 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | めっき浴から堆積される金属層の特性改善方法 |
| CN102367583A (zh) * | 2011-08-01 | 2012-03-07 | 安徽华东光电技术研究所 | 一种钼制零件的镀镍工艺 |
| WO2013140939A1 (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | めっき処理方法、めっき処理システムおよび記憶媒体 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP29490386A patent/JPS63149392A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001118848A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-04-27 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | めっき浴から堆積される金属層の特性改善方法 |
| CN102367583A (zh) * | 2011-08-01 | 2012-03-07 | 安徽华东光电技术研究所 | 一种钼制零件的镀镍工艺 |
| WO2013140939A1 (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | めっき処理方法、めっき処理システムおよび記憶媒体 |
| JP2013194306A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Tokyo Electron Ltd | めっき処理方法、めっき処理システムおよび記憶媒体 |
| US10030308B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-07-24 | Tokyo Electron Limited | Plating method, plating system and storage medium |
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