JPS63155904A - Ｒｆ発生装置 - Google Patents
Ｒｆ発生装置Info
- Publication number
- JPS63155904A JPS63155904A JP30348086A JP30348086A JPS63155904A JP S63155904 A JPS63155904 A JP S63155904A JP 30348086 A JP30348086 A JP 30348086A JP 30348086 A JP30348086 A JP 30348086A JP S63155904 A JPS63155904 A JP S63155904A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- power amplifier
- source voltage
- power
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- XUKUURHRXDUEBC-KAYWLYCHSA-N Atorvastatin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C1=C(C=2C=CC(F)=CC=2)N(CC[C@@H](O)C[C@@H](O)CC(O)=O)C(C(C)C)=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1 XUKUURHRXDUEBC-KAYWLYCHSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体製造装置等の電源部に使用されるＲＦ
発生装置（Ｒａｄｉｏ ＦｒｅｑｕｅｎｃｙＧｅｎｅｌ
ａｔｏｒ）に関するものである。
発生装置（Ｒａｄｉｏ ＦｒｅｑｕｅｎｃｙＧｅｎｅｌ
ａｔｏｒ）に関するものである。
従来のこの種の装置は、第１図の様に構成されている。
即ち、’ｒ、は、商用の降圧トランス、ＤＲＩは整流ダ
イオード、ＣＩは平滑用コンデンサ、人は、ＲＦジ、ネ
レータのパワーアンプ部、Ｂは、該アンプ邦人を駆動す
るためのドライブ部及び発振部、Ｃは、制御回路部、Ｐ
Ｄは、アンプ邦人の出力電力Ｐｆを検出する検出回路、
Ｅｆは、該出力電力Ｐｆを設定するための基準信号、Ｖ
ｅｃは、パワー邦人に供給する電源電圧で、アンプ邦人
の最大出力と該アンプ邦人に使用される半導体デバイス
（トランジスタ、ＦＥＴ）により決められる。従来装置
に於てアンプ部Ａの′這源電圧Ｖｃｃは、常に一定電圧
で駆動されるため、該アンプ邦人の電力変換効率ηは、
出力電圧をＶｏ ｓ ｉ ｎｗｔとした場合、η＝０．
７８５礒÷（但し動作モードは、Ｂ級方式とする）で表
す事が出来る。
イオード、ＣＩは平滑用コンデンサ、人は、ＲＦジ、ネ
レータのパワーアンプ部、Ｂは、該アンプ邦人を駆動す
るためのドライブ部及び発振部、Ｃは、制御回路部、Ｐ
Ｄは、アンプ邦人の出力電力Ｐｆを検出する検出回路、
Ｅｆは、該出力電力Ｐｆを設定するための基準信号、Ｖ
ｅｃは、パワー邦人に供給する電源電圧で、アンプ邦人
の最大出力と該アンプ邦人に使用される半導体デバイス
（トランジスタ、ＦＥＴ）により決められる。従来装置
に於てアンプ部Ａの′這源電圧Ｖｃｃは、常に一定電圧
で駆動されるため、該アンプ邦人の電力変換効率ηは、
出力電圧をＶｏ ｓ ｉ ｎｗｔとした場合、η＝０．
７８５礒÷（但し動作モードは、Ｂ級方式とする）で表
す事が出来る。
又、パワーアンプ人に使用されるデバイスの損失Ｐｃは
、Ｐ ｃ ＝Ｐ ｆ （ｑ １ ）で表わされる。第
３図はこの関係を示す特性面で、最大損失Ｐｃｒｎａｘ
は、電源電圧Ｖｃｃが常に一定電圧で駆動されるパワア
ンプ人の場合は、最大出力Ｐｆ時よりも低い点でデバイ
スの最大損失がある。このため負荷の初期運転時、或は
軽負荷時等に損失が大となる欠点がある。本発明はイ糸
令欠点を解消しる た装置を提供するものである。
、Ｐ ｃ ＝Ｐ ｆ （ｑ １ ）で表わされる。第
３図はこの関係を示す特性面で、最大損失Ｐｃｒｎａｘ
は、電源電圧Ｖｃｃが常に一定電圧で駆動されるパワア
ンプ人の場合は、最大出力Ｐｆ時よりも低い点でデバイ
スの最大損失がある。このため負荷の初期運転時、或は
軽負荷時等に損失が大となる欠点がある。本発明はイ糸
令欠点を解消しる た装置を提供するものである。
第２図は本発明の実施例であって、人はパワーアンプ部
で１００ＫＨｚ乃至１３．５６ＭＨｚ の高周波電力を
発生させる。Ｄは該アンプ邦人を駆動するため一ドライ
ブ部、Ｅは発振部、Ｆは出力の Ｐｆを定電力するためのオートゲイン回路（ＡＧＣ）、
路、Ｅｆは出力Ｐｆを設定する基準信号電圧、Ｈはアン
プ邦人、及びドライ部Ｂに電源（Ｍａｃ）を供給するた
めのコンバータ部（ＡＣ−ＤＣ−ＡＣ−ＤＣ）で、入力
は、商用ＡＣ１００／２００Ｖになっている。コンバー
タＨは、制御部Ｇから送出される信号ＶＲｅｆに応じた
出力電圧Ｖｃｃが出力される。次にパワーアンプ邦人を
効率良く動作させるには、電源電圧Ｖｃｃの最大電圧を
あらかじめ決めておき（最大電圧は主にアンプ邦人に使
用されるデバイスの耐圧及び最大出力（Ｐｆｍａｘ）で
決定される。）係る装置において、予のパワアンプ人の
最大出力（例えば、ＩＫｗ）になるように基準信号電圧
Ｅｆを設定する。これによりコンバータ部Ｈは、制御部
Ｇより信号Ｖｌｅｆを受は該最大出力に適合する電源電
圧（Ｖｃｃ）を供給する。一方向装置を所要出力（例え
ば７００Ｗ）で使用する時は、使用者か該基準信号Ｂｆ
を可変すればこれに応じて、信号ＶｉＬｅｆが変化し、
電源電圧Ｖｃｃを可変する。つまり本発明によれば、予
め最大出力Ｐｆを設定し、実動時に所要出力Ｐｆ’・に
応じた電源電圧Ｖｅｃをアンプ邦人に供給することによ
り、常に高効率運転が可能である。因みに第３図中特性
（Ｃ４は、本発明装置による主変換デバイスの損失の関
係を示すもので、該コンバータＨの基準電圧（Ｖｌｅｆ
）を所要出力Ｐｆ’により可変することにより理論的効
率は、全出力範囲で理論値に近い（４２７８％）状態で
動作する。
で１００ＫＨｚ乃至１３．５６ＭＨｚ の高周波電力を
発生させる。Ｄは該アンプ邦人を駆動するため一ドライ
ブ部、Ｅは発振部、Ｆは出力の Ｐｆを定電力するためのオートゲイン回路（ＡＧＣ）、
路、Ｅｆは出力Ｐｆを設定する基準信号電圧、Ｈはアン
プ邦人、及びドライ部Ｂに電源（Ｍａｃ）を供給するた
めのコンバータ部（ＡＣ−ＤＣ−ＡＣ−ＤＣ）で、入力
は、商用ＡＣ１００／２００Ｖになっている。コンバー
タＨは、制御部Ｇから送出される信号ＶＲｅｆに応じた
出力電圧Ｖｃｃが出力される。次にパワーアンプ邦人を
効率良く動作させるには、電源電圧Ｖｃｃの最大電圧を
あらかじめ決めておき（最大電圧は主にアンプ邦人に使
用されるデバイスの耐圧及び最大出力（Ｐｆｍａｘ）で
決定される。）係る装置において、予のパワアンプ人の
最大出力（例えば、ＩＫｗ）になるように基準信号電圧
Ｅｆを設定する。これによりコンバータ部Ｈは、制御部
Ｇより信号Ｖｌｅｆを受は該最大出力に適合する電源電
圧（Ｖｃｃ）を供給する。一方向装置を所要出力（例え
ば７００Ｗ）で使用する時は、使用者か該基準信号Ｂｆ
を可変すればこれに応じて、信号ＶｉＬｅｆが変化し、
電源電圧Ｖｃｃを可変する。つまり本発明によれば、予
め最大出力Ｐｆを設定し、実動時に所要出力Ｐｆ’・に
応じた電源電圧Ｖｅｃをアンプ邦人に供給することによ
り、常に高効率運転が可能である。因みに第３図中特性
（Ｃ４は、本発明装置による主変換デバイスの損失の関
係を示すもので、該コンバータＨの基準電圧（Ｖｌｅｆ
）を所要出力Ｐｆ’により可変することにより理論的効
率は、全出力範囲で理論値に近い（４２７８％）状態で
動作する。
第４図は、従来例と比較した本発明の特性図で夫々出力
１３．５６ＭＨｚ１１Ｋｗ ＲＰＧＥＮＥＲＡ’ＩＯＲ
適用した例を示すもので特性（Ｅは、電源電圧を可変し
て供給した時（本発明）の効率と又、特性（イ）は一定
電源電圧で供給した時の効率を示す。
１３．５６ＭＨｚ１１Ｋｗ ＲＰＧＥＮＥＲＡ’ＩＯＲ
適用した例を示すもので特性（Ｅは、電源電圧を可変し
て供給した時（本発明）の効率と又、特性（イ）は一定
電源電圧で供給した時の効率を示す。
以上の説明から明らかなように、パワアンプの要所出力
設定に応じて電源電圧を可変せしめるのみで、装置の広
範な使用範囲で効率向上がはかれる等、実用上の効果は
大きい。
設定に応じて電源電圧を可変せしめるのみで、装置の広
範な使用範囲で効率向上がはかれる等、実用上の効果は
大きい。
第１図は従来回路図、第２図は本発明の一実施例回路図
、第３図、第４図は、従来例及び本発明を比較した特性
図である。図において、人はパワアンプ部、Ｖｃｃはそ
の電源電圧、Ｂ、 Ｄはドライブ部、Ｃ１Ｇは制御部、
Ｅは発振部、Ｆはオートゲイン回路、Ｈはコンバータ部
、Ｅｆは出力電力設定用基準信号、ＶＲｅ ｆはコンバ
ータ出力（Ｖｃｃ）設定用基準信号、ＰＤは出力電力検
出回路である。 特許出願人 新電元工業株式会社 ′Ｉ４２−回
、第３図、第４図は、従来例及び本発明を比較した特性
図である。図において、人はパワアンプ部、Ｖｃｃはそ
の電源電圧、Ｂ、 Ｄはドライブ部、Ｃ１Ｇは制御部、
Ｅは発振部、Ｆはオートゲイン回路、Ｈはコンバータ部
、Ｅｆは出力電力設定用基準信号、ＶＲｅ ｆはコンバ
ータ出力（Ｖｃｃ）設定用基準信号、ＰＤは出力電力検
出回路である。 特許出願人 新電元工業株式会社 ′Ｉ４２−回
Claims (1)
- 高周波電力を発生せしめるパワアンプ部と、該パワア
ンプ部に電源電圧を供給するコンバータ部と、該パワア
ンプ部の制御部を備え、且つ前記コンバータ部は、該パ
ワアンプ部の出力電力設定信号に応じて、前記電源電圧
を可変せしめる機能を備えたことを特徴とするＲＦ発生
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30348086A JPS63155904A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Ｒｆ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30348086A JPS63155904A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Ｒｆ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155904A true JPS63155904A (ja) | 1988-06-29 |
Family
ID=17921460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30348086A Pending JPS63155904A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Ｒｆ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63155904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263460A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Osaka Gas Co Ltd | 加熱調理器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228392A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-21 | 松下電器産業株式会社 | 高周波加熱装置 |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP30348086A patent/JPS63155904A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59228392A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-21 | 松下電器産業株式会社 | 高周波加熱装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263460A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Osaka Gas Co Ltd | 加熱調理器 |
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