JPS63161160A - 蒸発源用るつぼ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蒸発源用るつぼに係υ、特に、高品質の薄膜を
安定して成膜できるるつぼ構造に関する。

〔従来の技術〕

従来、物質を加熱蒸発させて薄膜形成を行う真容蒸着、
クラスタイオンビーム蒸着等においては、物質の容器と
してるつぼを用いるのが一般的であり、このるつぼの代
表的なものとしては、特開昭５９−１９７５６５号公報
に記載されている０この方法は、るつぼ本体を、着脱可
能な複数層とし、（１）各層を、るつぼ材質として最も
一般的な黒鉛で形成する０又は（２）最内層を、るつぼ
内に収容する物質と反応しにくい材質で形成する、とい
うものである０〔発明が解決しようとする問題点３ 本方法の眼目は、着脱可能な複数層にすれば、内層が破
壊しても外層にまで及ぶことがないという点にあるが、
（１）の方法では、例えばアルミニウム、ニッケル、シ
リコン等の物質を蒸着する場合、黒鉛と反応を起こし、
生成膜中に不純物が混入するという欠点がある。又、（
２）によれば上記欠点は防げるが、独立の構造体である
ので、ある程度の厚みが必要で、又、外層との間には必
ず空隙がある為、加熱効率が悪くなる。例えば、（２）
の代表的な構造としては、外層が黒鉛、内層としてはボ
ロンナイトライドが考えられるが、るつぼの加熱方式と
して電子衝撃式を用い友場合、外層の黒鉛のみが直接加
熱され、内層のボロンナイトライド（導電性が極めて小
さい）は、黒鉛からの熱を受けてしか加熱されない。し
たがって、上記理由により加熱効率が悪くなり成膜速度
の低下等の悪影響が出てくる。本発明の目的は、かかる
欠点を解消し、高品質な薄膜を加熱効率良く、安定して
取膜できるるつぼ構造を提供することＫある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、るつぼを多層構造として、最内層以外は着
脱可能とし、′ｊ＆内層は、るつぼ内に収容する蒸着物
質と反応しにくい材質を、直外層の内側に薄い膜として
形成することにより達成される。

〔作用〕

最内層以外の６膚を着脱可能とすることにより破壊が最
外層まで及ぶことがなく、最内層を薄膜形成することに
より、高品質の薄膜を所定基板上に加熱効率よく安定し
て成膜することが出来る。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図によって説明する。

図は、本発明の一実施例するクラスタイオンビーム蒸着
用るつぼの構造を示す縦断面図である。１はるつぼ外層
、２は内層、３は最内層、４は外層ぶた、５は内層ぶ几
、６はノズル、７は蒸着物質である。外層１及び外層ぶ
友４と、内層２及び内層ぶ九５は互いに着脱可能な構造
で、例えば黒鉛などの同一材質で形成されており、最内
層３は、内層２及び内層ぶた５の内側に蒸着物と反応し
にくい材質（例えばボロンナイトライド）が、プラズマ
化学蒸着法などによシ薄換として形成されている。

このような構造とすることにより、るっほを加熱して蒸
着物質７を溶融してノズル６から噴出させて成膜を行う
際、内層部が破壊しても外層部にまで影響が及ばないと
いう従来技術の長所をいかしつつ、最内層３にょシ蒸着
物７への不純物混入が抑えられ、更に外層　及び内層２
が同じ材質であシ最内層３が極く薄い膜として内層２の
内側に密着しているので、電子衝撃等による加熱効率も
極めて良い。

尚、本実施例では３層構造であるが、４層以上でも良く
、またクラスタイオンビーム蒸着以外のるつぼにも適用
できることは自明である。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明によればるつぼ内層の破筬が外層に
及ぶことがなく、同時に蒸着物への不純物混入も少なく
るつぼ加熱効率も良くなるので、高品質の薄膜が安定し
て成膜できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は、本発明の一実施例のクラスタイオンビーム蒸着用
るつぼの構造を示す縦断面図である。 ｌ・・・るつぼ外層、２・・・るつぼ内層、３・・・る
つは最内層、４・・・外層ぶ几、５・・・内層ぶた、６
・・・ノズル、７・・・蒸着物質。 １名ら（゛Ｊ゛外１ ２　名らｔａｒ内層 ３　名ら（°江′′景内１ 手　　タトＡ、”＞”ｔミ ５　内層、３１だ ６　ノズル ７エ１物貰

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、るつぼ本体を多層構造として、最内層以外は着脱可
   能とすることを特徴とする蒸発源用るつぼ