JPS63165271A - 粘着フイルム片の貼付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、シリコンウェハのような薄板状の被着体の
表面に、その被着体と同形で略同じ大きさの粘着フィル
ム片を貼付ける粘着フィルム片の貼付方法に関するもの
である。

〔従来の技術およびその問題点〕

上記粘着フィルム片の貼付方法の従来の技術として本件
出願人が提案した特開昭５９−１６９８１１号公報に示
されたものがある。

上記の貼付方法は、吸引台上に送り込まれた被着体をス
トッパに当接させて位置決めし、その被着体と同形で略
同じ大きさの粘着フィルム片を貼付した帯状体を上記被
着体の上方において急角度に屈曲しつつ移動して粘着フ
ィルム片の一部を帯状体から剥離し、その粘着フィルム
片の先端を上記ストッパに当接して被着体に対して相対
的に位置決めしたのち、被着体と粘着フィルム片とを一
対の引取りロールに向けて移動して両者を互いに貼り合
わせるようにしている。

ところで、上記の貼付方法においては、帯状体を急角度
に折曲げる部位と一対の引取りロールとの間に所定の寸
法が存在するため、一対の引をりロールによって粘着フ
ィルム片の中央部が転圧作用を受けるとき、その粘着フ
ィルム片の後端は帯状体から剥離して被着体の上面に重
なるため、粘着フィルム片にしわが生じたり、被着体と
の間に気泡を含むおそれがある。

〔発明の目的〕 この発明は上記の点に鑑み、被着体に対して粘着フィル
ム片を気泡を含ませることなく、しかも皺を生じさせず
に精度よく貼付けることができるようにした粘着フィル
ム片の貼付方法を提供することを目的としている。

〔発明の構成〕

上記の目的を達成するために、この発明は、一方向に搬
送される被着体をストッパに対する当接によって位置決
めし、その被着体と同形で略同じ大きさの粘着フィルム
片を貼付した帯状体を上記被着体の上方において急角度
に屈曲しつつ移動させることにより、粘着フィルム片の
一部を帯状体から剥離し、その粘着フィルム片を上記被
着体に対して相対的に位置決めしたのち粘着フィルム片
の先端部と被着体の先端部とを圧着し、上記帯状体の移
動によって粘着フィルム片を移動し、同時に被着体を同
方向に搬送し、その搬送方向前方に配置した一対の引取
りロール間に上記圧着部をかみ込ませて転圧し、その転
圧作用を受けるまでの間粘着フィルム片の後端部を被着
体に対して遊離状態に保持するようにしたのである。

ここで、粘着フィルム片め遊離状態の保持に際しては、
引取りロールが被着体および粘着フィルム片を引き取る
速度を帯状体の移動速度より速くして帯状体にたるみを
もたせる方法や粘着フィルム片と被着体との間にエアを
噴射する方法等を採用することができる。

（実施例〕 以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図および第２図に示すように、シリコンウェハ等の
薄板状の円形被着体Ａは、一対の平行な第１コンベヤ１
によって第２図の右側から左側に搬送される。

ここで、被着体Ａは、外周の一部に直線部ａを備え、そ
の直線部ａ先にして前方に搬送される。

第１コンベヤ１の前方には、上記被着体Ａをさらに前方
に搬送する第２コンベヤ２が接続され、その第２コンベ
ヤ２の搬出側端部に吸着テーブル３が配置されている。

吸着テーブル３上に送り込まれた被着体Ａは、その吸着
テーブル３の前方に配置したストッパ４と被着体Ａの後
方からストッパ４に向けて移動するブツシャ５とによっ
て前後方向に位置決めされる。

また、吸着テーブル３の両側から被着体Ａの側方に向け
て左右対称に移動可能な一対のサイドローラ６により被
着体Ａの両側部が位置決めされる。

被着体Ａを支持する吸着テーブル３は、上面に多数の吸
引孔（図示省略）を備え、その吸引孔に作用する吸引力
によって位置決め後の被着体Ａが吸着支持される。

なお、図ではストッパ４およびブツシャ５の移動機構を
省略しているが、ストッパ４はソレノイド等の作動によ
って被着体Ａの搬送面に対して出没され、一方ブソシャ
５は、被着体Ａの移動方向に長いカム面に沿って移動可
能となり、被着体Ａの通過後、その被着体Ａに追従して
動かされ、その移動途中において被着体Ａの搬送面上に
突出するようになっている。

前記第２コンベヤ２の上方には、支持軸７と巻取軸８と
が配置され、支持軸７には帯状体Ｔのロール体が支持さ
れている。

ここで、帯状体Ｔは、片面が離型処理され、その処理面
に第３図に示すように、被着体Ａと同形の略同じ大きさ
の粘着フィルム片Ｂが所要の間障をおいて貼付されてい
る。

支持軸７から引き出された帯状体Ｔは複数のロー　ＪＬ
／　９　ニヨって案内され、一対のピンチロール１０．
１０の回転によって所定長さ引き出され、その引出し量
に対応する長さだけ巻取軸８によって巻取られるように
なっている。

上記帯状体Ｔの移送路には、その帯状体Ｔを吸着テーブ
ル３の上方位置において急角度に折曲げる板状のピーリ
ング部材１１が配置されている。

このピーリング部材１１は前後に分割され、その前側分
割体１１ａは固定配置の後側分割体１１ｂにビン１２に
よって揺動可能に支持されている。

また、前側分割体１１ａは、図示省略したスプリングの
弾力により上方に偏向されて上面が後側分割体Ｎｂの上
面と同一面に保持されている。

上記のようなピーリング部材１１の配置によって帯状体
Ｔを移動するとピーリング部材１１の先端位置において
帯状体Ｔから粘着フィルム片ＢがＭｌ＋　１される。粘
着フィルム片Ｂが所定長さ剥離して、その上方に配置し
た検出器１３が粘着フィルム片Ｂの後端を検出すると、
ピンチロール１ｏが停止する。

検出８１３は、粘着フィルム片Ｂをその下方で停止する
被着体Ａに対して相対的に位置決めするものであり、実
施例の場合は、粘着フィルム片Ｂの後端を検出するよう
にしたが、粘着フィルム片Ｂの先端を検出するようにし
てもよい。

上記ピーリング部材１１の先端部上方には、帯状体Ｔか
ら一部が別離された粘着フィルム片Ｂを吸着保持してそ
の先端部を被着体Ａの先端部に圧着する圧着袋！２０が
設けられている。

この圧着装置２０は、エンドレスの孔あきベルト２１を
備え、そのベルト２１の内側に吸着箱２２を配置しであ
る。ベルト２１は、適宜の駆動装置の作動によって第１
図の矢印方向に搬送される。

マｆ、−、ベルト２１、吸着箱２２およびベルト２１の
移動を案内するプーリ２３は図示省略したフレームで支
持され、そのフレームはプーリ軸２４を中心に揺動可能
に支持され、シリンダ等の作動によって先端部が下方に
押し下げられる。

前記第２コンベヤ２の前方には、一対の引取りロール３
０が配置され、さらに、その前方に搬出コンベヤ３１が
配置されている。

第４図乃至第８図は粘着フィルム片Ｂの貼付けを段階的
に示す概略図である。

いま、第４図に示すように、第２コンベヤ２によって搬
送された被着体Ａが吸着テーブル３上において位置決め
されると、吸着テーブル３の吸引孔に吸引力が作用し、
被着体Ａを吸着支持する。

一方、帯状体Ｔは、ピンチロール１０の回転によって移
動され、その移動によって粘着フィルム片Ｂは帯状体Ｔ
から剥離される。粘着フィルム片Ｂの後端が第５図に示
すように、検出器１３によって検出されると、ピンチロ
ール１０は停止する。

このため、粘着フィルム片Ｂは、その下方で停止する被
着体Ａに対して相対的に位置決めされる。

このとき、吸引箱２２内には吸引力が付与され、その吸
引力は、孔あきベルト２１を介して粘着フィルム片Ｂに
作用するため、粘着フィルム片Ｂはベルト２１に吸着さ
れる。

粘着フィルム片Ｂの位置決め後、ベルト２１は先端部が
押し下げられる。その押し下げによりベルト２１はプー
リ軸２４を中心に回転し、同時にピーリング部材１１の
前側分割体ｔｔａが押し下げられて下方に回動し、粘着
フィルム片Ｂの先端部が被着体Ａの先端部に圧着される
（第６図参照）。

圧着後、吸着テーブル３は被着体Ａの吸着を解除し、同
時にベルト２１ば上方に移動され、次に第２コンベヤ２
の移動と帯状体Ｔの引き取りとによって被着体Ａおよび
粘着フィルム片Ｂが前方に搬送される（第７図参照）。

被着体Ａおよび粘着フィルム片Ｂの先端の圧着部が一対
の引取りロール３０間に進入すると、その一対の引取り
ロール３０の回転によって、被着体Ａおよび粘着フィル
ム片Ｂが前方に搬送され、同時に一対の引取りロール３
０により転圧作用を受けて互いに貼付される。

このとき、引取りロール３０は、被着体Ａおよび粘着フ
ィルム片Ｂを、帯状体Ｔの移動速度より速い速度で前方
に搬送させるようになっている。

このため、帯状体Ｔは、第８図に示すようにたるみが生
じ、そのたるみによって粘着フィルム片Ｂの後端部が持
ち上げられ、被着体Ａに対してＭ離状態に保持される。

したがって、粘着フィルム片Ｂは、被着体Ａに対する接
着位置より後端の部分が被着体Ａに先に接着せず、一対
の引取ロール３０間を通過するとき被着体Ａに接着され
、気泡やしわを発生させることなく粘着フィルム片Ｂを
貼付することができる。貼付後の製品は搬出コンベヤ３
１によって前方に搬送される。

なお、第７図および第８図においては、ピーリング部材
１１の先端部において帯状体Ｔが風船状にたるみ、その
下側のたるみが被着体Ａの表面に接触する可能性がある
。

そこで、第９図に示すように、ピーリング部材１１の後
側分割体１１ｂを前後に分割し、その前側部分を帯状体
Ｔのたるみに合わせて第１０図に示すように前進させ、
あるいは帯状体Ｔの移動と同時に強制的に前進させるこ
とにより被着体Ａに帯状体Ｔが接触するのを防止するこ
とができる。

実施例の場合は、引取りロール３０が被着体Ａおよび粘
着フィルム片Ｂを引き取る速度を帯状体Ｔの引き取り速
度により速くして帯状体Ｔにたるみをもたせ、そのたる
みの形成によって粘着フィルム片Ｂの後端部を被着体Ａ
に対して遊離状態に保持するようにしたが、遊離状態に
保持する手段はこれに限定されるものではない０例えば
、第７図および第８図に示すように、ピーリング部材１
１の下方にエア噴射ノズル４０を設け、そのノズル４０
から被着体Ａと粘着フィルム片８間にエアを噴射して粘
着フィルム片Ｂの後端部を持ち上げるようにしてもよい
。

〔効果〕

以上のように、この発明は、帯状体の移動によってその
帯状体から粘着フィルムを剥離し、この粘着フィルムを
その下方で予め位置決めされた被着体に対して相対的に
位置決めしたのち、粘着フィルム片の先端部と被着体の
先端部とを圧着し、その圧着部を一対の引取りロール間
に送り込み、粘着フィルム片の後端部が被着体に圧着さ
れるまで粘着フィルム片の後端部を被着体に対して遊離
状態に保持するようにしたので、被着体と粘着フィルム
片間に気泡の入らないように、しかも粘着フィルム片に
しわを発生させることなく粘着フィルム片を貼付するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る方法に実施する貼付装置の概
略図、第２図は同上の平面図、第３図は同上帯状体の斜
視図、第４図乃至第８図は粘着フィルム片の貼付は状態
を段階的に示す正面図、第９図は同上ピーリング部材の
他の実施例を示す概略図、第１０図は第９図の作動状態
を示す概略図である。 Ａ・・・・・・被着体、Ｔ・・・・・・帯状体、Ｂ・・
・・・・粘着フィルム片、４・・・・・・ストッパ、３
０・・・・・・引取りロール。 第９図 第１０図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）一方向に搬送される被着体をストッパに対する当
   接によって位置決めし、その被着体と同形で略同じ大き
   さの粘着フィルム片を貼付した帯状体を上記被着体の上
   方において急角度に屈曲しつつ移動させることにより、
   粘着フィルム片の一部を帯状体から剥離し、その粘着フ
   ィルム片を上記被着体に対して相対的に位置決めしたの
   ち粘着フィルム片の先端部と被着体の先端部とを圧着し
   、上記帯状体の移動によって粘着フィルム片を移動し、
   同時に被着体を同方向に搬送し、その搬送方向前方に配
   置した一対の引取りロール間に上記圧着部をかみ込ませ
   て転圧し、その転圧作用を受けるまでの間粘着フィルム
   片の後端部を被着体に対して遊離状態に保持するように
   した粘着フィルム片の貼付方法。
2. （２）前記引取りロールが被着体および粘着フィルム片
   を引き取る速度を帯状体の移動速度より速くして帯状体
   に粘着フィルム片の後端部を持ち上げるたるみをもたせ
   た特許請求の範囲第１項記載の粘着フィルム片の貼付方
   法。
3. （３）被着体とその被着体に先端部が圧着された粘着フ
   ィルム片との間にエアを噴射して粘着フィルム片の先端
   部を持ち上げるようにした特許請求の範囲第１項記載の
   粘着フィルム片の貼付方法。