JPS6316885A - レ−ザトリミング装置 - Google Patents
レ−ザトリミング装置Info
- Publication number
- JPS6316885A JPS6316885A JP61162277A JP16227786A JPS6316885A JP S6316885 A JPS6316885 A JP S6316885A JP 61162277 A JP61162277 A JP 61162277A JP 16227786 A JP16227786 A JP 16227786A JP S6316885 A JPS6316885 A JP S6316885A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- start position
- trimmed
- proximity sensor
- pattern
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 abstract description 7
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はレーザトリミング装置に関し、特に近接センサ
回路のトリミングを行うレーザトリミング装置に関する
。
回路のトリミングを行うレーザトリミング装置に関する
。
従来技術
従来、レーザトリミング装置においては、トリミングを
開始する位置が被トリミング基板上に設定された基準位
置（印刷基板においては印刷位置の基準としたコーナ）
を基準として決められ、これにより被トリミング基板の
ハンドリング位置やレーザビームの開始位置が決められ
ていた。
開始する位置が被トリミング基板上に設定された基準位
置（印刷基板においては印刷位置の基準としたコーナ）
を基準として決められ、これにより被トリミング基板の
ハンドリング位置やレーザビームの開始位置が決められ
ていた。
このような従来のレーザトリミング装置において、近接
センサを動作させながら近接センサ回路のトリミングを
行うことで検出感度の調整を行う場合には、被検出体の
金属板と近接センサのヘッド部との距離を一定にしてか
らレーザトリミングを行うので、近接センサの電子回路
を構成している被トリミング基板と近接センサのヘッド
郡部の組立てにおいて組立誤差が生ずる（１１立て精度
が粗い）とレーザトリミング開始位置がずれてしまうと
いう欠点があった。
センサを動作させながら近接センサ回路のトリミングを
行うことで検出感度の調整を行う場合には、被検出体の
金属板と近接センサのヘッド部との距離を一定にしてか
らレーザトリミングを行うので、近接センサの電子回路
を構成している被トリミング基板と近接センサのヘッド
郡部の組立てにおいて組立誤差が生ずる（１１立て精度
が粗い）とレーザトリミング開始位置がずれてしまうと
いう欠点があった。
発明の目的
本発明は上記のような従来のものの欠点を除去すべくな
されたもので、被トリミング基板と近接センサのヘッド
部との組立て精度に影響されることなく近接センサ回路
のトリミングを行うことができるレーザトリミング装置
の提供を目的とする。
されたもので、被トリミング基板と近接センサのヘッド
部との組立て精度に影響されることなく近接センサ回路
のトリミングを行うことができるレーザトリミング装置
の提供を目的とする。
発明の構成
本発明によるレーザトリミング装置は、被トリミンク基
板上の所定パターンを予め定められたトリミング開始位
置のパターンと比較し、その結果に応じて前記トリミン
グ開始位置を決めるように制御したことを特徴とする。
板上の所定パターンを予め定められたトリミング開始位
置のパターンと比較し、その結果に応じて前記トリミン
グ開始位置を決めるように制御したことを特徴とする。
実施例
次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。図
において、Ｎｄ：ＹＡＧ（ネオジムヤグ）レーザ発振装
置１より出射されたレーザ発振光は、ビームエキスパン
ダ２でビーム径が拡大され、ダイクロイックミラー３に
より反射される。ガルバノメータ４．６および走査ミラ
ー５．７によって構成されるビームボジショニング装置
でレーザ発振光は偏向走査され、ｆ−θレンズ８により
集光されつつ、ミラー９で反射されて近接センサ回路の
被トリミング基板１０上の被トリミング抵抗を加工する
。
において、Ｎｄ：ＹＡＧ（ネオジムヤグ）レーザ発振装
置１より出射されたレーザ発振光は、ビームエキスパン
ダ２でビーム径が拡大され、ダイクロイックミラー３に
より反射される。ガルバノメータ４．６および走査ミラ
ー５．７によって構成されるビームボジショニング装置
でレーザ発振光は偏向走査され、ｆ−θレンズ８により
集光されつつ、ミラー９で反射されて近接センサ回路の
被トリミング基板１０上の被トリミング抵抗を加工する
。
また、照明２１は被トリミング基板１０を照射し、被ト
リミング基板１０より反射された観測光はミラー９で反
射し、ｆ−θレンズ８を通り、走査ミラー７．５で反射
される。赤外光であるレーザ光は反射し、可視光である
観測光は透過するダイクロイックミラー３により観測光
はレーザ光の光路より分離され、レンズ１７により集光
されてビデオカメラ１８によりビデオ信号に変換され、
パターン認識ユニット１６に供給される。この観測光は
パターン認識ユニット１６でパターン認識され、ビデオ
モニタ１９に写し出される。
リミング基板１０より反射された観測光はミラー９で反
射し、ｆ−θレンズ８を通り、走査ミラー７．５で反射
される。赤外光であるレーザ光は反射し、可視光である
観測光は透過するダイクロイックミラー３により観測光
はレーザ光の光路より分離され、レンズ１７により集光
されてビデオカメラ１８によりビデオ信号に変換され、
パターン認識ユニット１６に供給される。この観測光は
パターン認識ユニット１６でパターン認識され、ビデオ
モニタ１９に写し出される。
電源および電圧測定器１４はプローブ１３により被トリ
ミング基板１０に電源を供給すると共に、近接センサ回
路の出力電圧を測定する。また、近接センサヘッド部１
１は検出体金属板１２との距離が近接センサの検出距離
と同じになるように、近接センサ位置決めホルダ２２に
より位置決めされて固定される。
ミング基板１０に電源を供給すると共に、近接センサ回
路の出力電圧を測定する。また、近接センサヘッド部１
１は検出体金属板１２との距離が近接センサの検出距離
と同じになるように、近接センサ位置決めホルダ２２に
より位置決めされて固定される。
制御回路１５はコンピュータ２０によりプログラム制御
され、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振光のオン／オフ制御と、
ガルバノメータ型ビームボジショニング装置の走査制御
と、電圧測定器１４およびパターン認識ユニット１６の
制御とを行い、レーザ加工を行う。
され、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振光のオン／オフ制御と、
ガルバノメータ型ビームボジショニング装置の走査制御
と、電圧測定器１４およびパターン認識ユニット１６の
制御とを行い、レーザ加工を行う。
近接センサヘッド部１１と被トリミング基板１０との組
立精度をレーザトレミング開始位置のズレを生じさせな
いための精麿内に納めなくても、近接センサの検出感度
の調整を行いながらレーザトリミングを行うには、近接
センサヘッド部１１と検出体金属板１２との距離が近接
センサの検出距離と同じになるように、近接センサヘッ
ド部１１を近接センサ位置決めホルダ２２により位置決
めして固定する。その後、トリミング開始位置にガルバ
ノメータ型ビームボジショニング装置でレーザビームの
位置決めを行い、その位置での被トリミング基板１０の
観測光によりパターン化して、パターン認識ユニット１
６に記憶させておいたトリミング開始位置のパターンと
比較し、その比較結果から得られた位置偏差によりトリ
ミング開始位置を補正してトリミングを行う。
立精度をレーザトレミング開始位置のズレを生じさせな
いための精麿内に納めなくても、近接センサの検出感度
の調整を行いながらレーザトリミングを行うには、近接
センサヘッド部１１と検出体金属板１２との距離が近接
センサの検出距離と同じになるように、近接センサヘッ
ド部１１を近接センサ位置決めホルダ２２により位置決
めして固定する。その後、トリミング開始位置にガルバ
ノメータ型ビームボジショニング装置でレーザビームの
位置決めを行い、その位置での被トリミング基板１０の
観測光によりパターン化して、パターン認識ユニット１
６に記憶させておいたトリミング開始位置のパターンと
比較し、その比較結果から得られた位置偏差によりトリ
ミング開始位置を補正してトリミングを行う。
このように、被トリミング基板１０上のパターンを予め
定められたトリミング開始位置のパターンと比較し、比
較結果に応じてトリミング開始位置を決めるようにする
ことによって、被トリミング基板１０と近接センサヘッ
ド部１１との組立て精度に影響されることなく近接セン
サ回路のトリミングを行うことができる。
定められたトリミング開始位置のパターンと比較し、比
較結果に応じてトリミング開始位置を決めるようにする
ことによって、被トリミング基板１０と近接センサヘッ
ド部１１との組立て精度に影響されることなく近接セン
サ回路のトリミングを行うことができる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、被トリミング基板上
のパターンを予め定められたトリミング開始位置のパタ
ーンと比較し、比較結果に応じてトリミング開始位置を
決めるようにすることによって、被トリミング基板と近
接センサのヘッド部との組立て精度に影響されることな
く近接センサ回路のトリミングを行うことができるとい
う効果がある。
のパターンを予め定められたトリミング開始位置のパタ
ーンと比較し、比較結果に応じてトリミング開始位置を
決めるようにすることによって、被トリミング基板と近
接センサのヘッド部との組立て精度に影響されることな
く近接センサ回路のトリミングを行うことができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
主要部分の符号の説明
１０・・・・・・被トリミング基板
１１・・・・・・近接センサヘッド部
１２・・・・・・検出体金属板
１４・・・・・・電圧測定器
１５・・・・・・制御回路
１６・・・・・・パターン認識ユニット１８・・・・・
・ビデオカメラ
・ビデオカメラ
Claims (1)
- 被トリミング基板上の所定パターンを予め定められたト
リミング開始位置のパターンと比較し、その結果に応じ
て前記トリミング開始位置を決めるように制御したこと
を特徴とするレーザトリミグ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61162277A JPS6316885A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61162277A JPS6316885A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | レ−ザトリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316885A true JPS6316885A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15751412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61162277A Pending JPS6316885A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316885A (ja) |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP61162277A patent/JPS6316885A/ja active Pending
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