JPS63169654A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産泉上９剋里分団 本発明は、機能分離型感光体に関する。

従来Ω棟街 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、感光体にも様々な材料が開発され実用化さ
れて来た。

従来用いられて来た感光体材料の主な物としては、フタ
ロシアニン系顔料、ジスアゾ系顔料、トリスアゾ系顔料
、ペリレン系顔料、ポリビニルカルバゾール、トリフェ
ニルメタン化合物、トリフェニルアミン化合物、ヒドラ
ゾン化合物、スチリル化合物、ビラプリン化合物、オキ
サゾール化合物、オキサジアゾール化合物、等の有機物
質、非晶質セレン、セレン砒素、セレンテルル、硫化カ
ドミウム、酸化亜鉛、アモルファスシリコン等の無械物
質が挙げられる。また、その構成形態としては、これら
の物質を単体で用いる単層型構成、結着材中に分散させ
て用いるバインダー型構成、機能別に電荷発生層と電荷
輸送層とを設ける積層型構成等が挙げられる。

中でもフタロシアニン系顔料は、フタロシアニン単体に
おいて良好な電荷発生能を有するばかりでなく、フタロ
シアニン骨格中に種々の金属原子或は置換基を導入する
ことにより光吸収波長域を比較的任意に選択可能である
ことから、可視域付近に発光波長を有する白色光を光源
に用いた所謂ＰＰＣ用感光体から７８０ｎｍ付近に発光
波長を有する半導体レーザー光を光源に用いた所謂ＬＢ
Ｐ用感光体まで、輻広く応用可能な電荷発生材料として
期待され多くの研究並びに発明がなされて来ている。

フタロシアニン系顔トＩを樹脂中に分散せしめた塗膜が
電荷発生材料として感光体に使用可能であることは古く
より知られており、例えばバケット（Ｃ，Ｆ、Ｈａｃｋ
ｅｔ　ｔ）により、１９７１年発行のザ・ジャーナル・
オブ・ケミカル・フィジックス（Ｔｈｅ　　Ｊｏｕｒｎ
ａ　ｌ　　ｏｆ　　Ｃｈｅｍｉｃａ　ｌ　　Ｐｈｙｓｉ
ｃｓ）第５５巻第７号第３１７８頁乃至第３１８７頁に
おいて、高濃度のフタロシアニン顔料を含有するポリ−
Ｎ−ビニルカルバゾール層とポリ−Ｎ−ビニルカルバゾ
ール層とを塗布積層することにより電子写真用感光材料
が得られることが報告されている。また、特開昭４７−
３０３２８号公報にはＸ型及びβ型の無金属フタロシア
ニン及び金属フタロシアニンを樹脂中に分散塗布せしめ
た電子写真プレートが開示されている。この他にも、機
能分離型構成及びバインダー型構成の何れにも、フタロ
シアニン系顔料を分散塗布した薄膜を電荷発生材料に用
すな感光体に関する開示が数多くなされている。

しかしながら、フタロシアニン系顔料を分散塗布した薄
膜を電荷発生材＋３１に用いた感光体の作製には、使用
するフタロシアニン系顔料に適した樹脂の選択とフタロ
シアニン系顔料の分散性に優れた樹脂用溶剤の選択とを
行なう必要がある。そして、これらの材料から、混合比
、粘度、分散法等の調整により均質な塗液を調製し、ざ
らに、塗工法、乾燥法等の調整により均等な膜厚を有す
る薄膜を形成する必要があり、感光体作製における不安
定要素が多い。

そこで、均一なフタロシアニン系顔料の薄膜を容易に形
成するために真空蒸着を用いる手法が注目されている。

一般に、フタロシアニン系顔料の真空蒸着膜は、膜形成
速度が低いため、感光体全層に用いるには産業上不都合
な点が多いが、機能分離型感光体の電荷発生層として用
いる場合には膜厚が極めて薄くて済むため有用である。

フタロシアニン系化合物の蒸着膜が感光体の電荷発生層
として使用可能であることは古く上り知られており、例
えばレゲンスバーガー（Ｐ、Ｊ。

Ｒｅｇｅｎｓｂｕｒｇｅｒ）及びベトルッツエラ（Ｎ、
Ｌ、Ｐｅｔｒｕｚｚｅｌ　ｌａ）により、１９７１年発
行のジャーナル・オブ・ノンクリスタリン・ソリッド（
Ｊｏｕｒｎａｌ　　ｏｆ　　Ｎ。

ｎ−Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　　５ｏｌｉｄ）第６巻第
１３乃至第２６頁において、無金属フタロシアニンの蒸
着膜を電荷発生層として用いた感光体において、非晶質
セレンを電荷輸送層として明減衰が得られることが報じ
られている。そしてこれまでに、電荷発生層として応用
可能なフタロシアニン系蒸着膜に関する多くの発明がな
されている。同時に、該電荷発生層と積層することによ
り感光体として実質的に機能させるために、接着性に優
れ、電荷発生層からの電荷注入が容易で、ざらに、電荷
輸送性に優れた電荷輸送層材料に関しても多くの発明が
なされている。

例えば、特開昭４９−４８３３４号公報、特公昭５９−
３２７８７号公報、米１１ＵＳＰ３，８９５．９４４号
公報には、無金属、または、Ｃｕ。

Ｃｄ、Ｚｎ１Ｐｂ等の金属を含むフタロシアニンの蒸着
膜を電荷発生層として設け、その上にオキサジアゾール
系の電荷輸送層を塗布した感光体が開示されている。こ
の他にも、フタロシアニン系蒸着膜を電荷発生層に用い
た感光体について、数多くの開示が見られる。

■が８″決しようとする１題点 前述のフタロシアニン系顔料の蒸着膜は、電荷発生能に
優れる反面、電気抵抗が低いため、そのまま機能分離型
感光体の電荷発生層として使用すると、コロナ帯電等に
より電荷発生層中に形成きれるべき電界の強度が低くな
り、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効率を低減し
、感度の低下を招く。また、フタロシアニン系顔料の蒸
着膜の中には半導体レーザー発光波長付近に感度を有す
るものもあるが、実用上ざらなる高感度化が望まれる。

溶剤処理による高感度化が、前述の特開昭５８−１５８
６４９号公報に開示きれてはいるが、工程の複雑化を伴
う。

本発明は、フタロシアニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層
に用いた機能分離型感光体において、従来演では必ずし
も高抵抗の膜が得られず、感光体として充分な帯電電位
が得られるとは限らなかった問題点を解決し、光感度を
損なうことなく高電位にまで帯電可能な感光体を提供し
ようとするものである。゛まな、本発明は、フタロシア
ニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層に用いた機能分離型感
光体において、従来法では長波長域での感度向上を達成
するために工程の複雑化を伴う問題点を解決し、簡便な
方法で、しかも蒸着終了時において既に、長波長域での
高感度化が完了している電荷発生層を有する感光体を提
供しようとするものである。また、本発明は、フタロシ
アニン系顔料の蒸着膜を電荷発生層に用いた機能分離型
感光体において、電荷輸送層材料、電荷輸送層の製法、
並びに、電荷輸送層との積層位置関係等に制限を受ける
ことなく、自由度の高い感光体設計が可能な感光体を提
供しようとするものである。ざらに、本発明は、一般に
、有機系感光体において問題となる繰返し使用時におけ
る特性劣化を解決し１、長期使用にも耐え得る感光体を
提供しようとするものである。

問題点を解決するための手段 即ち、本発明は、導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送
層とを積層してなる機能分離型感光体において、該電荷
発生層がフタロシアニン系顔料の真空蒸着膜と絶縁性有
機物質の真空蒸着膜とを交互に積層してなることを特徴
とする感光体に関する（以下、本発明による電荷発生層
をＰｃ膜と称する）。

本発明感光体は少なくとも電荷発生層と電荷輸送層から
構成される。

本発明感光体における電荷発生層、即ち、Ｐｃ膜は、フ
タロシアニン系顔料と絶縁性有機物質とを蒸着源とし、
真空蒸着の常法を用いて、交互に蒸着することにより作
製可能である。

蒸着源として使用可能なフタロシアニン系顔料としては
、例えば、ＣｕＰｃ、ＡｌＣｌＰｃ　（ＣＩ　）　、Ａ
　Ｉ　ＣＩ　Ｐ　ＣＮ　Ｈ２Ｐ　Ｃ，Ｇ　ｅ　（ＯＨ）
　２Ｐｃ、ＺｎＰｃ、ＭＳＰＣ，に２ＰＣＳＴｉＯＰ−
ｃ等が挙げられる。また、蒸着源として使用可能な絶縁
性有機物質としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリスチレン、等が挙げられる。

本発明感光体における電荷発生層中に含有せしめられる
有機材料としては絶縁性有機物質が好ましい。反対に、
電荷供与性或は電荷受容性を有する材料を用いた場合に
は、生成された電荷発生層中の不純物濃度が高くなるた
め熱励起キャリアの影響を受けやすくなるため、必ずし
も充分な帯電性能が確保されるとは限らなくなる。

本発明のＰｃ膜の膜厚は、２００Å以上が好ましい。膜
厚が２００人より薄いと、電荷発生層における光吸収量
が低下するため光励起キャリア数が減り、感度低下を招
く。膜厚の上限は物性的には制限を受けず、厚膜化すれ
ばＰｃ膜だけでも感光体として使用できるが、生産性を
考慮すれば、概ね５μｍ以下の電荷発生層として用いる
ことが好ましい。

本発明のＰｃ膜中に構成されるフタロシアニン系顔料の
真空蒸着膜及び絶縁性有機物質の真空蒸着膜の膜厚は何
れも５００Å以下が好ましい。フタロシアニン系類ｆ」
の真空蒸着膜のＨ５￥厚が５００人より厚いとフタロシ
アニン系顔料の真空蒸着膜が元来有する低抵抗性が電荷
発生層全体においても支配的となり、前述の如く、コロ
ナ帯電等により電荷発生層中に形成されるべき電界の強
度が低くなり、光励起キャリアの電荷輸送層への注入効
率を低減せしめ、感度低下を招芳好ましくない。

絶縁性有機物質の真空蒸着膜の膜厚が５００人より厚い
と絶縁性有機物質の真空蒸着膜が元来有する絶縁性が電
荷発生層全体においても支配的となり、感光体の感度低
下と残留電位の上昇を招き好ましくない。双方の膜厚が
５００人より厚いと電荷発生層内部でのキャリアの移動
が阻害され、感光体の感度低下を招き好ましくない。フ
タロシアニン系顔料の真空蒸着膜及び絶縁性有機物質の
真空蒸着膜の膜厚の下限は特にはなく、装置上安定に制
御できる範囲に設定すればよい。本発明の電荷発生層中
に構成されるフタロシアニン系顔料の真空蒸着膜及び絶
縁性有機物質の真空蒸着膜の膜厚は、寓用される元素分
析、例えば、オージェ分析、ＩＭＡ、ＸＰＳ分析等を用
いて、深ざ方向の元ｅＪｆ分布を測ることにより知るこ
とができ、また、予め二種類の蒸着源につき別個に単位
時間蒸着を行ない、形成された蒸着膜の膜厚をダイヤル
ゲージで測定することにより堆積速度を算出しておき、
実際の蒸着時においては蒸着時間を計測すれば知ること
ができる。これらの手段は、何れも測定誤差程度の範囲
でよく一致した結果を得ることが可能である。

本発明における感光体の電荷輸送層は、製法及び材料共
に、特に限定を受けるものではない。

本発明にお（する感光体の電荷輸送層としては、ヒドラ
ゾン系化合物、ピラゾリン系化合物、スチルベン化合物
、トリアリールメタン系化合物、トリアリールアミン系
化合物、オキサジアゾール系化合物、オキサゾール系化
合物、チアゾール系化合物、ポリアリールアルカン類等
を例とする所謂有機電荷輸送性材料をポリカーボネイト
、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ボリアリ
レート、ポリスルポン、アクリル樹脂、メタクリル４ｉ
Ｊ脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、フェーノール樹脂
、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、スチレンアクリル
共重合体、スチレンブタジェン共重合体、スチレンマレ
イン酸共重合体等を例とする樹脂中に適当な溶剤を用い
て分散せしめた塗液を用いて、ディッピングコーティン
グ法、スプレーコーティング法、スピナーコーティング
法、ワイヤーバーコーティング法、ブレードコーティン
グ法、ローラーコーティング法等を例とする塗布法によ
り形成きれた薄膜を使用することが可能である。また、
本発明における感光体の電荷輸送層としては、前記例示
の如き所謂有機電荷輸送性材料等を蒸着源として真空蒸
着法により形成される薄膜を使用することが可能である
。また、本発明における感光体の電荷輸送層としては、
シラン、ジシラン、四弗化シラン等を例とする珪素原子
を含む気体とメタン、エタン、エチレン、アセチレン等
を例とする炭素原子を含む気体の混合気体を原料としプ
ラズマＣＶＤ法により形成されるＩｕ　Ｈ’Ａを使用す
ることが可能である。°きらに、本発明における感光体
の電荷輸送層としては、メタン、プロパン、ブタン、イ
ソブタン、イソペンタン、エチレン、プロピレン、ブタ
ジェン、オシメン、ミルセン、アセチレン、ブタジイン
、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロプロペン、
カレン、ピネン、ベンゼン、トルエン、キシレン、スチ
レン、ビフェニル、トリフェニルメタン、ジベンジル、
ナフタリン、アントラセン等の炭化水素、メタノール、
エタノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチル
ケトン等のケトン類、ジメチルエチル、メチルエチルエ
ーテル等のエーテル類、ギ酸メチル、・酢酸エチル等の
エステル類、等を例とする有機化合物の気体を原料とし
プラズマＣＶＤ法により形成される所謂有機プラズマ重
合膜をも使用することが可能である。

本発明感光体における電荷輸送層は、可視光もしくは半
導体レーザー光付近の波長の光に対しては明確なる光導
電性は有ざないが好適な電荷輸送性を有し、本発明感光
体における電荷発生層で可視光もしくは半導体レーザー
光付近の波長の光により発生したキャリアを効率よく輸
送し、感光体の明減衰に効果的に寄与するものである。

本発明における感光体は、電荷発生層と電荷輸送層から
なる機能分離型の構成とするのが最適で、該電荷発生層
と該電荷輸送層の積層構成は、必要に応じて適宜選択す
ることが可能である。

第１図は、その一形態として、導電性基板（１）上に電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）を順次積層してなる
構成を示したものである。第２図は、別の一形態として
、導電性基板（１）上に電荷発生層（３）と電荷輸送層
（２）を順次積層してなる構成を示したものである。第
３図は、別の一形態として、導電性基板（１）上に、電
荷輸送Ｎ（２）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。

感光体表面を、例えばコロナ帯電器等により正帯電した
後、画像露光して使用する場合においては、第１図では
電荷発生層（３）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中
を導電性基板（１）に向は走行し、第２図では電荷発生
層（３）で発生した電子が電荷輸送層（２）中を感光体
表面に向は走行し、第３図では電荷発生層（３）で発生
しｔ：正孔が導電性基板側の電荷輸送層（２）中を導電
性基板（１）に向は走行すると共に、同時に電荷発生層
（３）で発生した電子が表面側の電荷輸送層（２）中を
感光体表面に向は走行し、好適な明減衰に保証された静
電潜像の形成が行なわれる。反対に感光体表面を負帯電
した後、画像露光して使用する場合においては、電子と
正孔の挙動を入れ代えて、キャリアーの走行性を解すれ
ばよい。第２図及び第３図では、画像露光用の照射光が
電荷輸送層中を通過することになるが、本発明による感
光体の電荷輸送層は透光性に優れることから、好適な潜
像形成を行なうことが可能である。

第４図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と表面保護層（
４）を順次積層してなる構成を示したものである。即ち
第１図の形態に表面保護層を設けた形態に相当するが、
第１図の形態では、最表面力項ノ久性に優れた本発明感
光体の電荷発生層であるため表面保護層を設けなくても
よいが、例えば現像剤の付着による感光体表面の汚染を
防止するような、複写機内の各種エレメントに対する整
合性を調整する目的から、表面保護層を設けることもざ
らなる一形態となりうる。第２図及び第３図の構成の場
合、最表面が本発明感光体においては特に限定を受けな
い電荷輸送層であることから、実用上の湿度安定性或は
耐摩耗性を確保するために表面保護層を設けることもざ
らなる一形態となりうる。

第５図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷発生Ｎ（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層してなる構成を示したものである。即ち第２
図の形態に中間層を設けた形態に相当するが、第２図の
形態では、導電性基板との接合面が接着性及び注入阻止
効果に優れた、本発明感光体の電荷発生層であるため、
２中間層を設けなくてもよいが、例えば導電性基板の前
処理方法のような、感光層形成以前の製造工程との整合
性を調整する目的から、中間層を設けることもざらなる
一形態となりうる。第１図及び第３図の構成の場合、導
電性基板との接合面が本発明感光体においては特に限定
を受けない電荷輸送層であることから、接着性及び注入
阻止効果を確保するために中間層を設けることもざらな
る一形態となりうる。

第６図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）
と表面保護Ｎ（４）を順次積層してなる構成を示したも
のである。即ち第１図の形態に中間層と表面保護層を設
けた形態に相当する。中間層と表面保護層の設置理由は
前述と同様であり、従って第２図及び第３図の構成にお
いて中間層と表面保護層を設けることもざらなる一形態
となりうる。

本発明において中間層と表面保護層は、材料的にも、製
法的にも、特に限定を受けるもので゛はなく所定の目的
が達せられるものであれば、適宜選択することが可能で
ある。

第７図は本発明に係わる感光体の電荷発生層の内部構成
を示したもので、図中（３）は電荷発生層、（３ａ）は
フタロシアニン系顔料の真空蒸着膜、並びに、（３ｂ）
は絶縁性有機物質の真空蒸着膜を表わす。図中、電荷発
生層（３）は、両端部構成とも絶縁性有機物質の真空蒸
着膜（３ｂ）で表わされているが、この構成に限られる
ものではなく、本発明においては、フタロシアニン系顔
料の真空蒸着膜（３ａ）と絶縁性有機物質の真空蒸着膜
（３ｂ）とが交互に積層されることが重要である。

第８図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置を
示し、図中（５０１）は真空槽を示し、内部には基板保
持部材（５０２）により保持された基板（５０３）が設
置きれている。基板（５０３）と対向して蒸発源材料を
載置した第１ボート（５０４）及び第２ボート（５０５
）が配され、各ボートはそれぞれ第１電極（５０６）及
び第２電極（５０７）に接続され電力印加により加熱可
能とされている。基板（５０３）と第１ボート（５０４
）及び第２ボートとの間には第１遮蔽板（５０８）及び
第２遮蔽板（５０９）が設けられ、蒸着時以外において
は、例えば、ボートの昇温降温時或はボート温度の安定
化待機時等においては、蒸発源材料からの不安定な蒸散
物の基板（５０３）への付着を防止するために閉状態に
、蒸着時には開状態に駆動可能なように駆動ソレノイド
（５１０）に接続されている。真空槽（５０１）内は、
排気ポンプ（５１１）により減圧可能とされている。ま
た、本装置においては、ボートの昇温に所謂抵抗加熱法
を用いているが、蒸発温度の高い蒸着源物質については
、電子ビームを用いて昇温しでもよい。

第９図は本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置の
別の一形態を示し、図中基板保持部材（５０２）及び基
板（５０３）の形状が異なり、基板保持部材（５０２）
が駆動モーター（５１２）に接続され基板（５０３）が
回転可能とされること以外は、第７図と同様である。特
に、第９図に示される本発明に係わる感光体の電荷発生
層？ｉ！！造装置においては、円筒状の基板（５０３）
に本発明感光体の電荷発生層を形成することが可能であ
る。

第１０図は本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ法に
よる電荷輸送層製造装置を示し、図中（７０１）乃至（
７０６）は常温において気相状態にある原料化合物及び
キャリアガスを密封した第１乃至第６タンクで、各々の
タンクは第１乃至第６調節弁（７０７）乃至（７１２）
と第１乃至第６流量制御赫（７１３）乃至（７１８）に
接続されている。図中（７１９）乃至（７２１）は常温
において液相または固相状態にある原料化合物を封入し
た第１乃至第３容器で、各々の容器は気化のため第１乃
至第３温調器（７２２）乃至（７２４）により与熱可能
であり、ざらに各々の容器は第７乃至第９調節弁（７２
５）乃至（７２７）と第７乃至第９流量制御器（７２８
）乃至（７３０）に接続されている。これらのガスは混
−合冊（７３１）で混合された後、主管（７３２）を介
して反応室（７３３）に送り込まれる。途中の配管は、
常温において液相または固相状態にあっｔ：原ト↓化合
物が気化したガスが、途中で凝結しないように、適宜配
置された配管加熱器（７３４）により、与熱可能とされ
ている。反応室内には接地電極（７３５）と電力印加電
極（７３６）が対向して設置され、各々の電極は電極加
熱器（７３７）により与熱可能とされている。電力印加
電極（７３６）には、高周波電力用整合器（７３８）を
介して高周波電源（７３９）、低周波電力用整合器（７
４０）を介して低周波電源（７４１）、ローパスフィル
タ（７４２）を介して直流電源（７４３）が接続されて
おり、接続選択スイッチ（７４４）により周波数の異な
る電力が印加可能とされている。反応室（７３３）内の
圧力は圧力制御弁（７４５）により調整可能であり、反
応室（７３３）内の減圧は、排気系選択弁（７４６）を
介して、拡散ポンプ（７４７）　、油回転ポンプ（７４
８）　、或は、冷却除外装置（７４９）−、メカニカル
ブースターポンプ（７５０）、油回転ポンプ（７４８）
により行なわれる。排ガスについては、ざらに適当な除
外装置（７５３）により安全無害化した後、大気中に排
気される。これら排気系配管についても、常温において
液相または同相状態にあった原料化合物が気化したガス
が、途中で凝結しないように、適宜配置きれた配管加熱
器（７３４）により、与熱可能とされている。反応室（
７３３）も同様の理由から反応室加熱器（７５１）によ
り与熱可能とされ、内部に配された電極上に基板（７５
２）が設置される。図中、基板（７５２）は接地電極（
７３５）に固定して配されているが、電力印加電極（７
３６）に固定して配されてもよく、ざらに双方に配され
てもよい。

第１１図は本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ法に
よる電荷輸送層製造装置の別の一形態を示し、反応室（
７３３）内部の形態以外は、第１０図に示した本発明に
係わる感光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造
装置と同様であ′る。

第１０図において、反応室（７３３）内部には、第１０
図における接地電極（７３５）を兼ねた円筒形の導電性
基板（７５２）が設置され、内側には電極加熱器（７３
７）が配されている。導電性基板（７５２）周囲には同
じく円筒形状をした電力印加電極（７３６）が配され、
外側には電極加熱器（７３７）が配されている。導電性
基板（７５２）は、外部より駆動モータ（７５４）を用
いて自転可能となっている。

本発明に係わる感光体の製造においては、電荷輸送層を
塗布法にて作製する場合には、電荷発生層は第８図或は
第９図に示した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造
装置により作製し、電荷輸送層は第８図或は第９図に示
した本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置外にて
、別途、塗布法の常法、即ち、ディッピングコーティン
グ法、スプレーコーティング法、スピナーコーティング
法、ワイヤーパーコーティング法、ブレードコーティン
グ法、ローラーコーティング法等により作製される。ま
た、電荷輸送層を蒸着法にて作製する場合には、電荷発
生層並びに電荷輸送層共に第８図或は第９図に示した本
発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置により作製さ
れる。また、電荷輸送層をプラズマＣＶＤ法にて作製す
る場合には、電荷発生層は第８図或は第９図に示した本
発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置により作製し
、電荷輸送層は第１０図或は第１１図に示した本発明に
係わる感光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造
装置にて作製される。この場合′、各装置は独立して使
用してもよいが、第８図に示した本発明に係わる感光体
の電荷発生層製造装置と第１０図に示した本発明に係わ
る感光体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置
、または、第９図に示した本発明に係わる感光体の電荷
発生層製造装置と第１１図に示した本発明に係わる感光
体のプラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置は、ゲ
ートバルブを介して接続し、適当な基板搬送装置を用い
て蒸着工程とプラズマＣＶＤ工程とを真空を破らずに連
続して行なえる様にしてもよい。また、そうすることに
より、真空外へ基板を取り出した時の基板及び装置に対
する種々のコンタミネーションを防止でき、本発明感光
体の作製を安定した条件下で行なえる様になり好ましい
。

第８図或は第９図に示した本発明に係わる感光体の電荷
発生層製造装置において、本発明感光体の電荷発生層製
造に供する真空槽は、排気ポンプにより予め１０−５乃
至１０−’Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と
装置内部に吸着したガスの脱離を行なう。次いで、第１
乃至第２電極に電力を印加し第１乃至第２ボートをそれ
ぞれ所定の温度まで昇温する。第１乃至第２ボートが所
定の温度で安定化した後、予め開状態にしておいた第１
乃至第２遮蔽板を駆動ソレノイドを用いて交互に開状態
を繰返し、基板上にフタロシアニン系顔料の真空蒸着膜
と絶縁性有機物質の真空蒸着膜とを交互に積層してなる
本発明感光体の電荷発生層を堆積させる。ここで、フタ
ロシアニン系顔料の真空蒸着膜と絶縁性有機物質の真空
蒸着膜との膜厚は、遮蔽板の開時間の調整により行ない
、該電荷発生層が所定の膜厚に達したところで遮蔽板を
両方共閉状態とし、本発明感光体の電荷発生層を得る。

胚堆積終了後は、第１乃至第２電極の電力印加を停止し
て第１乃至第２ボートを冷却すると共に、真空槽内を充
分に排気する。最後に、真空を破り基板を取り出すか、
または、工程によってはゲートバルブを用いて第１０図
或は第１１図に示した本発明に係わる感光体のプラズマ
ＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置に基板を搬送する。

第１０図或は第１１図に示した本発明に係わる感光体の
プラズマＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、
電荷輸送層製造に供する反応室は、拡散ポンプにより予
め１０−４乃至１Ｏ−６Ｔ。

ｒｒ程度にまで減圧し、真空度の確認と装置内部に吸着
したガスの脱着を行なう。同時に電極加熱器により、電
極並びに電極に装着された基板を所定の温度まで昇温す
る。次いで、第１乃至第６タンク及び第１乃至第３容器
から、原料ガスを適宜第１乃至第９流量制御器を用いて
定流量化しながら反応室内に導入し、圧力調節弁により
反応室内を一定の減圧状態に保つ。ガス流量が安定化し
た後、接続選択スイッチにより、例えば低周波電源を選
択し、電力印加電極に低周波電力を投入する。両電極間
には放電が開始され、時間と共に基板上に固相の膜が形
成される。反応時間により膜厚を制御し、所定の膜厚並
びに積層構成に達したところで放電を停止し、本発明感
光体の電荷輸送層を得る。次いで、第１乃至第９調節弁
を閉じ、反応室内を充分に排気する。最後に、真空を破
り基板を取り出すか、または、工程によってはゲートバ
ルブを用いて第７図或は第８図に示した本発明に係わる
感光体の電荷発生層製造装置に基板を搬送する。

以下実施例を挙げながら、本発明を説明する。

火施然１ 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けな本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンＡｌＣｌＰｃの粉末を、第２ボ
ート（５０５）にテフロン（−ＣＦｚ−ＣＦ２　）ｎの
粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には樅５０×横
５０×厚ざ３ｍｍのアルミニウム板を基板（５０３）と
して取り付けた。次いで真空槽（５０１）内を排気ポン
プ（５１１）を用いて１０””Ｔｏｒｒ程度の高真空に
した後、第１電極及び第２電極（５０６及び５０７）に
電力を印加し、第１ボート（５０４）を５２０℃、及び
、第２ボート（５０５）を７３０℃にまで昇温しな。第
１ボート（５０４）温度、及び、第２ボート（５０５）
温度が安定したところで、予め閉状態にしておいた第１
遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソレ
ノイド（５１０）を作動させて交互に開状態にし、ｌＸ
ｌ０−５程度の真空度のもとで、基板（５０３）上にア
ルミニウムクロロフタロシアニンとテフロンの多層蒸着
膜を堆積させた。ここで、第１遮蔽板（５０８）及び第
２遮蔽板（５０９）の開時間はそれぞれ１０秒及び１０
秒とし、双方の開時間の合計が５分間となるまで蒸着を
行なった後、何れも閉状態とし、約２０００人の膜厚を
有する本発明によるＰｃ膜を電荷発生層として得た。Ｐ
ｃ膜作製後は、第１電極及び第２電極（５０６及び５０
７）への通電を停止すると共に、真空槽（５０１）内を
充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜中に構成されるアルミ
ニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜とテフロンの蒸着
膜の膜厚をオージェ分析装置により測定したところ、ア
ルミニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜の膜厚は６２
人並びにテフロンの蒸着膜の膜厚は７２人であった。一
方、アルミニウムクロロフタロシアニンとテフロンとを
個別に蒸着し、蒸着膜の膜厚測定から蒸着速度を算出し
、アルミニウムクロロフタロシアニンの蒸着膜とテフロ
ンの蒸着膜の膜厚を求めたところアルミニウムクロロフ
タロシアニンの蒸着膜の膜厚は６１人並びにテフロンの
蒸着膜の膜厚は７０人、であり、良く一致した結果が得
られることが確認された。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１調節弁（７０７）を解放し、第１タ
ンク（７０１）より水素ガスを出力圧１　、０　Ｋ　ｇ
　／　０ｍ２の下で第１流量制御器（７１３）内へ流入
させた。同時に、第１容器（７１９）よりスチレンガス
を第１温調器（７２２）温度３０℃のもと第７流量制御
器（７２８）内へ流入とせな。水素ガスの流量を１０１
０５ｃ、及び、スチレンガスの流量を３６ｓｅｃｍとな
るように設定して、途中混合器（７３１）を介して、主
管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々
の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が０
．５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整
した。一方、Ｐｃ膜が設けられ、第８図に示す本発明に
係わる６感光体の電荷発生層製造装置より移送されてき
た基板（７５２）は、予め８０℃に加熱しておき、ガス
流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ
（７４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）
を投入し、電力印加電極（７３６）に９０Ｗａｔｔの電
力を周波数２０ＫＨｚの下で印加して約３０分プラズマ
重合反応を行ない、基板（７５２）上に厚き１５μｍの
有機プラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜
完了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（
７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の量
は炭素原子と水素原子の総量に対して４４原子％であっ
た。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０■に初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１８秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
４ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は４．８工ルグ／ａｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することがｉＩ！認された。

また、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表
面電位を残留電位として測定したところ一７■であり、
好適なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体に対
して、常用のカールソンプロセスの中で作像して転写し
たところ、鮮明な画像が得られた。ざらに、この感光体
の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測
定したところ、７Ｈ以上の硬度が観８！ｌＪされ、実用
的な感光体として好適な表面性能を有することが確認さ
れた。

比較例１ 電荷発生層形成工程において、テフロンを使用しないこ
と以外は、実施例１と同様にして積層膜を作製した。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例１と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光を用いて半減電位にまで
明減衰させたとこる必要とされた光量は約７０ルツクス
・秒であり、半導体レーザー光を用いた場合には半減電
位に達しなかった。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明において絶縁
性有機物質を多層蒸着することによる効果が確認される
。

比較例２ 実施例１において電荷輸送層だけを作製した。

０　特性評価結果： 得られた有機プラズマ重合膜につき、実施例１と同様の
評価を行なったところ、常用のカールソンプロセスにお
いてコロナ放電により少なくとも一６３０Ｖの初期帯電
が可能であった。しかし、初期帯電後、白色光或は半導
体レーぜ一光を用いて明減衰を試みたところ、電位減衰
は全く観測されなかった。

以上より、本例に示した有機プラズマ重合膜は、それだ
けでは光導電性を有きないことが確認される。

実施拠旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 第８図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタ口シアニンクロライドＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
Ｉ）の粉末を、第２ボート（５０５）にポリエチレンの
粉末を載置し、基板保持部材（５０２）には樅５０×横
５０×厚ざ３ｍｍのアルミニウム板を基板（５０３）と
して取り付けた。次いで真空槽（５０１）内を排気ポン
プ（５１１）を用いて１０”’Ｔｏ　ｒ　ｒ程度の高真
空にした後、第１電極及び第２電極（５０６及び５０７
）に電力を印加し、第１ボート（５０４）を４９０℃、
及び、第２ボート（５ｏ５）を４７０℃にまで昇温しな
。第１ボート（５０４）温度、及び、第２ボート（５０
５）６度が安定したところで、予め閉状態にしておいた
第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動
ンレノイド（５１０）を作動させて交互に開状態にし、
ｌＸｌ０−５程度の真空度のもとで、基板（５０３）上
にアルミニウムクロロフタロシアニンクロライドとポリ
エチレンの多層蒸着膜を堆積させた。ここで、第１遮蔽
板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）の開時間はそれ
ぞれ５秒及び１０秒とし、双方の開時間の合計が５分間
となるまで蒸着を行なった後、何れも開状態とし、約１
５００人の膜厚を有する本発明によるＰｃｖ、を電荷発
生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２電
極（５０６及び５０７）への通電を停止すると共に、真
空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、蒸着速度より
、アルミニウムクロロフタロシアニンクロライドの蒸着
膜とポリエチレンの蒸着膜の膜厚を算出したところ、ア
ルミニウムクロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の
膜厚は２５人並びにポリエチレンの蒸着膜の膜厚は５０
人であった。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１０図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１乃至第２調停弁（７０７乃至７０８
）を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス、第２
タンク（７０２）よりブタジェンガスを出力圧１．０Ｋ
ｇ／ｃｍ”の下で第１乃至第２流量制御器（７１３乃至
７１４）内へ流入させな。水素ガスの流量を６０ｓｅｃ
ｍ、及び、ブタジェンガスの流量を６０ｓｅｃｍとなる
ように設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管
（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の
流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が２．
０Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整し
た。一方、ＰＣ膜が設けられ、第８図に示す本発明に係
わる感光体の電荷発生層製造装置より移送きれてきた基
板（７５２）は、予め５０℃に加熱しておき、ガス流量
及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７
４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投
入し、電力印加電極（７３６）に９０Ｗａｔｔの電力を
周波数２００ＫＨｚの下で印加して約１６分プラズマ重
合反応を行ない、基板（７５２）上に厚き１５μｍの有
機プラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜完
了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７
３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につさ・
有機元素分析を行なっＬ：ところ、含有きれる水素原子
の量は炭素原子と水素原子の総量に対して４０原子％で
あった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１５秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認きれた。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は５．４工ルグ／Ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一６■であり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体に対
して、常用のカールソンプロセスの中で作像して転写し
たところ、鮮明な画像が得られた。ざらに、この感光体
の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測
定したところ、？Ｈ′以上の硬度が観測され、実用的な
感光体として好適な表面性能を有することが確認された
。

比較例旦 電荷発生層形成工程において第１遮蔽板（５０８）と第
２遮蔽板（５０９）の開時間を調整し、アルミニウムク
ロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の膜厚を７００
人、並びに、ポリエチレンの蒸着膜の膜厚を１００人と
すること以外は、実施例２と同様にして積層膜を作製し
た。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例２と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光及び半導体レーザー光を
用いて明減衰を試みたところ半減電位に達しなかった。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明感光体の電荷
発生層においてはフタロシアニン系顔料の蒸着膜の膜厚
が厚過ぎると好適な感度が得られなくなることが確認さ
れる。

比較躬丘 電荷発生層形成工程において第１遮蔽板（５０８）と第
２遮蔽板（５０９）の開時間を調整し、アルミニウムク
ロロフタロシアニンクロライドの蒸着膜の膜厚を５０人
、並びに、ポリエチレンの蒸着膜の膜厚な７００人とす
ること以外は、実施例２と同様にして積層膜を作製した
。

特性評価結果： 得られた積層膜につき、実施例２と同様の評価を行なっ
たところ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放
電により少なくとも一６３０■に初期帯電可能であった
。しかし、初期帯電後、白色光及び半導体レーザー光を
用いて明減衰を試みｔ：ところ半減電位に達しなかった
。

以上より、本例に示した積層膜は実用上好適な特性を有
するものとはいえず、このことから本発明感光体の電荷
発生層においては絶縁性有機物質の蒸着膜の膜厚が厚過
ぎると好適な感度が得られなくなることが確認される。

実施健旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷輸送層形成工程： 第１１図に示す本発明に係わる感光体のプラズマＣＶＤ
法による電荷輸送層製造装置において、まず、反応装置
（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高真空にし
た後、第１乃至第２調節弁（７０７乃至７０８）を解放
し、第１タンク（７０１）よりアルゴンガス、第２タン
ク（７０２）よりアセチレンガスを出力圧１．０Ｋｇ／
ｃｍ２の下で第１乃至第２流量制御器（７１３乃至７１
４）内へ流入させた。アルゴンガスの流量を１２０ｓｅ
ｃｍ、、及び、アセチレンガスの流量を１゜Ｏｓｃｃｍ
となるように設定して、途中混合器（７３１）を介して
、主？！！”（７３２）より反応室（７３３）内へ流入
した。各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内
の圧力が１．０Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４
５）を調整した。一方、基板（７５２）には直径８０Ｘ
長ざ３３０ｍｍの円筒状アルミニウムドラムを用い、予
め５０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した
状態で、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続し
ておいた高周波電源（７３９）を投入し、電力印加電極
（７３６）に１３０Ｗａｔｔの電力を周波数１３．５６
ＭＨｚの下で印加して約６０分プラズマ重合反応を行な
い、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍの有機プラズマ重
合膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力
印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充
分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の量
は炭素原子と水素原子の総量に対して３７原子％であっ
た。

電荷発生層形成工程： 第９図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にチタニルフ
タロシアニンＴｉ０Ｐｃの粉末を、第２ボート　（５０
５）にポリスチレンの粉末を載置し、真空槽（５０１）
内を排気ポンプ（５１１）を用いて１０−’Ｔｏ　ｒ　
ｒ程度の高真空にした。一方、基板保持部材（５０２）
には、有機プラズマ重合膜が設けられ、第１１図に示す
本発明に係わる感光体の電荷輸送層製造装置より移送さ
れてきた基板（５０３）を装着し、第１電極及び第２１
Ｅ極（５０６及び５０７）に電力を印加し、第１ボート
（５０４）を５００℃、及び、第２ボート（５０５）を
２７０℃にまで昇温しだ。第１ボート（５０４）温度、
及び、第２ボート（５０５）ｉＭ度が安定したところで
、予め閉状態にしておいた第１遮蔽板（５０８）及び第
２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（５１０）を作動
させて交互に開状態にし、Ｉ　Ｘ　１０−５程度の真空
度のもとで、基板（５０３）上にチタニルフタロシアニ
ンとポリスチレンの多層蒸着膜を堆積させた。ここで、
第１遮蔽板（５０８）及び第２遮蔽板（５０９）の開時
間はそれぞれ１５秒及び１０秒とし、双方の開時間の合
計が５分間となるまで蒸着を行なった後、何れも閉状態
とし、約２０００人の膜厚を有する本発明によるＰｃ膜
を電荷発生層として得た。Ｐｃ膜作製後は、第１電極及
び第２電極（５０６及び５０７）への通電を停止すると
共に、真空槽（５０１）内を充分に排気した。

以上のようにして得られたＰｃ膜につき、蒸着速度より
、チタニルフタロシアニンの蒸着膜とポリスチレンの蒸
着膜の膜厚を諒出したところ、チタニルフタロシアニン
の蒸着膜の膜厚は９６゛入並びにポリスチレンの蒸着膜
の膜厚は７１人であつた。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１５秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要ときれた光量は１．
８ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたところ必要と
された光量は６．３工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一４Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された５以上より、
本例に示した本発明による感光体は、実用上好適な特性
を有するものである。士な、この感光体をミノルタ製復
写ａ！１ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。このことから、本例に示した
本発明による感光体は、実用的な円筒状形態でも作製可
能であることが確認された。

実施例戟 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程； 第９図に示す本発明に係わる感光体の電荷発生層製造装
置において、まず、第１ボート（５０４）にアルミニウ
ムクロロフタロシアニンクロライドＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
Ｉ）の粉末を、第２ボート（５０５）にポリプロピレン
（低分子量アイソタクチック）の粉末を載置し、基板保
持部材（５０２）には直径８０×長き３３０ｍｍの円筒
状アルミニウムドラムを基板（５０３）として取り付け
た。次いて真空（！（５０１）内を排気ポンプ（５１１
）を用いて１０−’Ｔｏｒｒ程度の高真空にした後、第
１電極及び第２電極（５０６及び５゜７）に電力を印加
し、第１ボート（５０４）を５２０℃、及び、第２ポー
ト（５０５）を１８０℃にまで昇温した。第１ボート（
５０４）温度、及び、第２ボート（５０５）温度が安定
したところで、予め閉状態にしておいた第１遮蔽板（５
０８）及び第２遮蔽板（５０９）を駆動ソレノイド（５
１０）を作動きせて交互に開状態にし、ｌＸ１０−５程
度の真空度のもとで、基板（５０３）上にアルミニウム
クロロフタロシアニンクロライドとポリプロピレンの多
層蒸着膜を堆積きせた。ここで、第１遮蔽板（５０８）
及び第２遮蔽板（５０９）の開時間はそれぞれ１秒及び
１秒とし、双方の開時間の合計が５分間となるまで蒸着
を行なった後、何れも閉状態とし、約２２００人の膜厚
を有する本発明によるＰｃ膜を電荷発生層として得た。

Ｐｃ膜作製後は、第１電極及び第２電極（５０６及び５
０７）への通電を停止すると共に、真空（り（５０１）
内を充分に排気した。

以上のようにして得られたｐ　ｃ　ＭＡにつき、蒸着速
度より、アルミニウムクロロフタロシアニンクロライド
の蒸着膜とポリプロピレンの蒸着膜の膜厚を算出したと
ころ、アルミニウムクロロフタロシアニンクロライドの
蒸着膜の膜厚は７人並びにポリプロピレンの蒸着膜の膜
厚は８人であった。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１１図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１調節弁（７０７）を解放し、第１タ
ンク（７０１）より水素ガスを出力圧１．０Ｋｇ／ａｍ
２の下で第１流量制御器（７１３）内へ流入させな。同
時に、第１容器（７１９）よりミルセンガスを第１温調
器（７２２）温度７５℃のもと第７流量制御器（７２８
）内へ流入させた。水素ガスの流量を１０ｓｃＣｆｆｈ
及び、ミルセンガスの流量を２５ｓｃ″Ｃｍとなるよう
に設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７
３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量
が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が０．２５
Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した
。一方、Ｐｃ膜が設けられ、第９図に示す本発明に係わ
る感光体の電荷発生層製造装置より移送されてきた基板
（７５２）は、予め８０℃に加熱しておき、ガス流量及
び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（７４
４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投入
し、電力中加電ｗ３（７３６）に１４０Ｗａｔｔの電力
を周波数１００ＫＨ２の下で印加して約４０分プラズマ
重合反応を行ない、基板（７５２）上に厚ざ１５μｍの
有機プラズマ重合膜を電荷輸送層として形成した。成膜
完了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（
７３３）内を充分に排気した。

以上のようにして得られた有機プラズマ重合膜につき有
機元素分析を行なったところ、含有される水素原子の量
は炭素原子と水素原子の総量に対して５７原子％であっ
た。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０■に初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１４秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
５ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたところ必要と
された光量は４．８工ルグ／Ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一７Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認きれた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体の表
面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定し
たところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体
として好適な表面性能を有することが確認された。ざら
に、この感光体について耐久試験を行なったところ、Ａ
４紙２０万枚の耐刷試験後も、好適な画像が得られた。

実施例５ 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けな本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 実施例４と同様にして、本発明に係わる感光体の電荷発
生層を作製し、基板を真空槽外へ取り出した。

電荷輸送層形成工程： 次いで、ポリカーボネイト７重量部、テトラヒドロフラ
ン１０重量部、及び、４−ジエチルアミノベンズアルデ
ヒド−ジフェニルヒドラゾン７重量部よりなる塗液をデ
ィッピングコーティング法を用いて塗布し、乾燥後の膜
厚が１５μｍとなるようにして本発明感光体の電荷輸送
層を形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一８３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１２秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は１．
６ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要と
された光量は４．８工ルグ／ｃｍ２であり、このことか
ら好適な長波長光感度を有することが確認された。また
、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面電
位を残留電位として測定したところ一６Ｖであり、好適
なイレース性能を有することが確認された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。

去旅倒旦 本発明に係わる感光体の製造装置を用いて、第けた本発
明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程： 実施例４と同様にして、本発明に係わる感光体の電荷発
生層を作製した。

電荷輸送層形成工程： 次いで、第１１図に示す本発明に係わる感光体のプラズ
マＣＶＤ法による電荷輸送層製造装置において、まず、
反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１乃至第３調節弁（７０７乃至７０９
）を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス、第２
タンク（７０１）よりエヂリンガス、及び、第３タンク
（７０３）よりシランガスを各々出力圧１．０Ｋｇ／ａ
ｍ２の下で第１乃至第３流量制御器（７１３乃至７１５
）内へ流入させた。流量制御器の目盛を調整して、水素
ガスの流量を２００ｓｅｃｍ１エチレンガスの流量を１
２０ｓｅｃｍ、及び、シランガスの流量を１４０ｓｅｃ
ｍとなるように設定して、途中混合器（７３１）を介し
て、主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した
。各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧
力が１、ＩＴｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）
を調整した。一方、ＰＣ膜が設けられ、第９図に示す本
発明に係わる感光体の電荷発生層製造装置より移送きれ
てきた基板（７５２）は、予め１１０℃に加熱しておき
、ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択ス
イッチ（７４４）により接続しておいた高周波電源（７
３９）を投入し、電力印加電４１（７３６）に２００Ｗ
ａｔｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下で印加して
約５時間プラズマ重合反応を行ない、基板（７５２）上
に厚ざ１５μｍの炭素含有水素化アモルファスシリコン
膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印
加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分
に排気した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一６３０Ｖに初期帯電可能
であった。また、初期帯電電位から初期帯電電位の９０
％にまで暗減衰するのに要した時間は約１８秒であり、
これらのことから、実用上充分な帯電性能を有すること
が確認された。また、初期帯電後、白色光を用いて半減
電位にまで明減衰させたとこる必要とされた光量は２．
３ルツクス・秒であり、このことから好適な感度を有す
ることが確認された。また、初期帯電後、半導体レーザ
ー光を用いて半減電位にまで明減衰させたところ必要と
された光量は１０．４工ルグ／ｃｍ２であり、このこと
から好適な長波長光感度を有することが確認された。ま
た、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照射時の表面
電位を残留電位として測定したところ一５Ｖであり、好
適なイレース性能を有することが確認きれた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
好適な特性を有するものである。また、この感光体をミ
ノルタ製複写機ＥＰ４７０Ｚに搭載し作像して転写した
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体の表
面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定し
たところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体
として好適な表面性能を有することが確認された。ざら
に、この感光体について耐久試験を行なったところ、Ａ
４紙４０万枚の耐刷試験後も、好適な画像が得られた。

比較備品 実施例６において電荷輸送層だけを作製した。

特性評価結果： 得られた膜につき、実施例６と同様の評価を行なったと
ころ、常用のカールソンプロセスにおいてコロナ放電に
より少なくとも一６３０■の初期帯電が可能であった。

しかし、初期帯電後、白色光或は半導体レーザー光を用
いて明減衰を試みたところ、電位減衰は全＜ｖＡ測され
なかった。

以上より、本例に示した膜は、それだけでは光導電性を
有きないことが確認される。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明感光体の構成を示す図面、第
７図乃至第８図は本発明に係わる感光体の電荷発生層形
成装置を示す図面、及び、第９図乃至第１０図は本発明
に係わる感光体の電荷輸送層形成装置を示す図面である
。 出願人　ミノルタカメラ株式会社 第１図　　第２図 第３図　　第４図 第５図　　第６図 第３図 手続補正書く４バ′） 昭和６２年　４月　８日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 導電性基板上に電荷発生層と電荷輸送層とを積層してな
   る機能分離型感光体において、該電荷発生層がフタロシ
   アニン系顔料の真空蒸着膜と絶縁性有機物質の真空蒸着
   膜とを交互に積層してなることを特徴とする感光体。