JPS63172440A - 薄板体のピツチ変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、多数の半導体クエハを同時Ｋ。

屹いにその配列ピッチを異にする一方のカセットより他
方のカセット内に移し替える場合に使用される半導体ク
エハの蛇ベピツチ変換装置に〔従来技術〕 従来、半導体クエハの加工処理プロセスにおいてはあら
かじめ用意された多数枚の半導体クエハを所定ピッチの
溝を対向内壁に有するカセツ）Ｋｇ　Ｉｓ枚乃至ＳＯ枚
程度収納保持してホトレジスト塗布、ベーキング拡散、
各種化学洗浄６理および各種のメッキ、シンタリング処
理を繰り返して行うことが多く、一般には写真製版から
拡散等の熱処理１でには、５ないし１Ｇ往復もの工程を
繰り返している。

そして、上記の各工程にはそれに適した材質のカセット
が必要であり、例えば拡散等の高熱６理では石英ガラス
、ホトレジス塗布やベーキング等写真製版ではアルミニ
ウムまたはステンレス鋼、化学洗浄６理ではフッ素樹脂
、また、プロセス間の運搬ににポリプロピン等の安価な
合成樹脂が利用されており、したがって、半導体クエハ
にはその６理工程に応じてその都度、−万のカセットか
ら他方のカセットに移し替えなければならない。

この場合、各工程に使用されるカセットの溝のピッチが
同一であれば、一方から他方への移し替えは、各カセッ
トの溝を合わせておけば一括して移し替えられるので問
題はないが、実際は、各工程の処理晩方を高めたり、特
性１１１ｄｌのためから半導体クエハの配列ピッチを狭
くしたり、逆に広くしたりす−ることか多く、これがた
め、６工程間の半導体クエハのハンドリングは第３図に
示すように、逐一ピンセットで移し替えるか、あるいは
目切機であっても１枚ずつチャッキングしては移し替え
るということが行われてすた。

すなわち、第３図（ａｔ　＋　ＩＨ＊　ｔｏｌは一方の
カセット１（例えば溝の配列ピッチ４８　ａｏｗ　）か
ら他方のカセツ）ｌａ（例えば噂の配列ピッチｇ　、ｘ
ｓ　）へとピンセット８にて半導体クエハ３を移し替え
る操作を説明するための図で、４および４ａはそれぞれ
の力七ット１．ｌａＫｇ１．設したクエハ収納溝（以下
単ｒｃ　＠という）である。なお、この場合のカセット
１はアルミダイカスト製で、写真製版のホトレジストベ
ーキング用を示すものであり、また、他方のカセット１
ａはフッ素樹脂製で、拡散前処理用を示すものである。

〔発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の薄板体のピッチ変換装置では一方のカセ
ットから他方のカセットへは半導体クエハは各種のピン
セットで１枚ずつ保持しながら行なわなければならず、
この為に人手を要し、また半導体クエ管ピンセットで汚
し、劇には損傷させたり、変更には破損させる等の問題
点があった。特に近年においては、半導体クエハの口径
が大型化し＄１００−乃至８５０ａａにもなるとピンセ
ット類での保持は極めて困難となる等の問題点があった
。

また一方、１枚づつ自動的にチャッキングする装置の場
合では人手を必要としない点では進歩といえるが、移し
替えのスピードにおいてにやはり１枚ずつのチャッキン
グ、搬送、ローディングといった操作が繰り返され、か
つ、高価であるため特別な工程にしか有効といえなかっ
た。

この発明は、このような従来の不都合を解消するために
なされたもので、低コストで高速の一括移し替え操作を
配列ピッチを変更して行う装ｒＩｔを提供するものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る薄板体のピッチ変換装置１１／′１半導
体クエハを１枚づつ支持する支持部材と、この闇に配置
される弾性部材と、支持部材を押圧して弾性部材の押圧
力を加減する事で支持部材のピッチを変化させる押圧手
段を備えたものである。

〔作用〕

この発明に於ける薄板体のピッチ変換装置は半導体クエ
ハを保持している支持部材柑咥間の弾性部材が外部から
の押圧力で伸縮する為にその支持部材の並ベピッチが自
在に増減するのである。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例ケ示すピッチ変換装置（！
αの斜視図であり％＋５１は半導体クエハＬｌｌ？１枚
づつ開口部（５ａ）より着脱して支持する板状体で、四
隅に穴（図示せず）があってシャツ）１８１に固定され
ている。（７）９シヤフト１ｌｌ）に通したコイルバネ
で各々の弾力はあらかじめ同一のものが選択されている
。

（８）は最側部の板状体ｒ５に＋）に取り付けられたエ
アーシリンダーで、一方のパイプｒｌｌａ）に空気を入
れるとプランジャ（８ａ）が押し出されて各々のコイル
バネ（７）を圧縮する。

次に動作について説明する。まず、エアーシリンダ（８
）のプランジャ（８Ｃ）の突き出し距離を決めておけば
、板状体ＩｓＩの各々の間隔を決めることが出来、例え
ば５ｌｌＩＩのピッチに揃えることが出来る。逆に、他
方のパイプ（８ａ）から空気を入れるとプランジャ（８
ｃ）ｉ１引き戻されるので、各々の板状体１７１　ｔ’
ｆ介在するコイルバネ１７１でピッチ間隔を拡大させら
れる。この場合もプランジャ（８ｃ）の移動する距離を
決めておけば例えば４．８゛騙のピッチに揃えることが
出来る。この様にしてプランジャ（８Ｃ）の移動粗石を
任意に採れば板状体Ｉ５１のピッチも任意にとれ、従来
あった４倍とか２倍の様に簡単な倍率以外に複雑な倍率
もＳ単にとることが出来る。

ところで各種のカセットとの移し替え動作を第２図で説
明する。

筐ず、ピッチ４．８ａｌｉ有するカセット１１１とピッ
チ？　４．８　ｍにセットしたピッチ変換装置（１０１
とを半導体クエハイ３１が垂直になる位置にして双方の
開口部分を合わせ、カセツ）　１１１の方を高く保つ様
にする。即ち水準面よりｐ例えばａｏ’傾けると半導体
クエハ１３１框全蝋が自然落下してピッチ変換装置（ｌ
Ｏ）に移し替えられる。次にカセット１１２ヲとり除き
、ピッチ変換装置＋１０１のピッチ伊８舖細小し、ピッ
チｇｓ＋ｗ（Ｈ有する第３図１ｂｌのカセツ）　（ｌａ
）の開口部をかぶせてピッチ変換４ｆ：ｍｆｌＯｌが上
方になる様に傾斜させると今度は半導体クエハ１３１は
、全＠　＄１　ｔｍのピッチでカセット（ｌａ）に移し
替えられる。

尚、当然のこと乍らピッチ変換装置＋１０１の開口部に
はカセット（１１及び（１ａ）にある位置決めビン及び
穴に対向する位置決め穴及びビンを設けてお、くと位置
決めがやり易いが、ピッチ変換装置＋１０１やカセツ）
　＋１１及びｒｌａ）の全体を保持するホルダーに位置
決め手段をもたせても良い。

ところで上記説明では、ピッチの変換動力源にエアーシ
リンダーを用いたが、これはオイルシリンダーとかモー
ター等でもあるいは人力でも良＾。

又、バネ材としてコイルバネを用いたがこれに限らず板
バネ、皿バネ等一般的なバネの他、ゴム、スポンジ等で
代用しても良いが個々のバネ材のバネ特性が均一である
ことが重要である。

更に父、対象としては半導体クエハについて説明したが
、一般に薄い板状体なら石英板、水晶板その他の薄板体
にも適用可能である。

向、動力源は重ね合わせた板状体の一方のみでなく両方
から加減しても効果は同様であるが一方のシリンダーの
ストロークが短かくて済むと云う利点がある。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明した通り薄板体を保持する多数の支
持部材の間に弾性部材を介在せしめ、これ全伸縮させる
と云う構造から成るので、簡単な構成で、薄板体の並ベ
ピッチ？一度に任意の値に変換させる事が出来、異なる
ピッチを有する各薄板体保持異聞の一括移し替え作業紫
檀めて容易にできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す要部の斜視図％第Ｂ
図はこの発明の一適用例を示す断面図、第３図１ｂｌ　
＋　ｌｂｌ　Ｉ　ｔｏ＋は従来の半導体クエハの移し替
え手段を示す斜視図である。 図に放て、（３１は半導体クエハ、＋５１ｔｉ板状体、
１６１　＃’！シャフト、Ｉ？ｌｉｊコイルバネ、１８
１ｆｌエアーシリンダーである。 備、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　支持体に摺動自在に支承されると共に、互に離間して
   配列され、薄板体を着脱自在に支持した板状の多数の支
   持部材、この多数の支持部材の相互間に夫々配置され、
   対向する上記支持部材を離間方向に付勢する弾性部材、
   及び上記多数の支持部材を配列方向に押圧して上記弾性
   部材を変位させ、上記多数の支持部材の相互間隔を変化
   させる押圧手段を備えた薄板体のピッチ変換装置。