JPS63175876U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63175876U JPS63175876U JP6733087U JP6733087U JPS63175876U JP S63175876 U JPS63175876 U JP S63175876U JP 6733087 U JP6733087 U JP 6733087U JP 6733087 U JP6733087 U JP 6733087U JP S63175876 U JPS63175876 U JP S63175876U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- semiconductor device
- tip surfaces
- center conductor
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 7
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案半導体装置の測定装
置の一つの実施例を説明するためのもので、第１
図は測定装置の斜視図、第２図は測定装置の測定
状態のときの断面図、第３図は被測定半導体装置
の集合体の斜視図、第４図は従来例の斜視図であ
る。 符号の説明、２６ａ，２６ｂ…測定子、２７ａ
，２７ｂ…中心導体、２８ａ，２８ｂ…絶縁物、
２９ａ，２９ｂ…静電シールド導体、３５…被測
定半導体装置。
置の一つの実施例を説明するためのもので、第１
図は測定装置の斜視図、第２図は測定装置の測定
状態のときの断面図、第３図は被測定半導体装置
の集合体の斜視図、第４図は従来例の斜視図であ
る。 符号の説明、２６ａ，２６ｂ…測定子、２７ａ
，２７ｂ…中心導体、２８ａ，２８ｂ…絶縁物、
２９ａ，２９ｂ…静電シールド導体、３５…被測
定半導体装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 中心導体とこれを被覆する絶縁物と該絶縁物の
外面に形成された静電シールド導体とからなる一
対の測定子が、その先端面にて対向しその間の距
離が変化できるように軸方向に相対的に移動可能
に設けられ、 上記一対の測定子が互いに接近してその先端面
がどうしが密着したとき中心導体どうしが互いに
接触しないように一対の測定子の中心導体の測定
子先端面への露出位置が互いにずらされており、 そして、上記測定子の先端面間に被測定半導体
装置を挾んだとき一方の測定子の中心導体が上記
被測定半導体装置の一つのリードに接触し他方の
測定子の中心導体が上記被測定半導体装置の別の
一つのリードに接触するようにされてなる ことを特徴とする半導体装置の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6733087U JPS63175876U (ja) | 1987-05-04 | 1987-05-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6733087U JPS63175876U (ja) | 1987-05-04 | 1987-05-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63175876U true JPS63175876U (ja) | 1988-11-15 |
Family
ID=30906141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6733087U Pending JPS63175876U (ja) | 1987-05-04 | 1987-05-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63175876U (ja) |
-
1987
- 1987-05-04 JP JP6733087U patent/JPS63175876U/ja active Pending