JPS631779A - 真空排気制御装置 - Google Patents
真空排気制御装置Info
- Publication number
- JPS631779A JPS631779A JP14304186A JP14304186A JPS631779A JP S631779 A JPS631779 A JP S631779A JP 14304186 A JP14304186 A JP 14304186A JP 14304186 A JP14304186 A JP 14304186A JP S631779 A JPS631779 A JP S631779A
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- vacuum pump
- relay
- circuit
- control
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- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空排気制御装置に関するものである。
従来の真空排気装置は、特開昭６０−７９４０５号公報
に記載のよう暑こ、機器の制御はマイクロコンピュータ
を経由している。しかし、マイクロコンピュータがＱＦ
Ｆしても、真空ポンプを停止させないようにする点につ
いては配慮されていなかった。
に記載のよう暑こ、機器の制御はマイクロコンピュータ
を経由している。しかし、マイクロコンピュータがＱＦ
Ｆしても、真空ポンプを停止させないようにする点につ
いては配慮されていなかった。
上記従来技術は、マイクロコンピュータがＯＦＦしても
・真空ポンプを停止させないようにする点暑こついて配
慮がされておらず、マイクロコンピュータが０ＦＦＬ、
た時には、真空ポンプも全て停止してしまい、特に超高
真空機器の場合には真空の再立ち上げに時間を要すると
いう問題があった〇本発明の目的は、真空ポンプへの制
御指令が停止しても、真空ポンプを停止させずに運転を
続行できる真空排気制御装置を提供することにある。
・真空ポンプを停止させないようにする点暑こついて配
慮がされておらず、マイクロコンピュータが０ＦＦＬ、
た時には、真空ポンプも全て停止してしまい、特に超高
真空機器の場合には真空の再立ち上げに時間を要すると
いう問題があった〇本発明の目的は、真空ポンプへの制
御指令が停止しても、真空ポンプを停止させずに運転を
続行できる真空排気制御装置を提供することにある。
上記目的は、真空ポンプと、該真空ポンプの作動を制御
指示する制御指示部と、該制御指示部の指令により前記
真空ポンプの作動を制御する制の回路とから成り、前記
制御回路に前記制御指示部からの指令が止まっても前の
状態を保持する自己保持回路を設けることにより、達成
される。
指示する制御指示部と、該制御指示部の指令により前記
真空ポンプの作動を制御する制の回路とから成り、前記
制御回路に前記制御指示部からの指令が止まっても前の
状態を保持する自己保持回路を設けることにより、達成
される。
通常は、制御指示部の指令を制御回路を介して真空ポン
プに送り、真空ポンプのＯＮ、ＯＦＦ制御を行い、真空
ポンプのＯＮ制御時に制御指示部の電源が落ちて制御指
令が停止したような場合には、ＯＮ制御時の指令によっ
て制御回路に設けた自己保持回路が作動して、通常の制
御回路が働かなくなっても、自己保持回路の制御により
真空ポンプが運転を続行できる。
プに送り、真空ポンプのＯＮ、ＯＦＦ制御を行い、真空
ポンプのＯＮ制御時に制御指示部の電源が落ちて制御指
令が停止したような場合には、ＯＮ制御時の指令によっ
て制御回路に設けた自己保持回路が作動して、通常の制
御回路が働かなくなっても、自己保持回路の制御により
真空ポンプが運転を続行できる。
以下、本発明の一実施例を第１図と第２図とにより説明
する。
する。
真空ポンプ３は、接点５ａを介して電源に接続されてい
る。接点５ａは制御回路３を介して制御指示部であるマ
イクロコンピュータｌに接続している。
る。接点５ａは制御回路３を介して制御指示部であるマ
イクロコンピュータｌに接続している。
制御回路３は、第２図に示すように、マイクロコンピュ
ータｌからの指令によって作動するＯＮ信号用トランジ
スタ６とＯＦＦ信号用トランジスタ８とが設けられてお
り、ＯＮ信号用トランジスタ６にはＯＮリレー７が接続
され、ＯＦＦ信号用トランジスタ８にはＯＦリレー９が
接続されている。
ータｌからの指令によって作動するＯＮ信号用トランジ
スタ６とＯＦＦ信号用トランジスタ８とが設けられてお
り、ＯＮ信号用トランジスタ６にはＯＮリレー７が接続
され、ＯＦＦ信号用トランジスタ８にはＯＦリレー９が
接続されている。
また、ＯＮリレーに連動する接点７ａと、ＯＦＦリレー
に連動する接点９ａと、接点１０ ａと、接点５ａｌこ
継ながる真空ポンプリレー５とが直列に継ながれており
、接点７ａと並列に接点１１ ａおよび接点５ｂが継な
がれている。
に連動する接点９ａと、接点１０ ａと、接点５ａｌこ
継ながる真空ポンプリレー５とが直列に継ながれており
、接点７ａと並列に接点１１ ａおよび接点５ｂが継な
がれている。
また、この場合、３点式のマニュアル操作スイッチ１３
が設けられ、−方にはＯＦＦ リレーｌＯが継ながり、
他方にはＯＮリレー１１が継ながる。ＯＦＦリレーｌＯ
は接点１０ ａに継ながり、ＯＮリレー１１は接点１１
ａに継ながる。
が設けられ、−方にはＯＦＦ リレーｌＯが継ながり、
他方にはＯＮリレー１１が継ながる。ＯＦＦリレーｌＯ
は接点１０ ａに継ながり、ＯＮリレー１１は接点１１
ａに継ながる。
また、真空ポンプリレー５は接点５ｂにも継ながり、さ
らに警報１表示用のリレー１２と直列に接続された接点
５Ｃに継ながる。
らに警報１表示用のリレー１２と直列に接続された接点
５Ｃに継ながる。
ここで、接点５ａ、５ｂ、５ｃ、７ａおよび１１ａは通
常開いており、接点９ａおよび１０ ａは通常開じてい
る。
常開いており、接点９ａおよび１０ ａは通常開じてい
る。
上記構成により、マイクロコンピュータｌから真空ポン
プ２を作動させる指示が制御回路３に出されると、ＯＮ
信号用トランジスタ６が通電し、ＯＮリレー７が励磁す
る。
プ２を作動させる指示が制御回路３に出されると、ＯＮ
信号用トランジスタ６が通電し、ＯＮリレー７が励磁す
る。
これにより、接点７ａが入って、接点７ａ〜接点９３〜
接点１０ ａ−真空ポンプリレー５の回路が継ながり、
真空ポンプリレー５が励磁される。
接点１０ ａ−真空ポンプリレー５の回路が継ながり、
真空ポンプリレー５が励磁される。
これにより、接点５ａが入って真空ポンプ２が作動する
。これと同時に、接点５ｂおよび５Ｃが入る。接点５Ｃ
が入ることによって、警報、！！２示用のリレーが励磁
され、例えば図示しない表示装置に真空ポンプ２が作動
していることを表示する。
。これと同時に、接点５ｂおよび５Ｃが入る。接点５Ｃ
が入ることによって、警報、！！２示用のリレーが励磁
され、例えば図示しない表示装置に真空ポンプ２が作動
していることを表示する。
ここで、接点５ｂが入ることによって、例えば、マイク
ロコンピュータ！がＯＦＦして制御回路３に指令が出な
くなり、接点７ａが閉じな（なっても、接点５ｂ〜接点
９２〜接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路が生き
て、真空ポンプ２を稼動させ続けることができる。この
回路が自己保持回路である。
ロコンピュータ！がＯＦＦして制御回路３に指令が出な
くなり、接点７ａが閉じな（なっても、接点５ｂ〜接点
９２〜接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路が生き
て、真空ポンプ２を稼動させ続けることができる。この
回路が自己保持回路である。
次に、マイクロコンピュータｌから真空ポンプ２を停止
させる指示が制御回路３に出されると、ＯＦＦ用トラン
ジスタ６が通電し、ＯＦＦリレー９が励磁する。
させる指示が制御回路３に出されると、ＯＦＦ用トラン
ジスタ６が通電し、ＯＦＦリレー９が励磁する。
これにより、接点９ａが離れて、接点７ａ〜接点９ａ〜
接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路がしゃ断され
て、真空ポンプリレー５の励磁が止まり、接点５ａが離
れて真空ポンプ２が停止する。
接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路がしゃ断され
て、真空ポンプリレー５の励磁が止まり、接点５ａが離
れて真空ポンプ２が停止する。
これと同時に、接点５ｂおよび５ｃも離れる。
また、マニュアル操作スイッチ１３の切換えを行なうこ
とによって、ＯＮリレー１１またはＯＦＦリレーｌＯも
励磁させることができ、ＯＮリレー１１を励磁すること
により接点１１ ａが入って、接点１１ ａ〜摺接点３
〜接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路が生きて、
前記同様に真空ポンプ２な作動させることができる。ま
た、ＯＦＦリレー１０を励磁することにより接点１０
ａを離して、接点１１ ａ〜摺接点３〜接点１０ ａ〜
真空ポンプリレー５の回路をしゃ断し、接点５ａを離し
て真空ポンプ２を停止させる。
とによって、ＯＮリレー１１またはＯＦＦリレーｌＯも
励磁させることができ、ＯＮリレー１１を励磁すること
により接点１１ ａが入って、接点１１ ａ〜摺接点３
〜接点１０ ａ〜真空ポンプリレー５の回路が生きて、
前記同様に真空ポンプ２な作動させることができる。ま
た、ＯＦＦリレー１０を励磁することにより接点１０
ａを離して、接点１１ ａ〜摺接点３〜接点１０ ａ〜
真空ポンプリレー５の回路をしゃ断し、接点５ａを離し
て真空ポンプ２を停止させる。
以上、本−実施例によれば、マイクロコンピュータ１か
らの指令が止まっても、真空ポンプ２を停止することな
（運転を続けることができるという効果がある。これに
より１例えば、半導体装置装置の真空室の真空を保持す
ることができる。
らの指令が止まっても、真空ポンプ２を停止することな
（運転を続けることができるという効果がある。これに
より１例えば、半導体装置装置の真空室の真空を保持す
ることができる。
また、マニュアル操作の回路を設けているので、マニュ
アル操作スイブチにより１手動操作会こ色切換えること
ができるという効果がある。
アル操作スイブチにより１手動操作会こ色切換えること
ができるという効果がある。
なお、本実施例はリレー回路を用いたもので述べたが、
ＴＴＬ等で論理を構成することも可能で連 あり、さらに、真空ポンプリレー５で兵接に真空ポンプ
をＯＮ、ＯＦＦさせるのではなく、真空ポンプリレー５
と接点５ａとの間にインターロック回路を組み込むこと
も可能である。
ＴＴＬ等で論理を構成することも可能で連 あり、さらに、真空ポンプリレー５で兵接に真空ポンプ
をＯＮ、ＯＦＦさせるのではなく、真空ポンプリレー５
と接点５ａとの間にインターロック回路を組み込むこと
も可能である。
本発明によれば、真空ポンプへの制御指令が停止しても
、真空ポンプを停止させずに運転を続行できるという効
果がある。
、真空ポンプを停止させずに運転を続行できるという効
果がある。
第１図は本発明の一実施例である真空排気制御装置を示
すブロック図、第２図は第１図の制御回路を示す回路図
である。 八
すブロック図、第２図は第１図の制御回路を示す回路図
である。 八
Claims (1)
- １、真空ポンプと、該真空ポンプの作動を制御指示する
制御指示部と、該制御指示部の指令により前記真空ポン
プの作動を制御する制御回路とから成り、前記制御回路
に前記制御指示部からの指令が止まっても前の状態を保
持する自己保持回路を設けたことを特徴とする真空排気
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304186A JPS631779A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空排気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304186A JPS631779A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空排気制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631779A true JPS631779A (ja) | 1988-01-06 |
| JPH0525038B2 JPH0525038B2 (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=15329530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14304186A Granted JPS631779A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空排気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631779A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750701U (ja) * | 1980-09-05 | 1982-03-23 | ||
| JPS60188117A (ja) * | 1984-03-08 | 1985-09-25 | 株式会社東芝 | 炊飯器 |
| JPS60191981A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | 三菱電機株式会社 | エレベ−タ制御装置 |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14304186A patent/JPS631779A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750701U (ja) * | 1980-09-05 | 1982-03-23 | ||
| JPS60188117A (ja) * | 1984-03-08 | 1985-09-25 | 株式会社東芝 | 炊飯器 |
| JPS60191981A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | 三菱電機株式会社 | エレベ−タ制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525038B2 (ja) | 1993-04-09 |
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